用于处理平面盘状物的装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种用于处理平面盘状物的装置及方法，包括用于承载盘状物以及使其旋转的载体，在载体的上方设置有分配器，在载体的外围设有环状液体收集器，载体位于环状液体收集器的环口附近，在环状液体收集器中设有内层、外层和至少一个中间层，内层、外层和至中间层的空间为液体回收腔室，在液体回收腔室的侧壁上设有排气孔，排气孔通过管路与集气腔室相连接，在外层与中间层上分别设有固定段和升降段，中间层的升降段还与升降机构相连接，中间层的升降段的上下升降是用于将工艺后的工艺液体回收到不同的回收腔室。本发明专利技术通过对液体回收腔室的气、液的分开收集来减少气、液混合，避免液体被吸入排气孔。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及盘状物的加工机械和加工方法，具体涉及一种用于处 理平面盘状物的装置及方法。
技术介绍
本文中所述的晶片代表多种类型的盘状物，例如半导体晶片、光 盘或是平板显示器。在美国专利1663023中，公开了一种用于湿处理平板状基材的装 置。在该专利中，液体和气体被同一管路吸走，这样就不可避免的在 液体中产生气体的沉积，影响液体的化学性能，也不利于要排放气体 的清洁处理，污染环境在现有技术中，处理盘状物装置在该领域内普遍应用。例如在专 利号为US1663023的美国申请中，公开了一种用于湿处理平板状基 材的装置。在该专利中，通过带动载体与液体捕捉环的上下升降，使 晶片在不同的工艺阶段中液体捕捉环对准不同的环形腔室，从而实现 对不同液体的分开收集。在工艺过程中，由于载体一般都是带动晶片 在高速旋转的，而在不同的工艺阶段，载体和液体捕捉环还要实现上 下运动。这样就对载体的结构提出了更高的要求，造成该装置的可靠 性与稳定性很难满足。在专利号为US6792959的美国申请中，公开了 一种用于湿处理平 板状基材的装置。在该专利中，晶片载体只做高速旋转。通过环形腔 室的上下升降，来实现不同液体的分开收集。环形腔室通过管路来将 收集的液体回收或者排掉，环形腔室上下升降，管路也会跟着环形腔 室一起上下升降，这样即缩短了管路的寿命，而且由于管路的导引结 构比较复杂，也影响了该装置的可靠性与稳定性。
技术实现思路
本专利技术的目的之一是通过对液体回收腔室的气、液的分开收集来 减少气、液混合。通过在不同的液体回收腔室分别设置排气孔，分开 收集气体和液体。本专利技术的目的之二是提供一种结构来避免液体被吸入排气孔。本专利技术的目的之三是提供一种结构，通过这种结构来实现外层液 体回收器的上端可拆卸，这样在避免泄漏的前提下既能使液体回收环 的结构简单，容易加工制造，又方便了对装置内部的维修。为实现上述目的，本专利技术的技术方案是釆用 一种用于处理平面盘 状物的装置，包括用于承载盘状物以及使其旋转的载体，在所述载体 的上方设置有用于将液体分配在所述盘状物的至少一个表面上的分 配器，在所述载体的外围设有环状液体收集器，所述载体位于环状液 体收集器的环口附近，在所述环状液体收集器中设有内层、外层和至 少一个中间层，所述内层、外层和中间层之间的空间为液体回收腔室， 在所述液体回收腔室的侧壁上设有排气孔，所述排气孔通过管路与集气腔室相连接；在所述外层与中间层上分别设有固定段和升降段，所 述中间层的升降段还与升降机构相连接，所述中间层的升降段的上下 升降是用于将工艺后的工艺液体回收到不同的液体回收腔室。优选地，所述液体收集器中的内层、外层和中间层均为同心设置 的壳体，且所述壳体与所述载体也设置为同心。优选地，所述外层的固定段与一个中间层的固定段相连接，所述 中间层的固定段还与所述内层一起连接在固定框架上优选地，所述中间层的环口直径大于所述盘状物的直径，所述中 间层的环口位于所述中间层的升降段的上端。优选地，在所述外层与中间层的固定段与升降段之间设有连接 环，所述连接环的截面呈倒u形，所述倒u形截面的连接环与所述 外层、中间层的升降段刚性且密封的连接，所述倒u形截面的连接环的U形开口端扣压在所述外层、中间层的固定段上。优选地，所述升降机构包括驱动所述中间层的升降段上下升降的 驱动源，所述驱动源与一导杆相连接，在所述导杆上安装有外导向套， 所述外导向套套装在内导向套的外侧，在所述内导向套中套装有所述 导杆，所述内导向套的一端密封固定在所述固定框架上，所述导杆的一端与倒u形截面的连接环刚性且密封的连接。优选地，在每个所述液体回收腔室的侧壁上设置有若干个均勻分布的排气孔，在所述排气孔处设置有侧挡风板和上挡风板；在每个所述液体回收腔室的底部至少设置有一个排液孔。一种用于处理平面盘状物的方法，包括如下处理盘状物的步骤 Sl:将盘状物固定在承载盘状物以及使其旋转的载体上； S2:由分配器将用于加工盘状物的液体分配在所述盘状物的至少 一个表面上；S3:由环状液体回收器将S2中加工后的液体回收，在所述环状 液体回收器中设有至少一个可上下升降的中间层，通过所述中间层的 上下升降，液体回收器可将不同种类的加工液体回收到不同的液体回 收腔室内；S4:通过设置在所述液体回收腔室恻壁上的排气孔以及与所述排 气孔通过管路连接的集气腔室将工艺后的气体排出，同时由所述回收 腔室底部的排液孔将盘状物工艺后的液体回收或排出。优选地，将S2中所述的环状液体收集器设置为包括具有内层、 外层和至少 一个中间层的结构，将所述外层与中间层分别设置为具有 固定段和升降段的结构，将所述外层的固定段与 一个中间层的固定段 相连接，将所述中间层的固定段再与所述内层一起连接在固定框架 上，将所述中间层的升降段再与升降机构相连接。优选地，由所述升降机构中的驱动源驱动一导杆，将所述导杆与 所述中间层的升降段连接，再由所述导杆驱动所述中间层的升降段上7下升降。本专利技术的优点和有益效果在于利用本专利技术湿法处理盘状物的装置及方法，由于环状液体回收器的中间层可上下升降，从而改变了环 形腔室与晶片的相对轴向位置，使不同类型液体流入不同的环形腔室 中，以及将排气孔设置在液体回收腔室的侧壁上，从而实现对液体、气体的分开回收，避免液体被吸入排气孔。同时通过将倒u形截面的连接环的u形开口端扣压在外层与中间层的固定段上的结构来避免液体沿液体回收环中间层的边缘泄漏问题。通过将环状液体回收器 的外层和中间层分为固定段和升降段这种结构来实现外层的液体回 收环的可拆卸，这样在避免泄漏的前提下既能使液体回收环的结构简 单，容易加工制造，又方便了对装置内部的维修。附图说明图l是本专利技术的液体回收器中间层升降段下降后的结构示意图； 图2是本专利技术的液体回收器中间层升降段上升后的结构示意图； 图3是本专利技术中液体回收室侧壁上排风孔处的结构示意图。 图中1、处理盘状物的装置；2、载体；3、分配器；4、环状液 体回收器；5、固定框架；6、内层；7、中间层；7-1、中间层的固定 段；7-2、中间层的升降段；8、外层；8-1、外层的固定段；8-2、外 层的升降段；9、连接环；10、第一液体回收室；11、第二液体回收 室；12、第一排气孔；13、第二排气孔；14、第一排液孔；15、第二 排液孔；16、驱动源；17、导杆；18、外导向套；19、内导向套；20、 管路；21、集气腔室；22、侧挡风板；23、上挡风板；A、层流进风； W、晶片；W,、晶片第一层面；W2、晶片第二层面；L,、载体上下 运动；L2、中间层的升降段上下运动；RC、载体的旋转运动。具体实施例方式下面结合附图和实施例，对本专利技术的具体实施方式作进一步描 述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本专利技术的技术方案，而不能以8此来限制本专利技术的保护范围。如附图1至图3所示，本专利技术具体实施的技术方案是实施例l一种用湿法处理盘状物的装置l，包括用于承载盘状物以及使其旋转的载体2，在所述载体2的上方设置有用于将液体分配在所述盘状 物的至少一个表面上的分配器3，在所述载体2的外围设有环状液体收 集器4，所述载体2位于环状液体收集器4的环状口的附近，在所述环 状液体收集器4中设有内层6、外层8和至少一个中间层7，所述内层6本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于处理平面盘状物的装置，包括用于承载盘状物以及使其旋转的载体，在所述载体的上方设置有用于将液体分配在所述盘状物的至少一个表面上的分配器，其特征在于，在所述载体的外围设有环状液体收集器，所述载体位于环状液体收集器的环口附近，在所述环状液体收集器中设有内层、外层和至少一个中间层，所述内层、外层和中间层之间的空间为液体回收腔室，在所述液体回收腔室的侧壁上设有排气孔，所述排气孔通过管路与集气腔室相连接；在所述外层与中间层上分别设有固定段和升降段，所述中间层的升降段还与升降机构相连接，所述中间层的升降段的上下升降是用于将工艺后的工艺液体回收到不同的液体回收腔室。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张豹，韩雷刚，张晓红，王锐廷，
申请(专利权)人：北京七星华创电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]