一种超声波硅片清洗机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种超声波硅片清洗机，包括清洗机体，所述清洗机体顶端的一侧开设有清洗槽，所述清洗槽的底部固定安装有震动面钢板，所述清洗槽槽底等距固定安装有多个超声波换能器，所述超声波换能器的顶端与震动面钢板底端接触连接，所述清洗槽内壁两侧均开设有滑槽，两个所述滑槽的内部均滑动连接有滑块。本实用新型专利技术通过安装的伺服电机带动梯形丝杆的转动，通过梯形丝杆的转动带动滑块的升降，通过滑块的移动带动金属滤网的升降，通过金属滤网的升降，便于对清洗后的硅片提出，方便清洗后的硅片滤水和硅片的提拿，通过安装的水循环机构，水循环机构便于实现对清洗槽内部的清洗水内循环处理，确保了超声波硅片的清晰效果。确保了超声波硅片的清晰效果。确保了超声波硅片的清晰效果。

【技术实现步骤摘要】
一种超声波硅片清洗机


[0001]本技术涉及硅片清洗机
，特别涉及一种超声波硅片清洗机。

技术介绍

[0002]硅片超声清洗机，该设备主要由上料台、清洗部分、移载机械手、旋转机构、抽风系统及电控部分组成。
[0003]根据专利号为“CN216800909U”公开了一种超声波硅片清洗机，通过在使用超声波进行振动除杂质的同时，托架带动清洗篮中的硅片上下移动，使得硅片能清洗的更彻底，但是上述超声波硅片清洗机在使用的过程中，清洗的硅片不便于拿出，同时硅片清洗的水没有进行实时循环过滤，影响硅片的清洗效果。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种超声波硅片清洗机，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种超声波硅片清洗机，包括清洗机体，所述清洗机体顶端的一侧开设有清洗槽，所述清洗槽的底部固定安装有震动面钢板，所述清洗槽槽底等距固定安装有多个超声波换能器，所述超声波换能器的顶端与震动面钢板底端接触连接，所述清洗槽内壁两侧均开设有滑槽，两个所述滑槽的内部均滑动连接有滑块，两个所述滑块之间固定安装有金属滤网，两个所述滑槽的顶部和底部之间转动连接有梯形丝杆，两根所述梯形丝杆与滑块的中部螺纹连接，所述清洗机体的底部开设有第一空腔，两根所述梯形丝杆的底端延伸至第一空腔内部均固定安装有链轮，两个所述链轮之间传动连接有链条，所述清洗机体内部的底端固定安装有伺服电机，所述伺服电机的输出轴与对应梯形丝杆的底端固定连接，所述清洗机体的另一侧开设有第二空腔，所述第二空腔的内壁固定安装有水循环机构。
[0006]优选的，所述水循环机构包括循环泵和PP过滤滤芯，所述第二空腔的内部固定安装有固定筒，所述固定筒的内部固定安装有PP过滤滤芯，所述第二空腔内部的顶端固定安装有循环泵，所述固定筒的一端与清洗槽的内部连通，所述循环泵的进水端与固定筒的另一端连通，所述循环泵的出水端与清洗槽的内部连通。
[0007]优选的，所述清洗槽顶端的一侧铰接有密封盖板，所述密封盖板顶端的一侧固定设有提拿块。
[0008]优选的，所述清洗机体的一侧开设有多个散热孔，多个所述散热孔的内部均固定安装有散热孔，所述散热孔的内部固定安装有防尘网。
[0009]优选的，所述清洗机体底端的四个边角处均固定安装有支撑腿，四个所述支撑腿底端开设有均匀分布的防滑纹。
[0010]优选的，所述清洗机体的顶部固定设有控制面板，超声波换能器、伺服电机和循环泵均通过控制面板与外接电源电连接。
[0011]本技术的技术效果和优点：
[0012]1、通过安装的伺服电机带动梯形丝杆的转动，通过梯形丝杆的转动带动滑块的升降，通过滑块的移动带动金属滤网的升降，通过金属滤网的升降，便于对清洗后的硅片提出，方便清洗后的硅片滤水和硅片的提拿。
[0013]2、通过安装的水循环机构，水循环机构便于实现对清洗槽内部的清洗水内循环处理，确保了超声波硅片的清晰效果。
附图说明
[0014]图1为本技术一种超声波硅片清洗机的结构示意图。
[0015]图2为本技术一种超声波硅片清洗机的剖面结构示意图。
[0016]图3为本技术一种超声波硅片清洗机的图2中A处局部放大图。
[0017]图4为本技术一种超声波硅片清洗机的第二空腔内部结构示意图。
[0018]图中：1、清洗机体；2、支撑腿；3、散热孔；4、防尘网；5、清洗槽；6、密封盖板；7、提拿块；8、控制面板；9、金属滤网；10、滑槽；11、滑块；12、梯形丝杆；13、震动面钢板；14、超声波换能器；15、第一空腔；16、链轮；17、链条；18、伺服电机；19、第二空腔；20、循环泵；21、PP过滤滤芯。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]本技术提供了如图1
‑
4所示的一种超声波硅片清洗机，包括清洗机体1，清洗机体1顶端的一侧开设有清洗槽5，清洗槽5的底部固定安装有震动面钢板13，清洗槽5槽底等距固定安装有多个超声波换能器14，超声波换能器14的顶端与震动面钢板13底端接触连接，清洗槽5内壁两侧均开设有滑槽10，两个滑槽10的内部均滑动连接有滑块11，两个滑块11之间固定安装有金属滤网9，两个滑槽10的顶部和底部之间转动连接有梯形丝杆12，两根梯形丝杆12与滑块11的中部螺纹连接，清洗机体1的底部开设有第一空腔15，两根梯形丝杆12的底端延伸至第一空腔15内部均固定安装有链轮16，两个链轮16之间传动连接有链条17，清洗机体1内部的底端固定安装有伺服电机18，伺服电机18的输出轴与对应梯形丝杆12的底端固定连接，清洗机体1的另一侧开设有第二空腔19，第二空腔19的内壁固定安装有水循环机构。
[0021]通过伺服电机18带动梯形丝杆12的转动，通过梯形丝杆12的转动带动滑块11的升降，通过滑块11的升降带动金属滤网9的升降，方便清洗的硅片提拿和滤水。
[0022]根据图1、图2和图4所示，水循环机构包括循环泵20和PP过滤滤芯21，第二空腔19的内部固定安装有固定筒，固定筒的内部固定安装有PP过滤滤芯21，第二空腔19内部的顶端固定安装有循环泵20，固定筒的一端与清洗槽5的内部连通，循环泵20的进水端与固定筒的另一端连通，循环泵20的出水端与清洗槽5的内部连通，通过循环泵20将清洗槽5内部的清洗液通过PP过滤滤芯21过滤后再回流至清洗槽5中，确保清洗的效果。
[0023]根据图1、图2和图4所示，清洗槽5顶端的一侧铰接有密封盖板6，密封盖板6顶端的一侧固定设有提拿块7，通过提拿块7的设置，便于密封盖板6的打开和盖设。
[0024]清洗机体1的一侧开设有多个散热孔3，多个散热孔3的内部均固定安装有散热孔3，散热孔3的内部固定安装有防尘网4，通过开设的散热孔3，方便清洗机体1的散热。
[0025]清洗机体1底端的四个边角处均固定安装有支撑腿2，四个支撑腿2底端开设有均匀分布的防滑纹，通过支撑腿2底端开设的防滑纹，确保清洗机体1的稳定性。
[0026]清洗机体1的顶部固定设有控制面板8，超声波换能器14、伺服电机18和循环泵20均通过控制面板8与外接电源电连接。
[0027]本技术工作原理：在使用该超声波硅片清洗机时，首先将需要清洗的硅片放置在金属滤网9的顶端，接着人为的打开伺服电机18，通过伺服电机18的转动带动梯形丝杆12的转动，两根梯形丝杆12之间通过链轮16和实现链条17传动，从而使两根梯形丝杆12同步转动，通过梯形丝杆12转动带动滑块11的升降，通过滑块11的升降带动金属滤网9的升降，方便清本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种超声波硅片清洗机，包括清洗机体(1)，其特征在于，所述清洗机体(1)顶端的一侧开设有清洗槽(5)，所述清洗槽(5)的底部固定安装有震动面钢板(13)，所述清洗槽(5)槽底等距固定安装有多个超声波换能器(14)，所述超声波换能器(14)的顶端与震动面钢板(13)底端接触连接，所述清洗槽(5)内壁两侧均开设有滑槽(10)，两个所述滑槽(10)的内部均滑动连接有滑块(11)，两个所述滑块(11)之间固定安装有金属滤网(9)，两个所述滑槽(10)的顶部和底部之间转动连接有梯形丝杆(12)，两根所述梯形丝杆(12)与滑块(11)的中部螺纹连接，所述清洗机体(1)的底部开设有第一空腔(15)，两根所述梯形丝杆(12)的底端延伸至第一空腔(15)内部均固定安装有链轮(16)，两个所述链轮(16)之间传动连接有链条(17)，所述清洗机体(1)内部的底端固定安装有伺服电机(18)，所述伺服电机(18)的输出轴与对应梯形丝杆(12)的底端固定连接，所述清洗机体(1)的另一侧开设有第二空腔(19)，所述第二空腔(19)的内壁固定安装有水循环机构。2.根据权利要求1所述的一种超声波硅片清洗机，其特征在于，所述水循环机构包括循环泵(20)和PP过...

【专利技术属性】
技术研发人员：姜李斌，许晓辉，孙文兵，
申请(专利权)人：浙江艾科半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：