一种支架和原子层沉积镀膜设备制造技术

本发明专利技术涉及薄膜制备技术领域，尤其涉及一种支架和原子层沉积镀膜设备。该支架应用于原子层沉积镀膜设备，该支架用于承载待镀膜的工件。在镀膜过程中，所述支架能够转动。该支架包括多个承载单元和导流组件。其中，承载单元用于承载工件，多个承载单元沿竖直方向平行且间隔的堆叠设置，导流组件包括多组导流单元，每组导流单元沿承载单元周向设置，以固定承载单元，且多组导流单元沿竖直方向平行且间隔的堆叠设置。通过将支架的多层承载单元和导流组件通过堆叠方式设置，有利于提高组装和拆卸效率，从而提高量产化的生产效率。该原子层沉积镀膜设备通过上述支架，提高组装和拆卸效率，从而提高量产化的生产效率。从而提高量产化的生产效率。从而提高量产化的生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种支架和原子层沉积镀膜设备


[0001]本专利技术涉及薄膜制备
，尤其涉及一种支架和原子层沉积镀膜设备。

技术介绍

[0002]目前，原子层沉积技术具有高精度、材料和可生成的产物多样化等优点，使原子层沉积技术在芯片、显示系统、光学镜头等应用领域使用越来越多。在原子层沉积技术生产过程中，生产效率和产品的均匀性等特性对于降低成本、提高产量、节约能源和材料等至关重要。
[0003]现有的原子层沉积一般通过镀膜设备进行。镀膜设备包括多层叠放的载具，载具用于承载待加工的工件，多个载具之间通过固定住串联并固定在旋转驱动机构上。当工作时，旋转驱动机构驱动多个载具旋转运动以实现工件的表面处理。但该方案的多层载具在组装和拆卸过程复杂，效率低，导致在量产化上一直受到限制。
[0004]为解决上述问题，亟待提供一种支架和原子层沉积镀膜设备，解决多层载具在组装和拆卸过程复杂、效率低的问题。

技术实现思路

[0005]本专利技术的一个目的是提出一种支架，以达到提高组装和拆卸效率的的效果。
[0006]本专利技术的另一个目的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种支架，应用于原子层沉积镀膜设备，所述支架被配置为承载待镀膜的工件，其特征在于，在镀膜过程中，所述支架能够转动，所述支架包括：多个承载单元(100)，被配置为承载所述工件，多个所述承载单元(100)沿竖直方向平行且间隔的堆叠设置；以及导流组件(200)，所述导流组件(200)包括多组导流单元(210)，每组所述导流单元(210)沿所述承载单元(100)周向设置，多组所述导流单元(210)沿竖直方向平行且间隔的堆叠设置。2.根据权利要求1所述的支架，其特征在于，所述导流单元(210)的厚度小于或等于所述承载单元(100)的厚度。3.根据权利要求1所述的支架，其特征在于，所述导流单元(210)包括多个导流板(211)，所述导流板(211)包括导流板本体(2112)和固定套筒(2111)，所述导流板本体(2112)上开设有连接孔(21121)，所述固定套筒(2111)设置在所述导流板本体(2112)上，所述导流组件(200)还包括：连接杆(220)，所述连接杆(220)能够穿过所述固定套筒(2111)和所述连接孔(21121)，并将多个所述导流板(211)串联。4.根据权利要求3所述的支架，其特征在于，所述导流板本体(2112)背离所述固定套筒(2111)的一侧开设有固定凹槽(21122)，当相邻两个所述导流板(211)通过所述连接杆(220)串联时，所述固定套筒(2111)远离所述导流板本体(2112)的一端能够插接在另一个所述导流板本体(2112)的所述固定凹槽(21122)中。5.根据权利要求4所述的支架，其特征在于，所述导流单元(210)包括多个导流板(211)，设置在最上面一层的所述导流板(211)不设置固定凹槽(21122)和连接孔(21121)，设置在最下面一层的所述导流板(211)不设置...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏晓庆，蓝芝江，李硕，
申请(专利权)人：光驰半导体设备上海有限公司，
类型：发明
国别省市：