温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种磁浮重力补偿器及光刻装置，涉及集成电路装备制造技术领域。该磁浮重力补偿器包括磁浮单元，磁浮单元包括定子组件和动子组件，定子组件设于磁浮单元的外圈，包括定子磁环和线圈环，定子磁环和线圈环沿磁浮单元的轴线方向排布，定子磁环的...
该专利属于雅科贝思精密机电（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过雅科贝思精密机电（上海）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。