一种具有冷却结构的静电卡盘制造技术

本实用新型专利技术公开了一种具有冷却结构的静电卡盘，包括卡盘本体(1)、设置在所述卡盘本体(1)上的安装槽(101)、嵌设在所述安装槽(101)内的冷却管(2)、可拆卸设置在所述卡盘本体(1)上的多个对所述冷却管(2)限位的限位件(3)，所述限位件(3)沿所述安装槽(101)的边缘设置。本实用新型专利技术通过冷却管对静电卡盘进行冷却，冷却循环效果好，结构简单，易于安装和拆卸。易于安装和拆卸。易于安装和拆卸。

【技术实现步骤摘要】
一种具有冷却结构的静电卡盘


[0001]本技术涉及静电卡盘领域，具体涉及一种具有冷却结构的静电卡盘。

技术介绍

[0002]在半导体加工过程中有着在上百道的加工工序，在这些工艺步骤中晶圆需要被稳定的固定在工艺设备上。随着工艺技术的发展，传统的夹持方法如机械卡盘、真空吸盘已逐渐被淘汰。静电卡盘由于具有夹持均匀、非直接接触等优点被广泛应用于大规模集成电路制造中。
[0003]为了保证加工精度，需要控制晶圆表面的均温性，因此静电卡盘必须具有良好的散热性能，现有技术是静电卡盘内部加工冷却腔，直接在冷却腔内通入冷却液体，需要使用专用设备进行加工，成本高昂，又因为结构复杂，卡盘内部预留的冷却空腔容易存在虚焊或者被焊料填堵等缺陷，导致整个零件报废，良品率不高。冷却腔内通入冷却液的方案冷却效果不佳，从而影响半导体的生产。因此，亟需一种新的技术方案解决以上至少一个技术问题。

技术实现思路

[0004]本技术目的是提供一种具有冷却结构的静电卡盘，无需在静电卡盘内部加工冷却腔，通过冷却管对静电卡盘进行冷却，冷却循环效果好，结构简单，易于安装和本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有冷却结构的静电卡盘，其特征在于，包括卡盘本体（1）、设置在所述卡盘本体（1）上的安装槽（101）、嵌设在所述安装槽（101）内的冷却管（2）、可拆卸设置在所述卡盘本体（1）上的多个对所述冷却管（2）限位的限位件（3），所述限位件（3）沿所述安装槽（101）的边缘设置。2.根据权利要求1所述的一种具有冷却结构的静电卡盘，其特征在于，所述冷却管（2）包括依序连通的第一进出液管段（201）、第一过渡管段（202）、冷却段（203）、第二过渡管段（204）、第二进出液管段（205），所述冷却段（203）嵌设在所述安装槽（101）内。3.根据权利要求2所述的一种具有冷却结构的静电卡盘，其特征在于，所述冷却段（203）由多个U形结构组成。4.根据权利要求2所述的一种具有冷却结构的静电卡盘，其特征在于，所述第一进出液管段（201）与所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：季迪，游利，周红旗，夏荣荣，倪赟，
申请(专利权)人：江苏先锋精密科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：