【技术实现步骤摘要】
一种单通道HF水溶液灌装系统及其方法
[0001]本专利技术属于灌装系统领域,具体为一种单通道HF水溶液灌装系统及其方法。
技术介绍
[0002]在HF水溶液灌装灌装过程中,需要将超纯氟化氢和超纯水进行混合完成灌装,一般包括筒体,筒体两侧对称设有进料管,其中一个进料管用于通入超纯氟化氢,另一个进料管用于通入超纯水,通过两个进料管向筒体内部通入超纯氟化氢和超纯水,随后在筒体内部进行搅拌,从而将超纯氟化氢和超纯水混合,在混合结束后,开启筒体底端排料管的排料阀,将灌装瓶放置在排料管下方,在阀门开启后,使得混合料排出,完成灌装;但仍存在以下缺陷:由于氟化氢具有很强的挥发性,在超纯氟化氢和超纯水进料混合时,由于混合过程中温度升高,从而造成部分氟化氢挥发,而氟化氢挥发后进入到外界空气中,造成氟化氢原料量减少,同时氟化氢具有毒性,进入空气后对工作人员造成伤害。
技术实现思路
[0003]针对上述情况,为克服现有技术的缺陷,本专利技术提供一种单通道HF水溶液灌装系统及其方法,有效的解决了目前超纯氟化氢和超纯水进料时,可能造成部分氟化氢挥发的问题。
[0004]为实现上述目的,本专利技术提供如下技术方案:一种单通道HF水溶液灌装系统,包括筒体,所述筒体的底端安装有排料管,排料管上安装有排料阀,筒体的两侧对称安装有原料进料组件,筒体的内部安装有混合防挥发组件,筒体的顶端安装有压力调节组件;原料进料组件包括对称安装于筒体两侧的侧管,侧管的顶端安装有进料管,其中一个进料管用于向筒体内部通入超纯氟化氢,另一个进料管用于 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种单通道HF水溶液灌装系统,包括筒体(1),其特征在于:所述筒体(1)的底端安装有排料管(2),排料管(2)上安装有排料阀(3),筒体(1)的两侧对称安装有原料进料组件(4),筒体(1)的内部安装有混合防挥发组件(5),筒体(1)的顶端安装有压力调节组件(6);原料进料组件(4)包括对称安装于筒体(1)两侧的侧管(401),侧管(401)的顶端安装有进料管(402),其中一个进料管(402)用于向筒体(1)内部通入超纯氟化氢,另一个进料管(402)用于向筒体(1)内部通入超纯水;侧管(401)的内部安装有两个限位环(403),两个限位环(403)均位于进料管(402)靠近筒体(1)的一侧,两个限位环(403)之间设有第一活动块(404),第一活动块(404)的外壁与侧管(401)的内部紧贴,第一活动块(404)靠近筒体(1)的一端安装有第二活动块(405),第二活动块(405)靠近筒体(1)的一端位于限位环(403)的内部,第一活动块(404)靠近筒体(1)的一端安装有第一弹簧(406),第一弹簧(406)的一端与限位环(403)固定连接;第二活动块(405)的内部开设有内槽(407),内槽(407)的一端贯穿至第一活动块(404)的内部,内槽(407)的外侧等角度开设有进料槽(408),进料槽(408)的一端贯穿至第一活动块(404)远离筒体(1)的一侧,且进料槽(408)的一端与远离筒体(1)一侧的限位环(403)紧贴,第二活动块(405)靠近筒体(1)的一端开设有出料槽(409),出料槽(409)与内槽(407)相连通,出料槽(409)的内部安装有进料比例调节单元(410)。2.根据权利要求1所述的一种单通道HF水溶液灌装系统,其特征在于:所述进料比例调节单元(410)包括安装于出料槽(409)内顶壁上的固定挡板(4101),固定挡板(4101)呈半圆形,固定挡板(4101)的圆心处安装有中部块(4102),中部块(4102)的内部开设有限位转槽(4103),固定挡板(4101)远离筒体(1)的一侧设有连接杆(4104),连接杆(4104)靠近筒体(1)的一端安装有限位转块(4106),限位转块(4106)转动安装于限位转槽(4103)的内部,连接杆(4104)靠近筒体(1)的一端安装有活动挡板(4105),活动挡板(4105)设置呈半圆形,活动挡板(4105)的外壁与出料槽(409)的内部紧贴,活动挡板(4105)位于固定挡板(4101)远离筒体(1)的一侧,且活动挡板(4105)与固定挡板(4101)紧贴。3.根据权利要求2所述的一种单通道HF水溶液灌装系统,其特征在于:所述连接杆(4104)远离筒体(1)的一端贯穿至第一活动块(404)远离筒体(1)的一侧,连接杆(4104)远离筒体(1)的一侧设有转轴(4108),转轴(4108)与第一电机(4107)的输出轴固定连接,第一电机(4107)固定安装于侧管(401)远离筒体(1)的一端,转轴(4108)的内部开设有移动槽(4109),连接杆(4104)远离筒体(1)的一端安装有活动板(41010),活动板(41010)活动安装于移动槽(4109)的内部,移动槽(4109)的内壁上对称开设有导向槽(41011),活动板(41010)的外侧对称安装有导向块(41012),导向块(41012)与导向槽(41011)滑动连接。4.根据权利要求1所述的一种单通道HF水溶液灌装系统,其特征在于:所述混合防挥发组件(5)包括开设于筒体(1)顶端的转动槽(5...
【专利技术属性】
技术研发人员:李文斌,杨登强,郑琦,
申请(专利权)人:福建天甫电子材料有限公司,
类型:发明
国别省市:
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