振动器件、电子设备、移动体以及振动器件的频率调整方法技术

提供振动器件、电子设备、移动体以及振动器件的频率调整方法，能够抑制大型化并且保护电路元件免受激光影响。振动器件具有：基座；电路元件，其配置于所述基座；振动元件，其在俯视观察时至少一部分与所述电路元件重叠配置；以及支承基板，其配置在所述电路元件与所述振动元件之间，对所述振动元件进行支承。另外，所述振动元件具有频率调整部，该频率调整部是通过将所述振动元件的至少一部分除去来进行频率调整的，所述支承基板具有：基部，其对所述振动元件进行支承；支承部，其对所述基部进行支承；梁部，其将所述基部和所述支承部连接起来；以及具有遮光性的遮蔽部，其配置于所述梁部，在俯视观察时与所述频率调整部重叠。俯视观察时与所述频率调整部重叠。

【技术实现步骤摘要】
振动器件、电子设备、移动体以及振动器件的频率调整方法
[0001]本申请是基于专利技术名称为“振动器件、电子设备以及移动体”，申请日为2020年03月05日，申请号为202010146827.9的专利技术专利申请的分案申请。


[0002]本专利技术涉及振动器件、电子设备、移动体以及振动器件的频率调整方法。

技术介绍

[0003]专利文献1记载的振动器件具有：箱状的基座；电路元件，其搭载于基座；角速度传感器元件，其搭载于电路元件；以及盖，其与基座接合，并且覆盖电路元件和角速度传感器元件。另外，角速度传感器元件具有：传感器元件主体；两个支承部，它们在两侧支承传感器元件主体；一对梁部，它们将一个支承部与传感器元件主体连接起来；以及一对梁部，它们将另一个支承部与传感器元件主体连接起来。并且，角速度传感器元件的一对支承部借助导电性的接合部件固定在电路元件的上表面。
[0004]专利文献1：日本特开2016
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85179号公报
[0005]在这样的振动器件中，通常在将电路元件和角速度传感器元件搭载于基座的状态下向角本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种振动器件，其特征在于，该振动器件包含：振动元件，其配置有频率调整部；支承基板，其包含对所述振动元件进行支承的基部、对所述基部进行支承的支承部、以及将所述基部和所述支承部连接起来的梁部；以及电路元件，其在俯视观察时与所述频率调整部重叠，所述支承基板包含遮蔽部，该遮蔽部配置在所述频率调整部与所述电路元件之间。2.根据权利要求1所述的振动器件，其特征在于，所述遮蔽部具有遮光性。3.根据权利要求2所述的振动器件，其特征在于，在所述遮蔽部配置有金属膜。4.根据权利要求3所述的振动器件，其特征在于，所述振动元件包含：元件基部；以及臂，其从所述元件基部延伸，所述频率调整部配置于所述臂的末端侧。5.根据权利要求3所述的振动器件，其特征在于，所述支承基板具有与所述振动元件电连接的布线。6.根据权利要求5所述的振动器件，其特征在于，当将所述金属膜的厚度设为t1，所述布线的厚度设为t2时，t1＞t2。7.根据权利要求6所述的振动器件，其特征在于，1.2≤t1/t2≤5.0。8.根据权利要求7所述的振动器件，其特征在于，2.0≤t1/t2≤2.5。9.根据权利要求1至4中的任意一项所述的振动器件，其特征在于，所述振动器件包含基座，所述电路元件固定于所述基座，所述支承部固定于所述基座，所述支承基板以及所述电路元件配置在所述振动元件与所述基座之间。10.根据权利要求9所述的振动器件，其特征在于，所述振动元件是检测物理...

【专利技术属性】
技术研发人员：小仓诚一郎，西泽龙太，山口启一，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：