电池片镀膜设备及方法技术

本申请涉及电池片加工技术领域，尤其是涉及一种电池片镀膜设备及电池片镀膜方法，电池片镀膜设备包括：多个工作腔，多个工作腔中包括镀膜工艺腔；镀膜组件，镀膜组件设置于镀膜工艺腔内；镀膜组件包括磁体组件和靶材；磁体组件形成有强磁区和弱磁区，强磁区的磁场强度大于弱磁区的磁场强度；靶材对应强磁区的部分具有第一溅射速率，靶材对应弱磁区的部分具有与第一溅射速率不同的第二溅射速率。本申请提供的电池片镀膜设备，对靶材溅射速率快的区域进行磁场强度降低，减少这部分区域对带电粒子的束缚，降低了该区域的溅射速率，使对应区域电池片所镀膜层厚度减小，提高载板上各区域内的电池片膜层厚度的一致性，有效提高电池片的性能和良品率。性能和良品率。性能和良品率。

【技术实现步骤摘要】
电池片镀膜设备及方法


[0001]本申请涉及电池片加工
，尤其是涉及一种电池片镀膜设备及电池片镀膜方法。

技术介绍

[0002]PVD设备是为了在电池片制备透明导电薄膜。PVD即物理气相沉积，采用磁控溅射技术，通过辉光放电，产生氩离子以不断轰击阴极靶材，阴极靶材对应的成分被轰击溅射出来而沉积在电池片表面，从而实现溅射镀膜。现有的镀膜设备经常出现膜层在阴极靶两端镀膜区域和中间镀膜区域膜厚不均匀的问题，影响镀膜质量，也影响电池片的良品率。

技术实现思路

[0003]本申请的目的在于提供一种电池片镀膜设备及电池片镀膜方法，以在一定程度上解决现有技术中存在的现有的镀膜设备对载板上不同位置的电池片所镀膜层容易出现厚度不均匀的情况的技术问题。
[0004]本申请提供了一种电池片镀膜设备，包括：多个工作腔，多个所述工作腔中包括镀膜工艺腔；
[0005]镀膜组件，所述镀膜组件设置于所述镀膜工艺腔内；所述镀膜组件包括磁体组件和靶材；
[0006]所述磁体组件形成有强磁区和弱磁区，所述强磁区的磁场强度大于所述弱磁区的磁场强度；
[0007]所述靶材对应所述强磁区的部分具有第一溅射速率，所述靶材对应所述弱磁区的部分具有与所述第一溅射速率不同的第二溅射速率。
[0008]在上述技术方案中，进一步地，所述磁体组件呈长条状，所述靶材呈柱状，所述磁体组件与所述靶材平行设置；
[0009]所述磁体组件的一端形成第一弱磁区，所述磁体组件的另一端形成第二弱磁区，所述第一弱磁区与所述第二弱磁区之间的部分形成强磁区；
[0010]所述第一弱磁区对应所述靶材的一端的部分所述靶材设置，所述第二弱磁区对应所述靶材的另一端的部分所述靶材设置。
[0011]在上述任一技术方案中，进一步地，所述磁体组件包括：
[0012]承载体，所述承载体呈长条状，所述承载体与所述镀膜工艺腔或所述靶材固定；
[0013]磁芯，所述磁芯设置于所述承载体内；所述磁芯包括多个第一磁体和至少两个封端磁体；
[0014]多个所述第一磁体分成多层设置，每一层中均包含多个所述第一磁体，任意两层所述第一磁体均平行设置；
[0015]每一所述封端磁体均与多层中的顶层所述第一磁体和底层所述第一磁体抵接，所述封端磁体与所述第一磁体共同形成闭合结构。
[0016]在上述任一技术方案中，进一步地，所述第一弱磁区内设置有多个所述第一磁体和至少一个所述封端磁体；所述第二弱磁区内设置有多个所述第一磁体和至少一个所述封端磁体；所述强磁区内设置有多个所述第一磁体；所述强磁区内的所述第一磁体的数量多于第一弱磁区内所述第一磁体的数量，也多于所述第二弱磁区内所述第一磁体的数量。
[0017]在上述任一技术方案中，进一步地，所述靶材对应所述第一弱磁区的部分形成第一溅射区，所述靶材对应所述强磁区的部分形成第二溅射区，所述靶材对应所述第二弱磁区的部分形成第三溅射区；
[0018]所述第一弱磁区的磁场强度相较于所述强磁区的磁场强度每相差100GS，所述第一溅射区对应的所述电池片的膜层厚度相较于所述第二溅射区对应的所述电池片的膜层厚度减小2nm；
[0019]所述第二弱磁区的磁场强度相较于所述强磁区的磁场强度每相差100GS，所述第三溅射区对应的所述电池片的膜层厚度相较于所述第二溅射区对应的所述电池片的膜层厚度减小2nm。
[0020]在上述任一技术方案中，进一步地，所述第一磁体具有矩形的片状结构或长方体结构；
[0021]所述封端磁体具有弧形的平板结构，所述封端磁体朝向所述闭合结构的外部凸起。
[0022]在上述任一技术方案中，进一步地，所述承载体的一端设置有进水口，所述承载体的另一端设置有出水口，所述承载体的侧壁设置有水路通道，所述水路通道与所述进水口和所述出水口连通。
[0023]在上述任一技术方案中，进一步地，多个所述工作腔包括：输入腔、第一缓冲腔、运输腔、第二缓冲腔和输出腔，所述镀膜工艺腔设置于所述运输腔与所述第二缓冲腔之间；
[0024]每一个所述工作腔均设置有载板进口和载板出口，每一个所述载板进口和每一个所述载板出口均设置有翻板组件。
[0025]在上述任一技术方案中，进一步地，所述电池片镀膜设备还包括水电气集成走廊，所述水电气集成走廊设置于多个所述工作腔的一侧，用于对所述工作腔提供水或电或真空管道的需求。
[0026]本申请还提供了一种电池片镀膜方法，包括上述任一技术方案所述的电池片镀膜设备，因而，具有该电池片镀膜设备的全部有益技术效果，在此，不再赘述。
[0027]本电池片镀膜方法包括以下步骤：
[0028]S1、对载板装载电池片；载板上呈矩阵式分布有多个安装位，对每一个安装位均安置电池片；
[0029]S2、打开输入腔的翻板组件，使载板进入输入腔内，启动抽气装置；
[0030]S3、启动第一缓冲腔的加热件，打开第一缓冲腔的载板进口的翻板组件，使载板进入第一缓冲腔中，启动抽气装置；
[0031]S4、启动运输腔的加热件，打开运输腔的载板进口的翻板组件，启动抽气装置；
[0032]S5、打开镀膜工艺腔的翻板组件，启动镀膜工艺腔的镀膜组件，对电池片执行镀膜操作；
[0033]S6、打开第二缓冲腔的翻板组件，启动冷却装置；
[0034]S7、启动输出腔的冷却装置和供气系统，打开输出腔的翻板组件；
[0035]S8、将满载镀膜完成的电池片的载板放置于传送装置，由传送装置将载板和电池片输送至指定位置。
[0036]与现有技术相比，本申请的有益效果为：
[0037]本申请提供的电池片镀膜设备包括：多个工作腔，多个工作腔中包括镀膜工艺腔；镀膜组件，镀膜组件设置于镀膜工艺腔内；镀膜组件包括磁体组件和靶材；磁体组件形成有强磁区和弱磁区，强磁区的磁场强度大于弱磁区的磁场强度；靶材对应强磁区的部分具有第一溅射速率，靶材对应弱磁区的部分具有与第一溅射速率不同的第二溅射速率。
[0038]本申请提供的电池片镀膜设备，对靶材溅射速率快的区域进行磁场强度降低，减少这部分区域对带电粒子的束缚，使碰撞电离的几率减小，从而使该区域内带电粒子对靶材的轰击几率减小，从而降低了该区域的溅射速率，使对应区域下的电池片所镀膜层厚度减小，提高载板上各区域内的电池片膜层厚度的一致性，进而有效提高电池片的性能和良品率。
[0039]本申请提供的电池片镀膜方法，包括上述所述的电池片镀膜设备，因而，通过本电池片镀膜设备能够对电池片进行高效、高质量的镀膜加工，显著提高了膜层质量以及良品率。
附图说明
[0040]为了更清楚地说明本申请具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电池片镀膜设备，其特征在于，包括：多个工作腔，多个所述工作腔中包括镀膜工艺腔；镀膜组件，所述镀膜组件设置于所述镀膜工艺腔内；所述镀膜组件包括磁体组件和靶材；所述磁体组件形成有强磁区和弱磁区，所述强磁区的磁场强度大于所述弱磁区的磁场强度；所述靶材对应所述强磁区的部分具有第一溅射速率，所述靶材对应所述弱磁区的部分具有与所述第一溅射速率不同的第二溅射速率。2.根据权利要求1所述的电池片镀膜设备，其特征在于，所述磁体组件呈长条状，所述靶材呈柱状，所述磁体组件与所述靶材平行设置；所述磁体组件的一端形成第一弱磁区，所述磁体组件的另一端形成第二弱磁区，所述第一弱磁区与所述第二弱磁区之间的部分形成强磁区；所述第一弱磁区对应所述靶材的一端的部分所述靶材设置，所述第二弱磁区对应所述靶材的另一端的部分所述靶材设置。3.根据权利要求2所述的电池片镀膜设备，其特征在于，所述磁体组件包括：承载体，所述承载体呈长条状，所述承载体与所述镀膜工艺腔或所述靶材固定；磁芯，所述磁芯设置于所述承载体内；所述磁芯包括多个第一磁体和至少两个封端磁体；多个所述第一磁体分成多层设置，每一层中均包含多个所述第一磁体，任意两层所述第一磁体均平行设置；每一所述封端磁体均与多层中的顶层所述第一磁体和底层所述第一磁体抵接，所述封端磁体与所述第一磁体共同形成闭合结构。4.根据权利要求3所述的电池片镀膜设备，其特征在于，所述第一弱磁区内设置有多个所述第一磁体和至少一个所述封端磁体；所述第二弱磁区内设置有多个所述第一磁体和至少一个所述封端磁体；所述强磁区内设置有多个所述第一磁体；所述强磁区内的所述第一磁体的数量多于第一弱磁区内所述第一磁体的数量，也多于所述第二弱磁区内所述第一磁体的数量。5.根据权利要求2所述的电池片镀膜设备，其特征在于，所述靶材对应所述第一弱磁区的部分形成第一溅射区，所述靶材对应所述强磁区的部分形成第二溅射区，所述靶材对应所述第二弱磁区的部分形成第三溅射区；所述第一弱磁区的磁场强度相较于所述强磁区的磁场强度每相差100GS，所述第一溅射区对应的所述电池片的膜层厚...

【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，
申请(专利权)人：广东利元亨智能装备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：