一种自燃性气体排放时安全燃烧并自动除尘的装置制造方法及图纸

本申请涉及一种自燃性气体排放时安全燃烧并自动除尘的装置，涉及自燃性气体安全燃烧技术领域；包括燃烧桶和设置于燃烧桶上的废气管；燃烧桶上设置有进气管，进气管上设置有氮气管和空气管，且氮气管和空气管上均设置有流量计；燃烧桶上穿设有出气管；燃烧桶底部设置有吸附盘，吸附盘上设置有供水管，供水管上设置有若干组抵入吸附盘内部的供水嘴；燃烧桶底部围绕吸附盘留存有沉降环槽，吸附盘上转动设置有转动轴，转动轴上设置有与吸附盘相抵的剐蹭板，燃烧桶上设置有用于驱使转动轴进行转动的驱动电机；燃烧桶内部设置有用于刮除剐蹭板上附着粉尘的刮料组件。本申请具有减少电子废气中自燃性气体燃烧时发生爆炸的情况，并自动除尘的效果。除尘的效果。除尘的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种自燃性气体排放时安全燃烧并自动除尘的装置


[0001]本申请涉及自燃性气体安全燃烧
，尤其是涉及一种自燃性气体排放时安全燃烧并自动除尘的装置。

技术介绍

[0002]在微电子、光电子等半导体器件生产过程中，从芯片生产到最后器件的封装，几乎每一步、每一个环节都离不开特种电子气体，比如氯化氢（HCI）、氢气（H2）、三甲基铝（TMA）或者甲硅烷（SiH4）等等，因此电子气体被称为半导体材料的“粮食”和“源”。
[0003]半导体行业的特种电子气体使用后通常会产生大量的废气需要排放，对此需要在排放之前进行废气处理，以使得废气达到排放标准。
[0004]专利技术人发现：电子废气中含带有三甲基铝（TMA）或甲硅烷（SiH4）等自燃性气体，这些自燃性气体遇到氧气时会发生自燃，容易产生爆炸和大量粉尘污染环境，加大了电子废气处理的难度，因此亟需设计一种自燃性气体安全燃烧并能自动除尘的装置。

技术实现思路

[0005]为了改善电子废气中自燃性气体燃烧时易产生爆炸和大量粉尘污染环境的问题，本申请提供一种自燃性气体排放时安全本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种自燃性气体排放时安全燃烧并自动除尘的装置，其特征在于：包括燃烧桶(1)和连通设置于燃烧桶(1)上的废气管(11)；所述燃烧桶(1)上连通设置有进气管(12)，所述进气管(12)远离燃烧桶(1)的端部连通设置有用于输送氮气的氮气管(121)和用于输送压缩空气的空气管(122)，且所述氮气管(121)和空气管(122)上均连通设置有用于计量气体流量的流量计(120)；所述燃烧桶(1)上穿设有用于排气的出气管(13)；所述燃烧桶(1)底部设置有用于吸附粉尘的吸附盘(14)，所述吸附盘(14)远离出气管(13)的一侧设置有供水管(15)，所述供水管(15)呈涡旋状设置，所述供水管(15)沿长度方向设置有若干组抵入吸附盘(14)内部的供水嘴(151)；所述燃烧桶(1)底部围绕吸附盘(14)留存有沉降环槽(16)，所述吸附盘(14)上转动设置有转动轴(17)，所述转动轴(17)上设置有与吸附盘(14)相抵的剐蹭板(171)，所述燃烧桶(1)上设置有用于驱使转动轴(17)进行转动的驱动电机(18)；所述燃烧桶(1)内部设置有用于刮除剐蹭板(171)上附着粉尘的刮料组件(2)。2.根据权利要求1所述的一种自燃性气体排放时安全燃烧并自动除尘的装置，其特征在于：所述废气管(11)与燃烧桶(1)的连通处位于燃烧桶(1)的顶部，且所述废气管(11)沿着燃烧桶(1)的切线方向进行设置，所述出气管(13)位于燃烧桶(1)内部的端部延伸至燃烧桶(1)的底部。3.根据权利要求1所述的一种自燃性气体排放时安全燃烧并自动除尘的装置，其特征在于：所述刮料组件(2)包括刮料板(21)、导向棱杆(22)、定位块(23)和复位件(24)；所述刮料板(21)滑动设置于燃烧桶(1)内部，且所述刮料板(21)与剐蹭板(171)相抵；所述导向棱杆(22)设置于燃烧桶(1)上，且所述导向棱杆(22)贯穿刮料板(21)；所述定位块(23)设置于导向棱杆(22)远离燃烧桶(1)的端部，所述复位件(24)设置于刮料板(21)和定位块(23)之间，以通过自身弹力驱使刮料板(21)靠近转动轴(17)。4.根据权利要求1所述的一种自燃性气体排放时安全燃烧并自动除尘的装置，其特征在于：所述燃烧桶(1)上设置有储水箱(3)，位于所述燃烧桶(1)外部的出气管(13)位于储水箱(3)内部，所述储水...

【专利技术属性】
技术研发人员：周礼誉，
申请(专利权)人：上海兄弟微电子技术有限公司，
类型：发明
国别省市：