下载一种单晶硅片的除尘设备的技术资料

文档序号:38511606

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本实用新型公开了一种单晶硅片的除尘设备,包括除尘柜,所述除尘柜的内部固定安装有承载板,所述承载板的顶部固定安装有支撑柱,所述支撑柱的左右两侧分别安装有放置架,所述除尘柜的顶部可拆卸安装有吹风机,所述吹风机的出风口处连接有连接管,所述连接管的...
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