磁浮重力补偿器及光刻装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种磁浮重力补偿器及光刻装置，涉及集成电路装备制造技术领域。该磁浮重力补偿器包括磁浮单元，磁浮单元包括定子组件和动子组件，定子组件设于磁浮单元的外圈，包括定子磁环和线圈环，定子磁环和线圈环沿磁浮单元的轴线方向排布，定子磁环的充磁方向为径向充磁，线圈环周向设有冷却单元。动子组件设于磁浮单元的内圈，包括动子磁环，动子磁环包括第一动子磁环和第二动子磁环，第一动子磁环和第二动子磁环沿磁浮单元的轴线方向排布，第一动子磁环的充磁方向为径向充磁，第二动子磁环的充磁方向为轴向充磁。该磁浮重力补偿器能够产生被动悬浮力和主动悬浮力，主动悬浮力的大小可调。悬浮力的大小可调。悬浮力的大小可调。

【技术实现步骤摘要】
磁浮重力补偿器及光刻装置


[0001]本技术涉及集成电路装备制造
，尤其涉及一种磁浮重力补偿器及光刻装置。

技术介绍

[0002]光刻装置用于将掩模图案曝光成像到硅片上，主要用于集成电路IC或其它微型器件的制造。随着光刻装置的工作台和掩模台操作精度要求达到亚微米级，需要采取有效的方案进行减震和隔振，重力补偿器就是在此应用背景下发展起来的新型结构。
[0003]现有的重力补偿器结构，主要分为无源型重力补偿器和有源型重力补偿器，现有技术中，无源型重力补偿器的悬浮力的可调范围小，而大部分应用场景都需要悬浮力大小可调，故该种无源型重力补偿器应用场景受限。此外，若要增大悬浮力，通常的方式是增大悬浮动子磁铁的尺寸，这就会带来悬浮动子质量的增加，不适用于有尺寸限制，要求悬浮力大的场合。有源型重力补偿器通过线圈通电实现了悬浮力的调节，但若需要平衡的重力增大时，只能通过增大线圈的电流来实现，线圈发热量大，产生的温升会使平台热变形大，系统的动态特性差，定位精度低。此外，悬浮动子次级分布在外圈，悬浮动子质量大，不适用于有尺寸限制，要求悬浮力大的场合。上本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.磁浮重力补偿器，其特征在于，包括磁浮单元，所述磁浮单元包括：定子组件(1)，设于所述磁浮单元的外圈，包括定子磁环(12)和线圈环(13)，所述定子磁环(12)和所述线圈环(13)沿所述磁浮单元的轴线方向排布，所述定子磁环(12)的充磁方向为径向充磁，所述线圈环(13)的周向设有冷却单元；动子组件(2)，设于所述磁浮单元的内圈，包括动子磁环，所述动子磁环的充磁阵列采用海尔贝克阵列，所述动子磁环包括第一动子磁环(21)和第二动子磁环(22)，所述第一动子磁环(21)和所述第二动子磁环(22)沿所述磁浮单元的轴线方向排布，所述第一动子磁环(21)的充磁方向为径向充磁，所述第二动子磁环(22)的充磁方向为轴向充磁；所述定子磁环(12)与所述第二动子磁环(22)相互作用，产生被动悬浮力；所述线圈环(13)与所述第一动子磁环(21)相互作用产生主动悬浮力，且所述线圈环(13)切割所述动子磁环产生的磁场，进而产生洛伦兹力。2.根据权利要求1所述的磁浮重力补偿器，其特征在于，所述第一动子磁环(21)和所述第二动子磁环(22)共设有三个，所述定子磁环(12)和所述线圈环(13)共设有三个，沿所述磁浮单元的轴线方向，所述第一动子磁环(21)对应所述线圈环(13)设置，所述第二动子磁环(22)对应所述定子磁环(12)设置。3.根据权利要求2所述的磁浮重力补偿器，其特征在于，当所述定子磁环(12)设有两个，所述线圈环(13)设有一个时，所述第一动子磁环(21)设有一个，所述第二动子磁环(22)设有两个，一个所述第一动子磁环(21)位于两个所述第二动子磁环(22)之间，两个所述第二动子磁环(22)的充磁方向相反，一个所述线圈环(13)位于两个所述定子磁环(12)之间，且两...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚艺华，印欣，时磊，石佳蒙，王善明，
申请(专利权)人：雅科贝思精密机电上海有限公司，
类型：新型
国别省市：