特气柜制造技术

本发明专利技术涉及一种特气柜。特气柜包括：壳体，包括收纳部以及门体部以及支架，所述门体部包括后表面以及与所述后表面对向的前表面并包括布置于所述后表面的支架；气体存储部，布置于所述壳体的内部空间；以及防泄漏单元，布置于所述支架，其中，在所述门体部定义有与所述防泄漏单元重叠并贯通所述前表面以及所述后表面的空气流入口，所述防泄漏单元包括：支撑件，与所述空气流入口重叠，并定义有贯通与所述后表面面对的第一表面以及与所述第一表面对向的第二表面的流入孔；以及门部，一部分与所述第二表面结合，并覆盖所述流入孔。并覆盖所述流入孔。并覆盖所述流入孔。

【技术实现步骤摘要】
特气柜


[0001]本专利技术涉及一种包括防泄漏单元的特气柜。

技术介绍

[0002]当通过沉积工艺来制造显示面板时，将制造工艺时所需的气体引入至腔室内部。此处，可能发生工艺气体泄漏至外部的情形。由于工艺气体中对人体有害的成分较多，因此可以在柜体内部布置能够阻断泄漏气体以防止泄漏气体扩散至大气中的防泄漏单元。

技术实现思路

[0003]本专利技术涉及一种包括防止流出至柜体内部的气体扩散到大气中的防泄漏单元的特气柜。
[0004]根据本专利技术的特气柜包括：壳体，包括收纳部、门体部以及支架，所述门体部在所述收纳部开闭并包括与所述收纳部一同定义内部空间的后表面以及与所述后表面对向的前表面，所述支架布置于所述后表面；气体存储部，布置于所述内部空间；以及防泄漏单元，布置于所述支架，其中，在所述门体部定义有与所述防泄漏单元重叠并贯通所述前表面以及所述后表面的空气流入口，所述防泄漏单元包括：支撑件，与所述空气流入口重叠，并定义有贯通与所述后表面面对的第一表面以及与所述第一表面对向的第二表面的流入孔；以及门部，一部分与所述第二表面结合，并覆盖所述流入孔。
[0005]其特征在于，可以是，当外部空气通过所述空气流入口流入时，所述门部的除了所述一部分以外的剩余部分从所述第二表面分离。
[0006]其特征在于，可以是，所述门部是柔性体。
[0007]其特征在于，可以是，所述防泄漏单元还包括：支撑部，定义有与所述流入孔对应的支撑孔，并且布置于所述支撑件与所述门部之间，其中，所述支撑部附着于所述第二表面，所述门部的所述剩余部分从所述支撑部分离。
[0008]其特征在于，可以是，所述防泄漏单元还包括：弹性部，一端与所述支撑部连接，另一端与所述门部连接。
[0009]其特征在于，可以是，所述防泄漏单元还包括：第一磁体，布置于所述门部；以及第二磁体，与所述第一磁体结合，并且布置于所述支撑部。
[0010]其特征在于，可以是，所述门部的所述一部分通过螺栓与所述第二表面结合。
[0011]其特征在于，可以是，所述门部的所述一部分通过粘贴剂与所述支撑部结合。
[0012]其特征在于，可以是，当气体从所述气体存储部流出至所述内部空间时，包括在所述内部空间的混合气体将所述门部紧贴于所述支撑部。
[0013]其特征在于，可以是，所述特气柜还包括：局部排出部，布置于所述壳体的上部，其中，从所述气体存储部流出的气体通过所述局部排出部排出至外部。
[0014]其特征在于，可以是，所述特气柜还包括：检测排管，检测从所述气体存储部流出的气体量，并且布置于所述壳体内部；以及控制部，控制所述气体存储部。
[0015]其特征在于，可以是，所述门部是圆形、椭圆形以及多边形中的一种形状。
[0016]其特征在于，可以是，在所述支架定义有至少一部分与所述门部重叠的多个支架孔。
[0017]其特征在于，可以是，所述防泄漏单元还包括：缓冲件，围绕所述支撑件的一端以及另一端中的至少一个，其中，所述支撑件的一端以及另一端将所述流入孔置于中间而隔开。
[0018]根据本专利技术的另一实施例的特气柜，包括：壳体，包括收纳部、门体部以及支架，所述门体部在所述收纳部开闭并包括与所述收纳部一同定义内部空间的后表面以及与所述后表面对向的前表面，所述支架布置于所述后表面；气体存储部，布置于所述内部空间；以及防泄漏单元，布置于所述支架，其中，在所述门体部定义有与所述防泄漏单元重叠并贯通所述前表面以及所述后表面的空气流入口，所述防泄漏单元包括：支撑件，定义有与所述空气流入口重叠的流入孔；支撑部，定义有与所述流入孔对应的支撑孔，并且结合于所述支撑件；以及门部，当外部空气通过所述空气流入口流入时，暴露所述支撑孔以及所述流入孔。
[0019]其特征在于，可以是，所述门部的一部分结合于所述支撑部，当所述外部空气流入时，所述门部的除了所述一部分以外的剩余部分可以从所述支撑部分离。
[0020]其特征在于，可以是，所述门部为柔性体。
[0021]其特征在于，可以是，当气体从所述气体存储部流出至所述内部空间时，包括在所述内部空间的气体将所述门部紧贴于所述支撑部。
[0022]其特征在于，可以是，所述特气柜还包括：局部排出部，布置于所述壳体的上部，其中，从所述气体存储部流出的气体通过所述局部排出部排出至外部。
[0023]其特征在于，可以是，所述特气柜还包括：检测排管，检测从所述气体存储部流出的气体量，并且布置于所述壳体内部；以及控制部，控制所述气体存储部。
[0024]根据本专利技术，由于特气柜包括能够仅使向一方向移动的气流通过的防泄漏单元，因此在进行预定的工艺期间，即使气体从气体存储部泄漏，也可以防止毒性气体等流出到作业者的现象发生，据此，可以预先防止安全事故发生。
附图说明
[0025]图1是图示根据本专利技术的一实施例的沉积设备的平面图。
[0026]图2是图示根据本专利技术的一实施例的特气柜的开放状态的平面图。
[0027]图3是根据本专利技术的一实施例的防泄漏单元的立体图。
[0028]图4a是根据本专利技术的一实施例的防泄漏单元的剖视图。
[0029]图4b是根据本专利技术的一实施例的防泄漏单元的剖视图。
[0030]图5是根据本专利技术的一实施例的防泄漏单元的立体图。
[0031]图6是根据本专利技术的一实施例的防泄漏单元的立体图。
[0032]图7是根据本专利技术的一实施例的防泄漏单元的平面图。
[0033]图8是根据本专利技术的一实施例的防泄漏单元的平面图。
[0034]图9是根据本专利技术的一实施例的防泄漏单元的平面图。
[0035]图10是根据本专利技术的一实施例的防泄漏单元的立体图。
[0036]图11是根据本专利技术的一实施例的防泄漏单元的立体图。
[0037]附图标记说明：
[0038]ED：制造设备
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EDA：沉积设备
[0039]GDA：特气柜
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CS：壳体
[0040]B1：收纳部
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B2：门体部
[0041]GS：气体存储部
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ND：检测排管
[0042]VA：防泄漏单元
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HD：支架
[0043]UT：局部排出部
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EB：控制部
[0044]具体实施方法
[0045]在本说明书中，当提到某一构成要素(或者区域、层、部分等)在另一构成要素“之上”、与另一构成要素“连接”或者“结合”时，其表示可以直接布置在另一构成要素之上或者与另一构成要素直接连接/结合，或者在它们之间也可以布置有第三构成要素。
[0046]相同的附图标记指代相同的构成要素。并且，在附图中，为了针对
技术实现思路
进行有效的说明，构成要素的厚度、比率以及尺寸被夸大。“和本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种特气柜，包括：壳体，包括收纳部、门体部以及支架，所述门体部在所述收纳部开闭并包括与所述收纳部一同定义内部空间的后表面以及与所述后表面对向的前表面，所述支架布置于所述后表面；气体存储部，布置于所述内部空间；以及防泄漏单元，布置于所述支架，其中，在所述门体部定义有与所述防泄漏单元重叠并贯通所述前表面以及所述后表面的空气流入口，所述防泄漏单元包括：支撑件，与所述空气流入口重叠，并定义有贯通与所述后表面面对的第一表面以及与所述第一表面对向的第二表面的流入孔；以及门部，一部分与所述第二表面结合，并覆盖所述流入孔。2.根据权利要求1所述的特气柜，其中，当外部空气通过所述空气流入口流入时，所述门部的除了所述一部分以外的剩余部分从所述第二表面分离。3.根据权利要求2所述的特气柜，其中，所述门部为柔性体。4.根据权利要求2所述的特气柜，所述防泄漏单元还包括：支撑部，定义有与所述流入孔对应的支撑孔，并且布置于所述支撑件与所述门部之间，其中，所述支撑部附着于所述第二表面，所述门部的所述剩余部分从所述支撑部分离。5.根据权利要求4所述的特气柜，其中，所述防泄漏单元还包括：弹性部，一端与所述支撑部连接，另一端与所述门部连接。6.根据权利要求4所述的特气柜，其中，所述防泄漏单元还包括：第一磁体，布置于所述门部；以及第二磁体，与所述第一磁体结合，并且布置于所述支撑部。7.根据权利要求4所述的特气柜，其中，所述门部的所述一部分通过螺栓与所述第二表面结合。8.根据权利要求4所述的特气柜，其中，所述门部的所述一部分通过粘贴剂与所述支撑部结合。9.根据权利要求4所述的特气柜，其中，当气体从所述气体存储部流出至所述内部空间时，包括在所述内部空间的混合气体将所述门部紧贴于所述支撑部。10.根据权利要求1所述的特气柜，还包括：局部排出部，布置于所述壳体的上部，其中，从所述气体存储部流出的气体通过所述局部排出部排出至外部。11.根据权利要求1所述的特气柜，还包括：...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔永宝，安泰鎭，朴世元，
申请(专利权)人：忠北大学校产学协力团，
类型：发明
国别省市：