新型多功能特种气瓶制造技术

新型多功能特种气瓶，包括电源模块、特气瓶本体、加热机构、流量检测仪，还具有控制电路和警示电路、温控电路；所述加热机构包括加热壳、电加热板、温控开关，加热壳外侧是中空结构，电加热板安装在加热壳外侧内，温度开关安装在加热壳外侧；加热壳的两端分别和特气瓶的出气管以及流量检测仪的进气管连接，流量检测仪的出气管和生产区域的用气管之间连接；电源模块、控制电路和警示电路、温控电路安装在元件盒内并电性连接。本新型能自动控制电机热机构的工作方式，实现了智能化控制前提下，还能达到节能目的。当瓶内气体量将要用完时，提示电路能第一时间提示工作人员进行更换，由此给工作人员带来了便利，且尽可能保证了生产顺利进行。进行。进行。

【技术实现步骤摘要】
新型多功能特种气瓶


[0001]本技术涉及电子产品生产辅助用品
，特别是一种新型多功能特种气瓶。

技术介绍

[0002]在微电子、光电子器件生产过程中，从芯片生长到最后器件的封装，几乎每一步、每一个环节都离不开特种电子气体(简称特气)，因此电子气体被称为半导体材料的“粮食”和“源”。电子气体很大程度上决定了半导体器件性能的好坏。
[0003]特气使用前都储存在钢瓶内，生产时打开阀门进而为生产设备提供相应的特气。在有些生产过程，由于采用的特气(比如SiH4、PH3、B2H6)性质以及用量不同，储存或运输中会将其转为液体或半液态(应用中打开阀门后，特气会由液体转成气体经阀门流出为相关设备供气，但是温度不高时气化程度相对小、那么流量也相对小)，在实际生产时需要对特气瓶的出口端采用电加热方式进行加热，提高其气化的速度和加大流量，保证用气设备较大用气量的需要。虽然现有的技术中实现了电加热方式加热特气，但是受到结构所限还是存在一些具体的技术问题，具体体现如下。其一：当生产区域用气流量发生变化时，比如用气量减少时，需要工作人员人为关闭电加热机构本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.新型多功能特种气瓶，包括电源模块、特气瓶本体、加热机构、流量检测仪，其特征在于还具有控制电路和警示电路、温控电路；所述加热机构包括加热壳、电加热板、温控开关，加热壳外侧是中空结构，电加热板安装在加热壳外侧内，温度开关安装在加热壳外侧外；所述加热壳的两端分别和特气瓶的出气管以及流量检测仪的进气管连接，流量检测仪的出气管和生产区域的用气管之间连接；所述电源模块、控制电路和警示电路、温控电路安装在元件盒内；所述流量检测仪的信号输出端和控制电路及警示电路的信号输入端电性连接；所述温控电路的电源输出端和电加热板的电源输入两端分别电性连接，温控开关的两个接线端电性串联在温控电路的两个信号输入端之间。2.根据权利要求1所述的新型多功能特种气瓶，其特征在于，控制电路包括电性连接的电阻、可调电阻、运放集...

【专利技术属性】
技术研发人员：周礼誉，
申请(专利权)人：上海兄弟微电子技术有限公司，
类型：新型
国别省市：