一种用于MOCVD水冷盘循环清洗工装结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于MOCVD水冷盘循环清洗工装结构，包括出水盖(1)、可拆卸设置在所述下端的第一垫片(2)、第二垫片(3)、可拆卸设置在所述第二垫片(3)下端的进水盖(4)，所述进水盖(4)上设有沿其轴向贯穿的进水口(401)，所述出水盖(1)上设有至少1个沿其轴向贯穿的出水口，所述出水口处设有出水接头(5)，所述水冷盘(6)可拆卸设置在所述第一垫片(2)和第二垫片(3)之间。本实用新型专利技术能够固定住水冷盘，以实现对水冷盘的全面清洗，提升清洗效果，提高清洗效率。清洗效率。清洗效率。

【技术实现步骤摘要】
一种用于MOCVD水冷盘循环清洗工装结构


[0001]本技术涉及半导体关键零部件
，具体涉及一种用于MOCVD水冷盘循环清洗工装结构。

技术介绍

[0002]MOCVD是金属有机化合物化学气相淀积(Metal
‑
Organic Chemical Vapor DePosition)的英文缩写。MOCVD是在气相外延生长的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术，应用于LED和功率器件外延片批量生产。它以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有机化合物和V、
Ⅵ
族元素的氢化物等作为晶体生长源材料，以热分解反应方式在衬底上进行气相外延，生长各种
Ⅲ‑
V族、
Ⅱ‑Ⅵ
族化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶材料。通常MOCVD系统中的晶体生长都是在常压或低压(10
‑
100Torr)下通H2的冷壁石英或不锈钢反应室中进行，衬底温度为500
‑
1200℃,用射频感应加热石墨基座，H2通过温度可控的液体源鼓泡携带金属有机物到生长区，因为MOCVD生长使用的源是易燃、易爆、毒性很大的物质，并要生长多组分、大面积、薄层和超薄层异质材料，因此在MOCVD系统的设计思想上，通常要考虑系统密封性，流量、温度控制要精确，组分变换要迅速，系统要紧凑。
[0003]水冷盘是MOCVD系统的关键零部件之一，关系着MOCVD系统的加热温度控制，其上有多个长条形的通槽，使用结束后会有物质残留，目前采用仍然是人工清洗的方式，效率低下，且通槽内的物质难以清洗，从而影响温度控制的准确性，造成良品率不佳。因此，亟需一种新的技术方案解决以上技术问题。

技术实现思路

[0004]本技术目的是提供一种用于MOCVD水冷盘循环清洗工装结构，能够固定住水冷盘，以便实现对水冷盘的全面清洗，清洗效果好，清洗效率高。
[0005]为了实现上述技术目的，达到上述的技术要求，本技术所采用的技术方案是：一种用于MOCVD水冷盘循环清洗工装结构，其特征在于,包括出水盖、可拆卸设置在所述下端的第一垫片、第二垫片、可拆卸设置在所述第二垫片下端的进水盖，所述进水盖上设有沿其轴向贯穿的进水口，所述出水盖上设有至少1个沿其轴向贯穿的出水口，所述出水口处设有出水接头，所述水冷盘可拆卸设置在所述第一垫片和第二垫片之间。
[0006]作为优选的技术方案，所述出水口的数量为4个，每个所述出水口对应设置1个出水接头。
[0007]作为优选的技术方案，所述第一垫片的中心设有沿其直径方向设置的支撑板。
[0008]作为优选的技术方案，所述进水口沿所述出水盖直径方向设置，并为直线槽结构。
[0009]作为优选的技术方案，所述第一垫片材质为尼龙。
[0010]作为优选的技术方案，所述第二垫片材质为尼龙。
[0011]本技术的有益效果是：
[0012]1)通过第一垫片和第二垫片保护水冷盘，出水盖和进水盖将水冷盘固定住，保证
清洗时水冷盘不会相对滑动，后续在出水口安装出水接头，然后连接上自吸泵后，开启自吸泵，通过进水口进水，水流经过通槽从出水口流入自吸泵，从而完成对水冷盘的清洗，能够快速清洗残留在水冷盘上物质，提高清洗效率，延长水冷盘的使用寿命，安装到MOCVD系统后，提高良品率；
[0013]2)优选的，4个出水接头能够将水流引流至4个不同的区域，清洗效果更好；
[0014]3)优选的，支撑板形成支撑，防止出水盖压坏水冷盘；
[0015]4)优选的，进水口为直槽结构，进水效果好；
[0016]5)优选的，第一垫片和第二垫片的材质为尼龙，保护水冷盘表面不受损，并起到密封的作用。
附图说明
[0017]图1是本技术的三维图。
[0018]在图1中，1、出水盖；2、第一垫片；201、支撑板；3、第二垫片；4、进水盖；401、进水口；5、出水接头；6、水冷盘；601、通槽；7、螺栓。
具体实施方式
[0019]下面结合附图对本技术进一步描述。
[0020]本技术实施例的附图中相同或相似的标号对应相同或相似的部件；在本技术的描述中，需要理解的是，若出现术语“头”、“尾”、“顶”、“底”、“左”、“右”、“前”、“后”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此附图中描述位置关系的用语仅用于示例性说明，不能理解为对本专利的限制，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。
[0021]请参阅图1，本技术提供一种用于MOCVD水冷盘循环清洗工装结构，包括出水盖1、可拆卸设置在所述下端的第一垫片2、第二垫片3、可拆卸设置在所述第二垫片3下端的进水盖4，所述进水盖4上设有沿其轴向贯穿的进水口401，所述出水盖1上设有至少1个沿其轴向贯穿的出水口，所述出水口处设有出水接头5，所述水冷盘6可拆卸设置在所述第一垫片2和第二垫片3之间。
[0022]整个工装通过第一垫片2和第二垫片3保护水冷盘6，出水盖1和进水盖4将水冷盘6固定住，保证清洗时水冷盘6不会相对滑动，后续在出水口安装出水接头5，然后连接上自吸泵后，将整个工装浸入化学槽内，开启自吸泵，通过进水口401进水，水流经过通槽601从出水口流入自吸泵，形成水循环，从而完成对水冷盘6的清洗，能够清洗水冷盘6的各个角落，快速清洗残留在水冷盘6上物质，提高清洗效率，延长水冷盘6的使用寿命，安装到MOCVD系统后，避免残留物质影响反应，提高良品率。
[0023]如图1所示，在其中一些实施方式中，出水盖1和进水盖4采用多个螺栓7进行固定，提高固定效果，安装和拆卸方便，进一步的，螺栓7上涂设密封胶提升密封性能。
[0024]如图1所示，在其中一些实施方式中，所述出水口的数量为4个，每个所述出水口对应设置1个出水接头5，4个出水接头5能够将水流引流至4个不同的区域，清洗效果更好，具体的，4个出水接头5通过管路连接同一个自吸泵。
[0025]如图1所示，在其中一些实施方式中，所述第一垫片2的中心设有沿其直径方向设置的支撑板201，支撑板201形成支撑，防止出水盖1压坏水冷盘6。
[0026]如图1所示，在其中一些实施方式中，所述进水口401沿所述出水盖1直径方向设置，并为直线槽结构，进水效果好。
[0027]如图1所示，在其中一些实施方式中，所述第一垫片2材质为尼龙，所述第二垫片3材质为尼龙，保护水冷盘6表面，防止刮蹭，并起到密封贴实的作用。
[0028]上述实施例仅仅是为清楚地说明本技术所作的描述，而并非对实施方式的限定，对于所属领域的技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动，这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举，而由此所引申出的显而易见的变化或变动仍处于本技术的保护范围之本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于MOCVD水冷盘循环清洗工装结构，其特征在于,包括出水盖(1)、可拆卸设置在所述下端的第一垫片(2)、第二垫片(3)、可拆卸设置在所述第二垫片(3)下端的进水盖(4)，所述进水盖(4)上设有沿其轴向贯穿的进水口(401)，所述出水盖(1)上设有至少1个沿其轴向贯穿的出水口，所述出水口处设有出水接头(5)，所述水冷盘(6)可拆卸设置在所述第一垫片(2)和第二垫片(3)之间。2.根据权利要求1所述的一种用于MOCVD水冷盘循环清洗工装结构，其特征在于，所述出水口的数量为4个，每个所述出水口对应设置1个出水接头(...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨蔡磊，游利，管明月，夏荣荣，孙屹，
申请(专利权)人：江苏先锋精密科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：