【技术实现步骤摘要】
一种耐等离子体密封材料及其制备方法
[0001]本专利技术属于氟橡胶复合材料领域，具体涉及一种耐等离子体密封材料及其制备方法。
技术介绍
[0002]氟橡胶具有优异的耐热、耐油及耐腐蚀性能等，被广泛用于汽车、石油和天然气、半导体及制药/食品加工行业的密封件和垫圈，由氟橡胶制得的密封材料，其长期耐用性和可靠性是至关重要的。
[0003]氟橡胶具有较差的摩擦磨损性能，通过掺入填充材料可以改善氟橡胶密封材料的机械性能，但将添加了填充料的密封材料应用于半导体制造装置的等离子体蚀刻装置，作为半导体加工设备中的腔室密封件时，在严格的等离子体环境下密封材料被等离子体蚀刻会产生填充料和其他颗粒逸出，在腔室内飞散，导致腔室污染。而在半导体加工和等离子体方面应用中，对环境的纯净度和清洁度有严格的要求，颗粒飞散易产生半导体的制品不良的问题。
[0004]在等离子体的刻蚀下，密封材料的颗粒逸出也容易导致表面裂纹或整体断裂，同时在动态密封环境中，密封件由于机械磨损可能会产生碎屑，造成密封件表面开裂，导致密封性能的下降，密封材料的使用寿...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种耐等离子体密封材料，其特征在于，包括以下按重量份数计算的组分：氟橡胶90
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110份、硫化剂0.5
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1.5份、交联助剂3
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4份、氧化钇13
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17份、聚四氟乙烯微粉8
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12份、防老剂0.2
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0.8份、加工助剂0.2
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0.8份。2.根据权利要求1所述的耐等离子体密封材料，其特征在于，包括以下按重量份数计算的组分：氟橡胶100份、硫化剂1份、交联助剂3.5份、氧化钇15份、聚四氟乙烯微粉10份、防老剂0.5份、加工助剂0.5份。3.根据权利要求1所述的耐等离子体密封材料，其特征在于，所述氟橡胶为三元氟橡胶。4.根据权利要求1所述的耐等离子体密封材料，其特征在于，所述氟橡胶选用意大利索尔维公司产品P959。5.根据权利要求1所述的耐等离子体密封材料，其特征在于，所述硫化剂为硫化剂双二五。6.根据权利要求1所述的耐等离子体密封材料，其特征在于，所述交联助剂为三烯丙基异氰脲酸酯。7.根据权利要求1所述的耐等离子体密封材料，其特征在于，所述氧化钇选用淄博稀研纳米材料有限公司的Y2O3；所述聚四氟乙烯选用索尔维有限公司的聚四氟乙烯微粉F5AR。8.根据权利要求1所述的耐等离子体密封材料，其特征在于，所述防老剂为2,4,6
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三叔丁基苯酚。9....
【专利技术属性】
技术研发人员：周吉顺，
申请(专利权)人：惠州市中茂科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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