一种测定调整方法，至少包含测定来自油墨喷头的油墨的喷出量的测定方法，上述测定方法将油墨从上述油墨喷头喷出到基材上，取得喷出到上述基材上的油墨的图像，基于由上述图像得到的信息导出来自上述油墨喷头的油墨的喷出量，喷出到上述基材上的油墨在从上述油墨喷头喷出后经过规定时间以后，相对于来自上述油墨喷头的油墨的喷出量维持一定比例的量。喷头的油墨的喷出量维持一定比例的量。喷头的油墨的喷出量维持一定比例的量。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】油墨的喷出量的测定调整方法、油墨喷出量测定调整装置、有机EL显示面板的面板制造系统、有机EL显示面板的制造方法、油墨和使用油墨而制造的有机EL显示面板
[0001]本专利技术涉及利用油墨喷头的油墨的喷出量的测定调整方法、油墨喷出量测定调整装置、有机EL显示面板的面板制造系统、有机EL显示面板的制造方法、油墨以及使用油墨而制造的有机EL显示面板。
技术介绍
[0002]以往，作为使用分散或溶解有功能性材料的油墨在基板上形成期望图案的装置，已知有将油墨形成液滴而喷出的喷墨装置。喷墨装置通过一边使基板与油墨喷头相对移动一边将从油墨喷头喷出的油墨的液滴配置于基板上的任意部位而形成图案。
[0003]近年来，喷墨装置被用于大画面滤色片、有机EL显示面板的制造等。有机EL显示面板的制造工序之一为有机EL膜的成膜工序，该工序中利用喷墨印刷技术。已知在制造滤色片、有机EL显示面板时，如果喷出(配置)于基板的油墨的喷出量存在偏差，则所形成的膜厚有偏差，在有机EL显示面板中成为发光不均的原因。因此，为了精度良好地制造有机EL显示面板，需要针对每个喷嘴来控制油墨的喷出量。
[0004]在专利文献1中，向重量测定天平喷出液滴来测定各油墨喷头的喷出重量，基于该测定结果，以各油墨喷头的喷出重量达到均匀的方式实施控制。在专利文献2中，通过测定所喷出的液滴的膜厚并基于该测定的膜厚来变更喷出图案，从而调整喷出重量。在专利文献3中，在使观察光学系统的光轴与环状照明体的中心一致的状态下由环状照明体对液滴照射光，基于利用观察光学系统对通过光的照射而由液滴产生的环状照明体的虚像进行拍摄而得的图像来测量液滴的高度。在专利文献4中公开了如下技术：基于通过溶剂的蒸发而形成的液滴的图像数据来测定各喷嘴的液滴的着落直径。另外，在专利文献4中，为了防止从着落到测定为止因液滴蒸发而导致体积变化，使用防止蒸发的罩。
[0005]现有技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1：日本特开2004－209429号公报
[0008]专利文献2：日本特开2006－341231号公报
[0009]专利文献3：日本特开2010－169413号公报
[0010]专利文献4：日本特开2019－169413号公报
技术实现思路
[0011]另一方面，在专利文献1的测定方法中，由于需要大量的油墨，并且该测定需要大量的时间，因此导致喷墨装置的运转率大幅降低。在专利文献2的方法中，不具备针对每个喷嘴算出所喷出的液滴的喷出重量的装置，有各油墨喷头的喷出重量不均匀的顾虑。另外，仅将专利文献3中记载的技术与例如喷墨装置组合时，在高精细化的发展中，难以说对于准
确地测定更微小的液滴而言是充分的。另外，由于有机EL材料等的微小的液滴容易因溶剂的蒸发而导致液滴量发生变化，因此需要考虑这样的体积变化而准确地求出液滴体积的技术。专利文献4中记载的液滴量测定方法为了防止蒸发而使用了罩和其配置机构。这样的机构作为装置整体成为大规模的构成。
[0012]本申请专利技术是为了解决上述课题而作出的，其目的在于针对因溶剂的蒸发而液滴量容易发生变化的课题，在不需要蒸发防止机构的情况下准确地进行液滴的喷出量的测定。
[0013]为了解决上述课题，本申请专利技术具有以下的构成。即，一种测定调整方法，至少包含测定来自油墨喷头的油墨的喷出量的测定方法，
[0014]上述测定方法具有：
[0015]喷出工序，将油墨从上述油墨喷头喷出到基材上，
[0016]取得工序，取得喷出到上述基材上的油墨的图像，以及
[0017]导出工序，基于由上述图像得到的信息导出来自上述油墨喷头的油墨的喷出量；
[0018]喷出到上述基材上的油墨在从上述油墨喷头中喷出起经过规定时间以后，相对于来自上述油墨喷头的油墨的喷出量维持一定比例的量。
[0019]另外，在本申请专利技术的一个方式中，测定调整方法在上述规定时间的期间，进一步具有使喷出到上述基材上的油墨干燥的干燥工序，
[0020]上述干燥工序之后，执行上述取得工序。
[0021]另外，在本申请专利技术的一个方式中，上述油墨包含溶剂和功能性材料，
[0022]上述溶剂含有沸点为250℃以上的有机溶剂。
[0023]另外，本申请专利技术的另一方式具有以下的构成。即，一种测定调整方法，至少包含测定来自油墨喷头的油墨的喷出量的测定方法，
[0024]上述测定方法具有：
[0025]喷出工序，将油墨从上述油墨喷头喷出到基材上，
[0026]取得工序，取得喷出到上述基材上的油墨的图像，以及
[0027]导出工序，基于由上述图像得到的信息导出来自上述油墨喷头的油墨的喷出量；
[0028]上述油墨包含溶剂和功能性材料，
[0029]上述溶剂含有沸点为250℃以上的有机溶剂。
[0030]另外，在本申请专利技术的一个方式中，测定调整工序在规定时间的期间，进一步具有使喷出到上述基材上的油墨干燥的干燥工序，
[0031]上述干燥工序之后，执行上述取得工序。
[0032]另外，在本申请专利技术的一个方式中，上述规定时间为5分钟以上。
[0033]另外，在本申请专利技术的一个方式中，上述油墨包含溶剂和功能性材料，
[0034]上述溶剂含有沸点为300℃以上的有机溶剂。
[0035]另外，在本申请专利技术的一个方式中，相对于上述油墨以20重量％以上含有上述有机溶剂。
[0036]另外，在本申请专利技术的一个方式中，上述基材涂布有对上述油墨具有拒液性的拒液性涂覆材料。
[0037]另外，在本申请专利技术的一个方式中，上述导出工序中，
[0038]从上述图像中提取油墨的液滴的直径，
[0039]至少使用该提取的直径而导出上述基材上的油墨的体积，
[0040]由该导出的上述基材上的油墨的体积导出来自上述油墨喷头的油墨的喷出量。
[0041]另外，在本申请专利技术的一个方式中，测定调整方法进一步具有如下调整工序：基于由上述导出工序导出的油墨的喷出量调整来自上述油墨喷头中的喷出量。
[0042]另外，在本申请专利技术的一个方式中，在形成构成有机EL显示面板的功能层中的发光层、空穴注入层和空穴传输层中的至少任一者时使用上述测定调整方法。
[0043]另外，本申请专利技术的另一方式具有以下的构成。即，一种油墨喷出量测定调整装置，使用上述测定调整方法。
[0044]另外，本申请专利技术的另一方式具有以下的构成。即，一种有机EL显示面板的面板制造系统，具有上述油墨喷出量测定调整装置。
[0045]另外，本申请专利技术的另一方式具有以下的构成。即，一种有机EL显示面板的制造方法，使用上述测定调整方法。
[0046]另外，本申请专利技术的另一方式具有以下的构成。即，一种有机EL显示面板的制造方法，使用上述面板制造系统。
[0047]另外，本申请专利技术的另一方式具有以下的构成。即，一本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种测定调整方法，其特征在于，至少包含测定来自油墨喷头的油墨的喷出量的测定方法，所述测定方法具有：喷出工序，将油墨从所述油墨喷头喷出到基材上，取得工序，取得喷出到所述基材上的油墨的图像，以及导出工序，基于由所述图像得到的信息导出来自所述油墨喷头的油墨的喷出量；喷出到所述基材上的油墨在从所述油墨喷头喷出后经过规定时间以后，相对于来自所述油墨喷头的油墨的喷出量维持一定比例的量。2.根据权利要求1所述的测定调整方法，其特性在于，进一步具有在所述规定时间的期间使喷出到所述基材上的油墨干燥的干燥工序，所述干燥工序之后，执行所述取得工序。3.根据权利要求1或2所述的测定调整方法，其特征在于，所述油墨包含溶剂和功能性材料，所述溶剂含有沸点为250℃以上的有机溶剂。4.一种测定调整方法，其特征在于，至少包含测定来自油墨喷头的油墨的喷出量的测定方法，所述测定方法具有：喷出工序，将油墨从所述油墨喷头喷出到基材上，取得工序，取得喷出到所述基材上的油墨的图像，以及导出工序，基于由所述图像得到的信息导出来自所述油墨喷头的油墨的喷出量；所述油墨包含溶剂和功能性材料，所述溶剂含有沸点为250℃以上的有机溶剂。5.根据权利要求4所述的测定调整方法，其特征在于，进一步具有在规定时间的期间使喷出到所述基材上的油墨干燥的干燥工序，所述干燥工序之后，执行所述取得工序。6.根据权利要求1～3和5中任一项所述的测定调整方法，其特征在于，所述规定时间为5分钟以上。7.根据权利要求1～6中任一项所述的测定调整方法，其特征在于，所述油墨包含溶剂和功能性材料，所述溶剂含有沸点为300℃以上的有机溶剂。8.根据权利要求3～5和7中任一项所述的测定调整方法，其特征在于，相对于所述油墨以20重量％以上含有所述有机溶剂。9.根据权利要求1～8中任一项所述的测定调整方法，其特征在于，所述基材涂布有对所述油墨具有拒液性的拒液性涂覆材料。10.根据权利要求1～9中任一项所述的测定调整方法，其特...
【专利技术属性】
技术研发人员：福田敏生，
申请(专利权)人：三菱化学株式会社，
类型：发明
国别省市：
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