一种直通密封型真空角阀，属于半导体真空阀门技术领域，包括气缸和阀体，气缸内设置有用于启闭阀体内腔的执行机构组件，所述执行机构组件包括活塞、阀杆、阀门和直通密封罩，直通密封罩设置气缸底部，与气缸壁之间组合形成腔体体积不变的密封腔；气缸上设有通气孔，气缸上设有第一导向孔，用于阀杆穿过气缸与活塞连接；直通密封罩上设有第二导向孔，用于阀杆穿过直通密封罩与阀门连接；第一导向孔与第二导向孔内设有密封圈；由于阀杆的两端分别穿过第一导向孔与第二导向孔，因此在进行阀门开合时，直通型密封罩内腔容积不变，可以取消现有常用结构中的排气通道，可以避免外界的空气带入杂质，影响阀体的使用寿命。影响阀体的使用寿命。影响阀体的使用寿命。
【技术实现步骤摘要】
一种直通密封型真空角阀及其组装方法
[0001]本专利技术属于半导体真空阀门
，具体为一种直通密封型真空角阀及其组装方法。
技术介绍
[0002]“真空角阀”的运用中，起到对应管道中介质流动开关的作用，须防止管道中介质与管道外部大气互相泄漏（如：管道内化学介质外泄污染环境、外部大体进入管道内破环管道原有介质成分等），同时也能保护执行机构内部部件（如：阀杆、弹簧等），防止介质对其造成腐蚀等。即确保管道内介质与外部环境及阀门内部执行机构隔绝开来。为实现这一目的，“半导体真空角阀”常用的密封类型可分为：波纹管密封型和馈通密封型。
[0003]其次当“真空角阀”运用到较为恶劣的外部环境中时（如：环境中含有杂质、粉尘颗粒较多），需防止外部外界杂质和空气等进入阀内，随着阀门的动作，这些外部的物质可能吸入到阀门内部执行机构，容易造成执行机构内部污染缩短使用寿命甚至直接抱死。而常用波纹管密封型和馈通密封型当阀门动作时，其对应的内腔容积会产生相应变化，因此一般会有一条排气的通道与外部环境直接连通。这样，当阀门运动时由于内腔容积的变化将容易通过排气通道吸入外部环境的物质到阀门内部执行结构，从而对其造成污染。
技术实现思路
[0004]针对以上问题，本专利技术提供一种直通密封型真空角阀及其组装方法，由于阀杆的两端分别穿过第一导向孔与第二导向孔，因此在进行阀门开合时，直通型密封罩内腔容积不变，可以取消现有常用结构中的排气通道，可以避免外界的空气带入杂质，影响阀体的使用寿命。
[0005]为实现上述目的，本专利技术采用的技术方案是：一种直通密封型真空角阀，包括气缸和阀体，气缸内设置有用于启闭阀体内腔的执行机构组件，所述执行机构组件包括活塞、阀杆、阀门和直通密封罩，直通密封罩设置气缸底部，与气缸壁之间组合形成腔体体积不变的密封腔；气缸上设有通气孔，通过通气孔向气缸内注入介质驱动活塞滑动；活塞滑动配装于气缸内，气缸上设有第一导向孔，用于阀杆穿过气缸与活塞连接；阀门与阀体内腔的密封面相吻配，直通密封罩上设有第二导向孔，用于阀杆穿过直通密封罩与阀门连接；第一导向孔与第二导向孔内设有密封圈。
[0006]作为上述技术方案的进一步改进，还包括阀盖，阀盖上设置有用于对活塞位移进行限位的开度限位器组件，所述开度限位器组件包括限位旋钮、限位螺杆与限位螺母；阀盖上设有圆孔，限位螺杆滑动设在圆孔内，限位螺杆上下两端分别设有限位旋钮与限位螺母，所述限位螺母设于阀盖下的导向槽内，通过限位旋钮与限位螺杆带动限位螺母上下运动，调节活塞的运动行程。
[0007]作为上述技术方案的进一步改进，所述限位螺杆上设有连接臂，连接臂上设有导轨，所述导轨内设有位置指示器，导轨滑动设于气缸侧方的滑槽内。
[0008]作为上述技术方案的进一步改进，直通密封罩由耐腐蚀性材质制成，直通密封罩的壁厚大于或等于2mm。
[0009]作为上述技术方案的进一步改进，阀杆包括上阀杆与下阀杆，上阀杆下设有安装凸台，上阀杆穿过第一导向孔与活塞连接，安装凸台与气缸壁之间设有弹簧；下阀杆上端与上阀杆相连接，下阀杆下端穿过第二导向孔与阀门相连接。
[0010]阀杆穿过第一导向孔与第二导向孔两端分别与活塞或阀门连接。
[0011]作为上述技术方案的进一步改进，阀门固定设于下阀杆上，随下阀杆动作，阀门底面设有密封圈，所述密封圈与阀体内腔所设台阶相配合。
[0012]作为上述技术方案的进一步改进，当阀门完全打开时，弹簧底端与直通密封罩底部之间的距离大于活塞的运动行程。
[0013]作为上述技术方案的进一步改进，阀门的高度（Hv）与直通密封罩的高度（Hs）的比值为Hs：Hv=（1.5
‑
2.5）：（2.5
‑
3.5）。
[0014]作为上述技术方案的进一步改进，阀杆中部设有安装凸台，安装凸台位于直通密封罩内，在垫片与气缸壁之间设有弹簧；阀杆穿过第一导向孔与第二导向孔两端分别与活塞或阀门连接。
[0015]上述技术方案中直通密封型真空角阀的组装方法，包括以下步骤：步骤1：将下阀杆与直通密封罩装配在一起，并在第二导向孔内置入密封圈；步骤2：将上阀杆与下阀杆组装，然后将弹簧套设在上阀杆上；步骤3：将上阀杆组装进入气缸内，并在第一导向孔置入密封圈；步骤4：将活塞与上阀杆组装，组装完成之后通过螺母对连接处进行加固；步骤5：将限位螺母安装于阀盖上，然后将限位螺杆与限位螺母连接，接着将连接臂安装在限位螺杆上之后将限位旋钮与限位螺杆组装；步骤6：将阀盖与气缸扣合至一起，然后将位置指示器安装进入导轨内，然后将导轨通过螺栓与连接臂连接；步骤7：在直通密封罩上部法兰上下两端分别放置密封圈，然后将气缸与阀体扣合起来，通过阀体内的法兰和气缸将直通密封罩顶部法兰卡紧在气缸与阀体的法兰之间；最后通过长螺栓将阀盖、气缸与阀体固定连接起来。
[0016]作为上述技术方案的进一步改进，步骤4中，在进行活塞与上阀杆组装的过程中，需要压缩弹簧使得上阀杆上端从气缸下部伸出长度大于上阀杆顶端螺栓长度。
[0017]与现有技术相比，本专利技术的有益效果为：由于阀杆的两端分别穿过第一导向孔与第二导向孔，因此在进行阀门开合时，直通型密封罩内腔容积不变，可以取消现有常用结构中的排气通道，可以避免外界的空气带入杂质，影响阀体的使用寿命，使得直通型密封罩内腔由上下密封圈的阻断，形成一个密闭的且容积固定的腔体，将Hs：Hv=2：3设置，能够在兼顾阀体尺寸的同时又能够确保在阀门关闭时弹簧有足够的空间用于产生相应的弹力，同时确保了阀门存在10mm的运动行程，减少相应介质通过时与阀门的碰撞，进而减小震动的产生，能够提高阀门的稳定性。
附图说明
[0018]图1为本专利技术立体结构示意图。
[0019]图2为本专利技术俯视结构示意图。
[0020]图3为本专利技术另一视角立体结构示意图。
[0021]图4为本专利技术剖视结构示意图（阀门打开状态）。
[0022]图5为图2中A
‑
A处剖视图。
[0023]图6为本专利技术阀门闭合是剖视结构示意图。
[0024]图中：1、阀盖；2、气缸；3、执行机构；31、活塞；32、上阀杆；33、下阀杆；34、弹簧；35、垫片；36、阀门；4、直通密封罩；5、阀体；6、开度限位器组件；61、限位旋钮；62、限位螺杆；63、限位螺母；7、移位导轨组件；71、导轨；72、连接臂。
具体实施方式
[0025]为了使本领域技术人员更好地理解本专利技术的技术方案，下面结合实施例对本专利技术进行详细描述，本部分的描述仅是示范性和解释性，不应对本专利技术的保护范围有任何的限制作用。
实施例
[0026]直通密封型真空角阀包括气缸2，气缸2内设有活塞31，在气缸2壁上设有通气孔，通气孔与外部供气管道相连，外部供气管用于向气缸2内充气或抽气驱动活塞31在气缸2内运动，其中活塞31与阀杆可通过螺纹连接等本领域技术人员所熟知技术手段，在气缸2的下方设置有直通密封罩4，直通密本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种直通密封型真空角阀，包括气缸和阀体，气缸内设置有用于启闭阀体内腔的执行机构组件，其特征在于，所述执行机构组件包括活塞、阀杆、阀门和直通密封罩，直通密封罩设置气缸底部，与气缸壁之间组合形成腔体体积不变的密封腔；气缸上设有通气孔，通过通气孔向气缸内注入介质驱动活塞滑动；活塞滑动配装于气缸内，气缸上设有第一导向孔，用于阀杆穿过气缸与活塞连接；阀门与阀体内腔的密封面相吻配，直通密封罩上设有第二导向孔，用于阀杆穿过直通密封罩与阀门连接；直通密封罩由耐腐蚀性材质制成；第一导向孔与第二导向孔内设有密封圈；阀门的高度（Hv）与直通密封罩的高度（Hs）的比值为Hs：Hv=（1.5
‑
2.5）：（2.5
‑
3.5）。2.根据权利要求1所述的直通密封型真空角阀，其特征在于，还包括阀盖，阀盖上设置有用于对活塞位移进行限位的开度限位器组件，所述开度限位器组件包括限位旋钮、限位螺杆与限位螺母；阀盖上设有圆孔，限位螺杆滑动设在圆孔内，限位螺杆上下两端分别设有限位旋钮与限位螺母，所述限位螺母设于阀盖下的导向槽内，通过限位旋钮与限位螺杆带动限位螺母上下运动，调节活塞的运动行程。3.根据权利要求2所述的直通密封型真空角阀，其特征在于，所述限位螺杆上设有连接臂，连接臂上设有导轨，所述导轨内设有位置指示器，导轨滑动设于气缸侧方的滑槽内。4.根据权利要求1所述的直通密封型真空角阀，其特征在于，直通密封罩的壁厚大于或等于2mm。5.根据权利要求1所述的直通密封型真空角阀，其特征在于，阀杆包括上阀杆与下阀杆，上阀杆下设有安装凸台，上阀杆穿过第一导向孔与活塞连接，安装凸台与气缸壁之间设有弹簧；下阀杆上端与上阀杆相连接，下阀杆下端穿过第二...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱永超，胡能，刘阳，
申请(专利权)人：长沙华实半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。