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本实用新型公开了一种具有冷却结构的静电卡盘，包括卡盘本体(1)、设置在所述卡盘本体(1)上的安装槽(101)、嵌设在所述安装槽(101)内的冷却管(2)、可拆卸设置在所述卡盘本体(1)上的多个对所述冷却管(2)限位的限位件(3)，所述限位件...
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