显示背板及其制作方法、显示面板和显示装置制造方法及图纸

本申请公开了显示背板及其制作方法、显示面板和显示装置。显示背板包括：第一栅极；第一层间介质层，第一层间介质层覆盖第一栅极的部分表面，第一层间介质层具有多个第一凸起，第一凸起位于第一层间介质层远离第一栅极的一侧，第一栅极在第一层间介质层上的正投影与第一凸起没有重叠区域，第一凸起限定出多个第一凹槽，第一凹槽的深度小于第一层间介质层的厚度；第一平坦层，第一平坦层位于第一层间介质层远离第一栅极的一侧，第一平坦层覆盖第一层间介质层远离第一栅极的至少部分表面，并且，第一平坦层覆盖第一凸起远离第一栅极的表面并填充第一凹槽。第一平坦层表面平整性良好，有利于后续形成其他膜层，从而有利于提高显示背板的整体性能。背板的整体性能。背板的整体性能。

【技术实现步骤摘要】
显示背板及其制作方法、显示面板和显示装置


[0001]本申请涉及显示领域，具体地，涉及显示背板及其制作方法、显示面板和显示装置。

技术介绍

[0002]目前，显示背板中的平坦层的平坦性(平整性)较差，其平坦TFT(薄膜晶体管)的作用较差，不利于后续膜层的形成，可能会对后续在平坦层上方形成的膜层结构的性能或者显示器件的发光性能等造成不良影响。
[0003]因此，目前的显示背板及其制作方法、显示面板和显示装置仍有待改进。

技术实现思路

[0004]本申请旨在至少一定程度上缓解或解决上述提及问题中的至少一个。
[0005]在本申请的一方面，本申请提出了一种显示背板。根据本申请的实施例，所述显示背板包括：第一栅极；第一层间介质层，所述第一层间介质层覆盖所述第一栅极的部分表面，所述第一层间介质层具有多个第一凸起，所述第一凸起位于所述第一层间介质层远离所述第一栅极的一侧，所述第一栅极在所述第一层间介质层上的正投影与所述第一凸起没有重叠区域，所述第一凸起限定出多个第一凹槽，所述第一凹槽的深度小于所述第一层间介质层的厚度；第一平坦层，所述第一平坦层位于所述第一层间介质层远离所述第一栅极的一侧，所述第一平坦层覆盖所述第一层间介质层远离所述第一栅极的至少部分表面，并且，所述第一平坦层覆盖所述第一凸起远离所述第一栅极的表面并填充所述第一凹槽。由此，第一层间介质层具有多个第一凹槽，多个第一凹槽可以将平坦层的材料限定在多个较小的空间内，可以使得每个空间内的平坦层的材料具有较好的流平效果，从而使第一平坦层整体具有良好的平整性；第一平坦层表面平整性良好，有利于后续形成其他膜层，从而有利于提高显示背板的整体性能。
[0006]根据本申请的实施例，所述第一凹槽的深度为H1，所述第一层间介质层的厚度为H2，0.3≤H1/H2≤0.7。第一凹槽的深度与第一层间介质层的厚度之比在合适的范围内，可以显著提高平坦层材料的流平效果，也不会刻穿层间介质层。
[0007]根据本申请的实施例，多个所述第一凹槽成行成列排布。成行成列排布的第一凹槽可以更好的提升平坦层材料的流平效果，使得第一平坦层的表面更平整。
[0008]根据本申请的实施例，所述第一凹槽沿水平方向的截面为圆形、椭圆形、四边形、五边形或六边形。第一凹槽在第一层间介质层上的正投影为上述形状时，第一凹槽均可以提高小空间内平坦层材料的流平性能，从而有效提高第一平坦层整体的平整性。
[0009]根据本申请的实施例，所述显示背板还包括第一源漏电极层、第一栅绝缘层、第一有源层和第一电极，所述第一有源层和所述第一栅绝缘层均位于所述第一栅极远离所述第一层间介质层的一侧，所述第一栅绝缘层覆盖所述第一有源层的部分表面，所述第一层间介质层覆盖所述第一栅绝缘层远离所述第一有源层的部分表面，所述第一栅极覆盖所述第
一栅绝缘层远离所述第一有源层的部分表面，所述第一层间介质层具有第一通孔，所述第一通孔贯穿所述第一层间介质层和所述第一栅绝缘层，所述第一源漏电极层填充所述第一通孔并与所述第一有源层接触，所述第一源漏电极层覆盖所述第一层间介质层远离所述第一栅极的部分表面；所述第一平坦层具有第二通孔，所述第一电极覆盖所述第一平坦层远离所述第一栅极的部分表面，所述第一电极填充所述第二通孔并与所述第一源漏电极层接触。由此，有利于进一步提升显示背板的整体性能。
[0010]根据本申请的实施例，所述显示背板还包括：衬底，所述衬底位于所述第一有源层远离所述第一层间介质层的一侧；第二电极，所述第二电极位于所述衬底和所述第一有源层之间；第二栅绝缘层，所述第二栅绝缘层位于所述第二电极靠近所述第一栅极的一侧，所述第二栅绝缘层覆盖所述第二电极远离所述衬底的至少部分表面；第二层间介质层，所述第二层间介质层位于所述第二栅绝缘层靠近所述第一栅极的一侧，所述第二层间介质层覆盖所述第二电极远离所述衬底的至少部分表面，所述第二层间介质层具有多个第二凸起，所述第二凸起位于所述第二层间介质层远离所述第二电极的一侧，所述第二电极在所述第二层间介质层上的正投影与所述第二凸起没有重叠区域，所述第二凸起限定出多个第二凹槽，所述第二凹槽的深度小于所述第二层间介质层的厚度；第二平坦层，所述第二平坦层位于所述第二层间介质层远离所述衬底的一侧，所述第二平坦层覆盖所述第二层间介质层远离所述衬底的至少部分表面，并且，所述第二平坦层覆盖所述第二凸起远离所述第二电极的表面并填充所述第二凹槽。由此，多个第二凹槽可以将第二平坦层的材料限定在多个较小的空间内，从而提高小空间内的材料的流平性能，进而使得第二平坦层整体具有良好的平整性；第二电极、第二层间介质层和第二平坦层的设置可以进一步提高显示背板的整体性能。
[0011]根据本申请的实施例，所述显示背板满足以下条件中的至少之一：所述第二凹槽的深度为H3，所述第二层间介质层的厚度为H4，0.3≤H3/H4≤0.7；多个所述第二凹槽成行成列排布；所述第二凹槽沿水平方向的截面为圆形、椭圆形、四边形、五边形或六边形；所述第一层间介质层的材质和所述第二层间介质层的材质各自独立地包括氮化硅、氧化硅和氮氧化硅中的至少之一；所述第一层间介质层的厚度和所述第二层间介质层的厚度各自独立地为200nm～400nm；所述第一平坦层的材质和所述第二平坦层的材质各自独立地包括聚酰亚胺。
[0012]在本申请的另一方面，本申请提出了一种制作前面所述的显示背板的方法。根据本申请的实施例，制作前面所述的显示背板的方法包括：形成第一栅极；在所述第一栅极的一侧形成原始层间介质层，对所述原始层间介质层进行刻蚀，得到第一层间介质层，其中，所述第一层间介质层覆盖所述第一栅极的部分表面，所述第一层间介质层具有多个第一凸起，所述第一凸起位于所述第一层间介质层远离所述第一栅极的一侧，所述第一栅极在所述第一层间介质层上的正投影与所述第一凸起没有重叠区域，所述第一凸起限定出多个第一凹槽，所述第一凹槽的深度小于所述第一层间介质层的厚度；在所述第一层间介质层远离所述第一栅极的一侧形成第一胶层，所述第一胶层填充所述第一凹槽，所述第一胶层流平后形成第一平坦层，所述第一平坦层覆盖所述第一层间介质层远离所述第一栅极的至少部分表面，所述第一平坦层覆盖所述第一凸起远离所述第一栅极的表面并填充所述第一凹槽。由此，利用上述方法制作得到的显示背板具有前面所述的显示背板所具有的全部特征
以及优点，在此不再赘述。总的来说，利用上述方法制作得到的显示背板中的第一平坦层具有良好的表面平整性；并且，上述方法操作较为简单，容易实现，有利于提高显示背板的制作良率。
[0013]在本申请的又一方面，本申请提出了一种显示面板。根据本申请的实施例，所述显示面板包括前面所述的显示背板或者利用前面所述的方法制作得到的显示背板。由此，该显示面板具有前面所述的显示背板所具有的全部特征以及优点，在此不再赘述。
[0014]在本申请的又一方面，本申请提出了一种显示装置。根据本申请的实施例，所述显示装置包括前面所述的显示面板。由此，该显示装置具有前面所述的显示背板所具有的全部特征本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种显示背板，其特征在于，包括：第一栅极；第一层间介质层，所述第一层间介质层覆盖所述第一栅极的部分表面，所述第一层间介质层具有多个第一凸起，所述第一凸起位于所述第一层间介质层远离所述第一栅极的一侧，所述第一栅极在所述第一层间介质层上的正投影与所述第一凸起没有重叠区域，所述第一凸起限定出多个第一凹槽，所述第一凹槽的深度小于所述第一层间介质层的厚度；第一平坦层，所述第一平坦层位于所述第一层间介质层远离所述第一栅极的一侧，所述第一平坦层覆盖所述第一层间介质层远离所述第一栅极的至少部分表面，并且，所述第一平坦层覆盖所述第一凸起远离所述第一栅极的表面并填充所述第一凹槽。2.根据权利要求1所述的显示背板，其特征在于，所述第一凹槽的深度为H1，所述第一层间介质层的厚度为H2，0.3≤H1/H2≤0.7。3.根据权利要求1所述的显示背板，其特征在于，多个所述第一凹槽成行成列排布。4.根据权利要求1所述的显示背板，其特征在于，所述第一凹槽沿水平方向的截面为圆形、椭圆形、四边形、五边形或六边形。5.根据权利要求1～4中任一项所述的显示背板，其特征在于，所述显示背板还包括第一源漏电极层、第一栅绝缘层、第一有源层和第一电极，所述第一有源层和所述第一栅绝缘层均位于所述第一栅极远离所述第一层间介质层的一侧，所述第一栅绝缘层覆盖所述第一有源层的部分表面，所述第一层间介质层覆盖所述第一栅绝缘层远离所述第一有源层的部分表面，所述第一栅极覆盖所述第一栅绝缘层远离所述第一有源层的部分表面，所述第一层间介质层具有第一通孔，所述第一通孔贯穿所述第一层间介质层和所述第一栅绝缘层，所述第一源漏电极层填充所述第一通孔并与所述第一有源层接触，所述第一源漏电极层覆盖所述第一层间介质层远离所述第一栅极的部分表面；所述第一平坦层具有第二通孔，所述第一电极覆盖所述第一平坦层远离所述第一栅极的部分表面，所述第一电极填充所述第二通孔并与所述第一源漏电极层接触。6.根据权利要求5所述的显示背板，其特征在于，所述显示背板还包括：衬底，所述衬底位于所述第一有源层远离所述第一层间介质层的一侧；第二电极，所述第二电极位于所述衬底和所述第一有源层之间；第二栅绝缘层，所述第二栅绝缘层位于所述第二电极靠近所述第一栅极的一侧，所述第二栅绝缘层覆盖所述第二电极远离所述衬底的至少部分表面；第二层间介质层，所述第二层间介质层位于所述第二栅绝缘层靠...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈善韬，
申请(专利权)人：北京京东方技术开发有限公司，
类型：发明
国别省市：