事故排风净化处理装置及系统制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种事故排风净化处理装置及系统，事故排风净化处理装置包括：净化处理箱、过滤模块及吸附组件，净化处理箱具有腔体，且净化处理箱相对的两端具有进气口和出气口，进气口用于与废气连通；过滤模块靠近进气口设于所述腔体内，吸附组件设于过滤模块与出气口之间，吸附组件包括第一吸附模块、第二吸附模块、第三吸附模块以及第四吸附模块中的至少两个；第一吸附模块用于吸附有毒废气；第二吸附模块用于吸附低沸点的有机废气；第三吸附模块用于吸附酸性废气，第四吸附模块用于吸附碱性废气。本实用新型专利技术将多组分多性质废气处理集成一套事故排风净化处理装置，进行集中处理，去除效率高，节能环保，同时也减少工程量和占地面积，成本低。成本低。成本低。

【技术实现步骤摘要】
事故排风净化处理装置及系统


[0001]本技术涉及废气处理
，尤其涉及一种事故排风净化处理装置及系统。

技术介绍

[0002]在半导体制程工序中会使用到大量的特殊气体，由于操作事故、设备故障，或气体挥发泄露，会突然产生大量有毒、易燃、易爆的危险气体。在厂务废气处理区，为了防止对工作人员造成伤害和防止事故进一步扩大，会要求设有事故排风处理系统。参照GB 51401
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2019《电子工业废气处理工程设计标准》对有毒有害的事故排风系统宜采用稀释的方式达标排放，但是近年来对废气排放的要求越来越严，稀释处理逐渐淘汰，应采用吸附、洗涤、焚烧、冷却等处理方式。
[0003]由于事故排气废气种类多样，涵盖酸性气体、碱性气体、有毒气体、腐蚀气体、可燃气体等。针对废气的物化性质、浓度等参数采用不同的方法，比如：对于砷烷、磷烷等剧毒气体，采用水洗或干式吸附处理；对于Cl2、HF等酸性气体，采用水洗或碱洗处理；对于SiH4、SiH2Cl2等可燃性气体，采用燃烧处理。
[0004]事故排风常用的处理方法是将不同废气进行分类收集，排本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种事故排风净化处理装置，其特征在于，包括：净化处理箱、过滤模块及吸附组件，所述净化处理箱具有腔体，且所述净化处理箱相对的两端具有进气口和出气口，所述进气口用于与废气连通；所述过滤模块靠近所述进气口设于所述腔体内，所述吸附组件设于所述过滤模块与所述出气口之间，所述吸附组件包括第一吸附模块、第二吸附模块、第三吸附模块以及第四吸附模块中的至少两个；其中，所述第一吸附模块用于吸附有毒废气；所述第二吸附模块用于吸附低沸点的有机废气；所述第三吸附模块用于吸附酸性废气，所述第四吸附模块用于吸附碱性废气；所述事故排风净化处理装置还包括密封件，所述第一吸附模块与所述净化处理箱的内壁面之间、所述第二吸附模块与所述净化处理箱的内壁面之间、所述第三吸附模块与所述净化处理箱的内壁面之间以及所述第四吸附模块与所述净化处理箱的内壁面之间均设有所述密封件。2.根据权利要求1所述的事故排风净化处理装置，其特征在于，所述净化处理箱的顶部设有多个安装口，所述第一吸附模块、所述第二吸附模块、所述第三吸附模块以及所述第四吸附模块中的至少两个通过对应的所述安装口设于所述腔体内。3.根据权利要求1所述的事故排风净化处理装置，其特征在于，所述事故排风净化处理装置还包括压力表，所述过...

【专利技术属性】
技术研发人员：戴恩平，乔南利，殷梓卿，李萌，喻正保，刘莉，
申请(专利权)人：格林斯达北京环保科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：