振动器件、电子设备以及移动体制造技术

提供振动器件、电子设备以及移动体，能够降低不必要振动。振动器件具有振动结构体，在将彼此垂直的三个轴设为A轴、B轴以及C轴时，该振动结构体具有：振动元件，其具有沿与A轴和B轴平行的平面且沿A轴弯曲振动的第一振动臂和第二振动臂；以及支承基板，其与所述振动元件沿所述C轴排列配置，所述支承基板具有：基部，其支承所述振动元件；支承部，其支承所述基部；以及梁部，其连接所述基部与所述支承部，在设所述振动结构体沿所述B轴振动的共振频率为f0，设所述振动元件的驱动频率为f1时，f0＜f1。f0＜f1。f0＜f1。

【技术实现步骤摘要】
振动器件、电子设备以及移动体
[0001]本申请是基于专利技术名称为“振动器件、电子设备以及移动体”，申请日为2020年03月23日，申请号为202010205984.2的专利技术专利申请的分案申请。


[0002]本专利技术涉及振动器件、电子设备以及移动体。

技术介绍

[0003]专利文献1记载的振动元件具有：振动体；第一支承部和第二支承部，它们支承振动体，并固定于封装等；连接振动体与第一支承部的一对梁部；以及连接振动体与第二支承部的一对梁部。
[0004]专利文献1：日本特开2017
‑
194485号公报
[0005]然而，在上述振动元件中，必须以穿过振动体的空隙的方式形成梁部，因此梁部的形状受到制约。因此，不必要振动的频率设计受到制约，从而难以实现不必要振动得到充分抑制的振动元件。

技术实现思路

[0006]本应用例的振动器件具有振动结构体，在将彼此垂直的三个轴设为A轴、B轴以及C轴时，该振动结构体具有：
[0007]振动元件，其具有沿与所述A轴和所述B轴平行的平面且沿所述A轴弯曲振动的振动臂；以及
[0008]支承基板，其与所述振动元件沿所述C轴排列配置，
[0009]所述支承基板具有：
[0010]基部，其支承所述振动元件；
[0011]支承部，其支承所述基部；以及
[0012]梁部，其连接所述基部与所述支承部，
[0013]在设所述振动结构体沿所述B轴振动的共振频率为f0，设所述振动元件的驱动频率为f1时，f0＜f1。
[0014]在本应用例的振动器件中，优选在设所述梁部沿所述A轴弹性变形的弹簧常数为Ka，设所述梁部沿所述B轴弹性变形的弹簧常数为Kb时，
[0015]Ka＞Kb，
[0016]在从沿所述C轴的方向俯视时，
[0017]所述支承部具有相对于所述振动元件位于沿所述A轴的一侧的第一支承部以及相对于所述振动元件位于沿所述A轴的另一侧的第二支承部。
[0018]在本应用例的振动器件中，优选在从沿所述C轴的方向俯视时，
[0019]所述支承部具有相对于所述振动元件位于沿所述B轴的一侧的第一支承部以及相对于所述振动元件位于沿所述B轴的另一侧的第二支承部。
[0020]在本应用例的振动器件中，优选所述振动元件具有：
[0021]元件基部；
[0022]检测臂，其从所述元件基部沿所述B轴朝向两侧延伸；
[0023]第一连结臂，其从所述元件基部沿所述A轴延伸，
[0024]第二连结臂，其从所述元件基部沿所述A轴向所述第一连结臂延伸的方向的相反侧延伸；以及
[0025]所述振动臂，其包含第一振动臂和第二振动臂，该第一振动臂从所述第一连结臂的末端部沿所述B轴朝向两侧延伸，该第二振动臂从所述第二连结臂的末端部沿所述B轴朝向两侧延伸，
[0026]所述元件基部经由接合部件固定于所述基部。
[0027]在本应用例的振动器件中，优选所述驱动频率f1下的所述振动元件沿所述B轴振动的移位振幅倍率小于0.8。
[0028]在本应用例的振动器件中，优选所述振动元件具有振动基板以及配置于所述振动基板的电极，
[0029]所述振动基板和所述支承基板由相同切角的石英基板构成。
[0030]在本应用例的振动器件中，优选在从沿所述C轴的方向俯视时，
[0031]所述支承基板与所述振动臂重叠。
[0032]在本应用例的振动器件中，优选所述振动元件是检测物理量的物理量传感器元件。
[0033]本应用例的电子设备的特征在于，其具备：
[0034]上述振动器件；以及
[0035]信号处理电路，其根据所述振动器件的输出信号进行信号处理。
[0036]本应用例的移动体的特征在于，其具备：
[0037]上述振动器件；以及
[0038]信号处理电路，其根据所述振动器件的输出信号进行信号处理。
附图说明
[0039]图1是示出第一实施方式的振动器件的剖视图。
[0040]图2是示出图1的振动器件的俯视图。
[0041]图3是示出图1的振动器件所具有的振动元件的俯视图。
[0042]图4是对图3的振动元件的驱动进行说明的示意图。
[0043]图5是对图3的振动元件的驱动进行说明的示意图。
[0044]图6是示出图1所示的振动器件所具有的支承基板的俯视图。
[0045]图7是示出频率比f1/fd与驱动频率f1下的不必要振动的移位振幅倍率(gain)的关系的曲线图。
[0046]图8是示出频率比f1/fd＝1时的f0/f1与驱动频率f1下的不必要振动的移位振幅倍率(gain)的关系的曲线图。
[0047]图9是示出第二实施方式的振动器件的俯视图。
[0048]图10是示出第三实施方式的振动器件所具有的支承基板的俯视图。
[0049]图11是示出第四实施方式的个人计算机的立体图。
[0050]图12是示出第五实施方式的移动电话的立体图。
[0051]图13是示出第六实施方式的数字静态照相机的立体图。
[0052]图14是示出第七实施方式的汽车的立体图。
[0053]标号说明
[0054]1：振动器件；10：振动结构体；100：振动系统；2：封装；21：基座；211：凹部；211a、211b、211c：凹部；22：盖；23：接合部件；241、242：内部端子；243：外部端子；3：电路元件；4：支承基板；40：基部；41：支承部；411：第一支承部；412：第二支承部；42：梁部；421：弯曲部；43：梁部；431：弯曲部；44：梁部；441：弯曲部；45：梁部；451：弯曲部；46：基部；47：支承部；471：第一支承部；472：第二支承部；48：梁部；481：框部；482：第一梁部；483：第二梁部；5：布线；511、512：端子；513：引出布线；521、522：端子；523：引出布线；531、532：端子；533：引出布线；541、542：端子；543：引出布线；551、552：端子；553：引出布线；561、562：端子；563：引出布线；6：振动元件；7：振动基板；70：元件基部；701～706：端子；71：检测臂；711：宽幅部；72：检测臂；721：宽幅部；73：第一连结臂；74：第二连结臂；75：驱动臂；751：宽幅部；76：驱动臂；761：宽幅部；77：驱动臂；771：宽幅部；78：驱动臂；781：宽幅部；8：电极；81：驱动信号电极；82：驱动接地电极；83：第一检测信号电极；84：第一检测接地电极；85：第二检测信号电极；86：第二检测接地电极；1100：个人计算机；1102：键盘；1104：主体部；1106：显示单元；1108：显示部；1110：信号处理电路；1200：移动电话；1202：操作按钮；1204：听筒；1206：话筒；1208：显示本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种振动器件，其特征在于，在将彼此垂直的三个轴设为A轴、B轴以及C轴时，所述振动器件具有：振动元件，其包含元件基部、以及向沿着所述B轴的B轴方向延伸的驱动臂；以及支承基板，其包含基部以及经由梁部与所述基部连接的支承部，在从沿着所述C轴的C轴方向俯视时，所述基部与所述元件基部重叠，所述驱动臂在沿着所述A轴的A轴方向上进行弯曲振动，所述驱动臂在所述俯视时与所述梁部重叠。2.根据权利要求1所述的振动器件，其特征在于，所述元件基部经由接合部件固定于所述基部。3.根据权利要求2所述的振动器件，其特征在于，所述梁部包含弯曲部。4.根据权利要求3所述的振动器件，其特征在于，所述弯曲部在所述俯视时呈S字状曲折。5.根据权利要求4所述的振动器件，其特征在于，所述振动元件包含从所述元件基部向所述B轴方向延伸的检测臂。6.根据权利要求5所述的振动器件，其特征在于，所述振动元件包含：第一连结臂，其从所述元件基部的所述A轴的正侧延伸；以及第二连结臂，其从所述元件基部的所述A轴的负侧延伸，所述驱动臂包含：第一驱动臂，其从所述第一连结臂向所述B轴方向延伸；以及第二驱动臂，其从所述第二连结臂向所述B轴方向延伸。7.根据权利要求6所述的振动器件，其特征在于，在所述俯视时，所述支承部包含：第一支承部，其配置于所述A轴的正侧；以及第二支承部，其配置于所述A轴的负侧，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：西泽龙太，小仓诚一郎，山口启一，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：