一种单晶硅片的除尘设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种单晶硅片的除尘设备，包括除尘柜，所述除尘柜的内部固定安装有承载板，所述承载板的顶部固定安装有支撑柱，所述支撑柱的左右两侧分别安装有放置架，所述除尘柜的顶部可拆卸安装有吹风机，所述吹风机的出风口处连接有连接管，所述连接管的底部分别安装有吹风杆，所述吹风杆的上侧均匀的开设有，所述除尘柜的底部开设有集尘槽，本实用新型专利技术通过设置吹风机、连接管、吹风杆和通孔，能够将附着在除尘柜内部放置的单晶硅片上的灰尘吹起，避免设置多个通孔更加充分的对除尘柜内部进行吹风，快速实现对刻蚀气体的混合以及除杂，设置集尘抽屉，便于都会灰尘进行更好的收集，安装拆卸方便。安装拆卸方便。安装拆卸方便。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅片的除尘设备


[0001]本技术属于除尘设备
，尤其涉及一种单晶硅片的除尘设备。

技术介绍

[0002]单晶硅在生产过程中会产生大量有害粉尘，如果不去除，会对人员和环境造成一定的危害，同时也影响单晶硅的生产效率，这就需要配置相应的除尘设备，由于除尘器安装在单晶炉真空管道中，也就对设备的振动提出了要求，不能影响真空管道的压力。
[0003]综上所述，现有的单晶硅片的生产制造过程中会产生一定的灰尘，一般都会通过各种类型的单晶硅片进行除尘，大部分除尘设备内部设置的放置架上的单晶硅片产生的灰尘都会被堆积，不能够更好的将灰尘扬起，不变与对灰尘进行清理，同时，除尘后的灰尘不能够得到更好的收集，单晶硅片的除尘设备均不能较好的达到使用要求。

技术实现思路

[0004]针对现有技术存在的问题，本技术提供了一种单晶硅片的除尘设备，具备便于使用的优点，解决了现有的单晶硅片的生产制造过程中会产生一定的灰尘，一般都会通过各种类型的单晶硅片进行除尘，大部分除尘设备内部设置的放置架上的单晶硅片产生的灰尘都会被堆积，不能够更好的将灰尘扬起，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶硅片的除尘设备，包括除尘柜(1)，其特征在于：所述除尘柜(1)的内部固定安装有承载板(2)，所述承载板(2)的顶部固定安装有支撑柱(5)，所述支撑柱(5)的左右两侧分别安装有放置架(6)，所述除尘柜(1)的顶部可拆卸安装有吹风机(9)，所述吹风机(9)的出风口处连接有连接管(10)，所述连接管(10)的底部分别安装有吹风杆(11)，所述吹风杆(11)的上侧均匀的开设有通孔(12)，所述除尘柜(1)的底部开设有集尘槽(14)，所述集尘槽(14)的内部可拆卸安装有集尘抽屉(15)，所述除尘柜(1)的右侧连接有积尘管(18)，所述积尘管(18)的左端贯穿集尘抽屉(15)的右侧，所述积尘管(18)延伸至集尘抽屉(15)的内部，所述积尘管(18)的右端可拆卸安装有吸尘器(19)。2.如权利要求1所述的一种单晶硅片的除尘设备，其特征在于：所述承载板(2)的...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈钟，
申请(专利权)人：长沙鹏宇新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：