一种反射杯的制备工艺及LED显示面板制造技术

本发明专利技术公开了一种反射杯的制备工艺及LED显示面板，该反射杯的制备工艺包括提供基板；在基板上设置遮光层；在遮光层上涂布预设厚度的第一光阻层；对第一光阻层的第一目标区域进行曝光；对第一目标区域进行显影，以形成梯形结构；在梯形结构上原子层沉积形成Al2O3保护层；在Al2O3保护层上设置第二光阻层；对第二光阻层的第二目标区域进行曝光；对第二目标区域进行显影；在第二目标区域镀设反光层，以形成反射杯结构。本申请提供的反射杯的制备工艺能够改善保护层，从而降低反射杯的结构被损坏的风险。风险。风险。

【技术实现步骤摘要】
一种反射杯的制备工艺及LED显示面板


[0001]本申请涉及LED
，尤其涉及一种反射杯的制备工艺及LED显示面板。

技术介绍

[0002]在LED芯片周围通过加装反射杯，能够使LED芯片的侧面出光经过该反射杯的反射改变光路方向由正面出射，由此，当应用于LED显示面板上时，能够提升LED显示面板的发光亮度以及发光均匀性。而反射杯通常是利用光刻工艺在LED芯片的周围光刻形成。
[0003]相关技术中，在形成反射杯的光刻工艺中，首先在基板上形成遮光层，然后在遮光层上涂布第一光阻层并通过曝光显影在第一光阻层形成梯形结构，接着在梯形结构上涂布保护层，并在保护层上涂布第二光阻层，最后通过曝光显影掉部分第二光阻层以形成反射杯，但是，在对第二光阻层曝光显影的过程中，由于保护层的致密性较差，因此，用于曝光显影的丙酮等有机溶剂容易穿过保护层并对梯形结构造成腐蚀，从而对反射杯的结构造成损坏。

技术实现思路

[0004]针对现有技术中上述不足，本专利技术提供了一种反射杯的制备工艺及LED显示面板，能够改善保护层，从而降低了反射杯结构被损坏的风险。
[0005]为了解决上述技术问题，第一方面，本专利技术提供了一种反射杯的制备工艺，所述制备工艺包括：
[0006]提供基板；
[0007]在所述基板上设置遮光层；
[0008]在所述遮光层上涂布预设厚度的第一光阻层；
[0009]对所述第一光阻层的第一目标区域进行曝光；
[0010]对所述第一目标区域进行显影，以形成梯形结构；
[0011]在所述梯形结构上原子层沉积形成Al2O3保护层；
[0012]在所述Al2O3保护层上设置第二光阻层；
[0013]对所述第二光阻层的第二目标区域进行曝光；
[0014]对所述第二目标区域进行显影；
[0015]在所述第二目标区域镀设反光层，以形成反射杯结构。
[0016]在第一方面可能的实现方式中，所述在所述梯形结构上原子层沉积形成Al2O3保护层包括：
[0017]将形成所述梯形结构的所述基板放置于反应室内；
[0018]向所述反应室内通入载气，以使所述反应室达到预设压力；
[0019]将等离子氧和三甲基铝通过所述载气通入所述反应室内以形成所述Al2O3保护层。
[0020]在第一方面可能的实现方式中，所述在所述基板上设置遮光层包括：
[0021]在所述基板上旋涂正型光阻；
[0022]对所述正型光阻曝光显影出多个间隔排布的所述遮光层。
[0023]在第一方面可能的实现方式中，所述对所述第一目标区域进行显影，以形成梯形结构包括：
[0024]对每一个所述遮光层上的所述第一目标区域进行显影，以使每个所述遮光层上形成有两个间隔的所述梯形结构。
[0025]在第一方面可能的实现方式中，每个所述梯形结构的taper角相等，且所述taper角在70
°‑
80
°
。
[0026]在第一方面可能的实现方式中，所述在所述梯形结构上原子层沉积形成Al2O3保护层包括：
[0027]所述Al2O3保护层完全覆盖所述梯形结构以及两个相邻的所述梯形结构之间所述遮光层。
[0028]在第一方面可能的实现方式中，所述对所述第二光阻层的第二目标区域进行曝光包括：
[0029]对两个所述梯形结构相邻的侧壁上的所述第二光阻层、部分顶壁上的所述第二光阻层以及两个所述梯形结构之间的所述第二光阻层曝光，其中，两个所述梯形结构相邻的侧壁、部分顶壁以及两个所述梯形结构之间的间隙围合形成的区域为第二目标区域。
[0030]在第一方面可能的实现方式中，所述在所述第二目标区域镀设反光层，以形成反射杯结构包括：
[0031]将金属Al蒸镀于所述第二目标区域，以形成所述反光层；
[0032]显影掉所述第二目标区域之外的所述第二光阻层，形成反射杯结构。
[0033]在第一方面可能的实现方式中，在对所述第一目标区域进行显影，以形成梯形结构之后，且在所述梯形结构上原子层沉积形成Al2O3保护层之前，所述制备工艺还包括：
[0034]对所述梯形结构进行脱色，以提高所述梯形结构的透光率。
[0035]第二方面，本专利技术还提供了一种LED显示面板，所述LED显示面板包括：
[0036]盖板；
[0037]反射杯，所述反射杯由第一方面所述的反射杯的制备工艺制备，所述反射杯包括基板、等间隔设置于所述基板上的多个遮光层、设置于每个所述遮光层上的Al2O3保护层以及形成于所述Al2O3保护层上的反射杯结构，所述基板设置于所述盖板上；
[0038]光阻层，所述光阻层层叠设置于所述基板背离所述盖板的一侧且覆盖所述反射杯结构；
[0039]背板，所述背板层叠设置于所述光阻层上；
[0040]多个LED，多个所述LED间隔设置于所述背板朝向所述光阻层的一侧，且每个所述LED位于两个相邻的所述反射杯结构之间。
[0041]与现有技术相比，本申请至少具有如下有益效果：
[0042]本申请中，通过采用原子层沉积在梯形结构上设置Al2O3保护层以对梯形结构进行保护，由于原子层沉积可以制备出高密度、无针孔及均匀性好的薄膜，因此，通过原子层沉积形成的Al2O3保护层的致密性和附着力较好，从而能够有效的阻止曝光显影中的有机溶剂对Al2O3保护层的腐蚀和溶解。相较于相关技术中采用传统制备工艺如PVD、CVD等工艺制备的Al2O3保护层存在细微的裂缝，采用申请中的制备工艺能够改善Al2O3保护层的致密性和
附着力，从而降低了反射杯结构被损坏的风险。
附图说明
[0043]为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0044]图1为本专利技术实施例提供的反射杯形成的结构示意图；
[0045]图2为本专利技术实施例提供的反射杯形成的流程图；
[0046]图3为本专利技术实施例提供的Al2O3保护层形成的流程图；
[0047]图4为本专利技术实施例提供的遮光层的流程图；
[0048]图5为本专利技术实施例提供的梯形结构的流程图；
[0049]图6为本专利技术实施例提供的反光层的流程图；
[0050]图7为本专利技术实施例提供的LED显示面板的结构示意图。
[0051]附图标记说明：
[0052]100
‑
反射杯结构；110
‑
基板；120
‑
遮光层；131
‑
第一光阻层；132
‑
第二光阻层；1321
‑
第二目标区域；140
‑
梯形结构；150
‑...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种反射杯的制备工艺，其特征在于，所述制备工艺包括：提供基板；在所述基板上设置遮光层；在所述遮光层上涂布预设厚度的第一光阻层；对所述第一光阻层的第一目标区域进行曝光；对所述第一目标区域进行显影，以形成梯形结构；在所述梯形结构上原子层沉积形成Al2O3保护层；在所述Al2O3保护层上设置第二光阻层；对所述第二光阻层的第二目标区域进行曝光；对所述第二目标区域进行显影；在所述第二目标区域镀设反光层，以形成反射杯结构。2.根据权利要求1所述的反射杯的制备工艺，其特征在于，所述在所述梯形结构上原子层沉积形成Al2O3保护层包括：将形成所述梯形结构的所述基板放置于反应室内；向所述反应室内通入载气，以使所述反应室达到预设压力；将等离子氧和三甲基铝通过所述载气通入所述反应室内以形成所述Al2O3保护层。3.根据权利要求1所述的反射杯的制备工艺，其特征在于，所述在所述基板上设置遮光层包括：在所述基板上旋涂正型光阻；对所述正型光阻曝光显影出多个间隔排布的所述遮光层。4.根据权利要求3所述的反射杯的制备工艺，其特征在于，所述对所述第一目标区域进行显影，以形成梯形结构包括：对每一个所述遮光层上的所述第一目标区域进行显影，以使每个所述遮光层上形成有两个间隔的所述梯形结构。5.根据权利要求4所述的反射杯的制备工艺，其特征在于，每个所述梯形结构的taper角相等，且所述taper角在70
°‑
80
°
。6.根据权利要求4所述的反射杯的制备工艺，其特征在于，所述在所述梯形结构上原子层沉积形成Al2O3保护层包括：所述Al2O3保护层完全覆盖所述梯形...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭峰，陈俊吉，陈书志，柳铭岗，
申请(专利权)人：闻泰通讯股份有限公司，
类型：发明
国别省市：