感测结构制造技术

本申请公开一种感测结构；其中，感测结构包括：基板、湿度感测层、第一电极、第二电极及气体感测层。湿度感测层设置在基板上。第一电极设置在湿度感测层上。第二电极设置在湿度感测层上。第一电极与第二电极彼此分离。气体感测层设置在第一电极及第二电极上。气体感测层电连接第一电极及第二电极。本申请的感测结构能够减少感测过程中的水气杂讯。能够减少感测过程中的水气杂讯。能够减少感测过程中的水气杂讯。

【技术实现步骤摘要】
感测结构


[0001]本申请关于一种感测结构，特别是关于一种具有湿度感测及气体感测功能的整合式感测结构。

技术介绍

[0002]诸如挥发性有机气体(VOC)感测器的气体感测器可包括气体感测层。在感测期间，将待测气体通入气体感测器，并借由气体感测层来进行感测。然而，在通入待测气体时，待测气体除了包括挥发性有机气体之外，通常还包括环境中的水。这导致使用气体感测器来感测待测气体的电信号时，会同时获得来自有机气体的电信号及来自环境中的水的电信号。更甚者，因为来自有机气体的电信号呈线性变化，但是来自环境中的水的电信号呈指数型变化，所以来自环境中的水的电信号会大幅度降低有机气体的感测准确度。
[0003]换句话说，如何移除环境中的水造成的感测杂讯极为重要。然而目前仅能以额外设置加热元件来移除待测气体中的环境中的水；直接通入无水的待测气体；或是额外设置湿度感测器来校正环境中的水产生的电信号，来降低环境中的水造成的感测杂讯。但是，上述方法都会造成感测装置难以缩小化的问题。
[0004]因此，虽然现存的感测结构已逐步满足它们既定的用途，但它们仍未在各方面皆彻底的符合要求，所以关于感测结构仍有一些问题需要克服。

技术实现思路

[0005]鉴于上述问题，本申请的一些实施例借由设置湿度感测层；包括第一电极与第二电极的电极层；以及气体感测层的堆叠结构，来获得能够同时感测湿度及气体的感测结构。详细而言，借由彼此电连接的第一电极、第二电极及气体感测层的电性变化来感测气体，同时借由第一电极及/或第二电极的形变产生的电性变化来感测水气，进而形成整合式感测结构。
[0006]根据一些实施例，提供感测结构。前述感测结构包括：基板、湿度感测层、第一电极、第二电极及气体感测层。湿度感测层设置在基板上。第一电极设置在湿度感测层上。第二电极设置在湿度感测层上。第一电极与第二电极彼此分离。气体感测层设置在第一电极及第二电极上。气体感测层电连接第一电极及第二电极。
[0007]本申请的感测结构能够减少感测过程中的水气杂讯。
[0008]本申请的一些实施例的感测结构可应用于多种类型的感测装置及/或半导体装置中，为让本申请的特征和优点能更明显易懂，下文特举出较佳实施例，并配合所附图式，作详细说明如下。
附图说明
[0009]借由以下的详述配合所附图式，我们能更加理解本申请实施例的观点。值得注意的是，根据工业上的标准惯例，一些部件(feature)可能没有按照比例绘制。事实上，为了能
清楚地讨论，不同部件的尺寸可能被增加或减少。
[0010]图1A至图1D分别是根据本申请的一些实施例绘示的感测结构的立体示意图、剖面示意图、气体感测示意图及湿度感测示意图。
[0011]图2A至图2D分别是根据本申请的一些实施例绘示的感测结构的立体示意图、剖面示意图、气体感测示意图及湿度感测示意图。
[0012]图3A至图3D分别是根据本申请的一些实施例绘示的感测结构的立体示意图、剖面示意图、气体感测示意图及湿度感测示意图。
[0013]附图标记
[0014]1,2,3:感测结构
[0015]100:基板
[0016]110:导电层
[0017]200:湿度感测层
[0018]201:第一接触插塞
[0019]202:第二接触插塞
[0020]310:第一电极
[0021]311:弯曲部分
[0022]312:第一端部
[0023]313:第二端部
[0024]314:环形部分
[0025]315:连接部分
[0026]320:第二电极
[0027]321:封闭部分
[0028]322:延伸部分
[0029]323:圆形部分
[0030]324:连接垫
[0031]400:气体感测层
[0032]A:截面积
[0033]C1:第一接触物
[0034]C2:第二接触物
[0035]C3:第三接触物
[0036]D1:第一方向
[0037]D2:第二方向
[0038]L:长度
具体实施方式
[0039]以下揭露提供了很多不同的实施例或范例，用于实施所提供的感测结构的不同元件。各元件和其配置的具体范例描述如下，以简化本申请实施例。当然，这些仅仅是范例，并非用以限定本申请。举例而言，叙述中若提及第一元件形成在第二元件之上，可能包括第一和第二元件直接接触的实施例，也可能包括额外的元件形成在第一和第二元件之间，使得
它们不直接接触的实施例。
[0040]此外，在不同图式及说明的实施例中，相同或相似的元件符号被用来标明相同或相似的元件。再者，本文中的用语“第一”、“第二”仅用于区分一部件与另一部件。
[0041]另外，本申请实施例可能在不同的范例中重复参考数字及/或字母。如此重复是为了简明和清楚，而非用以表示所讨论的不同实施例及/或形态之间的关系。可以理解的是，在方法的前、中、后可以提供额外的操作，且一些叙述的操作可为了该方法的其他实施例被取代或删除。
[0042]参照图1A，感测结构1可包括基板100、湿度感测层200、第一电极310、第二电极320及气体感测层400。
[0043]在一些实施例中，基板100可包括玻璃纤维、环氧树脂、氮化铝(AlN)、碳化硅(SiC)、印刷电路(PCB，printed circuit board)基板、其组合或其他适合的基板，但本申请不限制于此。在一些实施例中，可形成诸如墨水或刻痕的实际点或是虚拟点在基板100上作为定位点，以提升后续形成在基板100上的各部件的设置准确度，来提升感测结构的可靠性。
[0044]在一些实施例中，湿度感测层20可包括吸水膨胀材料。在一些实施例中，前述吸水膨胀材料的膨胀程度会随着吸水的程度而改变，例如：呈线性变化。在一些实施例中，吸水膨胀材料可包括：光阻类材料、聚酰亚胺(polyimide)、聚苯乙烯磺酸钠(sodium polystyrenesulfonate)、苯环丁烯(benzocyclobutene)、醋酸丁酸纤维素(cellulose acetate
‑
butyrate)、聚甲基丙烯酸甲酯(poly(methyl methacrylate))、其类似物、其组合或其他合适的材料，但本申请不限于此。在一些实施例中，可借由旋转涂布、沉积法来形成湿度感测层200于基板100上。
[0045]在一些实施例中，湿度感测层200可具有在大于0％～小于或等于20％之间(>0％且≤20％)的吸水膨胀率。在一些实施例中，湿度感测层200的吸水膨胀率可为小于或等于5％、10％、15％、20％或介于其间的任意数值，以降低或避免设置于湿度感测层200上的第一电极310及第二电极320产生不可逆的形变的机率。在一些实施例中，湿度感测层200的吸水膨胀方向可为三维方向，然而主要影响第一本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种感测结构，其特征在于，包括：一基板；一湿度感测层，设置在该基板上；一第一电极，设置在该湿度感测层上；一第二电极，设置在该湿度感测层上，且该第一电极与该第二电极彼此分离；以及一气体感测层，设置在该第一电极及该第二电极上，且电连接该第一电极及该第二电极。2.如权利要求1所述的感测结构，其特征在于，该第一电极的一部分环绕该第二电极的一部分。3.如权利要求1所述的感测结构，其特征在于，该气体感测层暴露该第二电极的一部分，且一接触物设置在该第二电极的该部分上。4.如权利要求1所述的感测结构，其特征在于，该第一电极为蛇形电极，且该第二电极包括彼此连接的一框形部分及一延伸部分，该框形部分环绕该蛇形电极，且该延伸部分延伸至该蛇形电极的弯曲部分的开口中。5.如权利要求1所述的感测结构，其特征在于，该第一电极包括一环形部分，该第二电极包括一圆形部分，且该环形部分环绕该圆形部分。6.如权利要求5所述的感测结构，其特征在于，该第一电极更包括：一第一端部，位于该第一电极的一端：一第二端部，位于该第一电极的另一端；以及一连接部分，连接该第一端部、该第二端部及该环形部分。7.如权利要求5所述的感测结构，其特征在于，该第二电极更包括：设置在该湿度感测层上且与该...

【专利技术属性】
技术研发人员：骆玠錞，何羽轩，
申请(专利权)人：新唐科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：