用于单晶炉的加料装置和单晶炉制造方法及图纸

技术编号:38376840 阅读:11 留言:0更新日期:2023-08-05 17:37
本实用新型专利技术适用于单晶硅棒制造技术领域,提供了一种用于单晶炉的加料装置和单晶炉,加料装置可包括加料器和加料管,加料器用于盛放硅料。加料管连接在加料器底部,加料管用于向单晶炉的坩埚内投放硅料,加料管具有进料端和出料端,进料端连通加料器,沿加料管的长度方向,加料管的内壁上形成有内螺纹结构,沿进料端朝向出料端的方向,内螺纹结构中相邻两个螺旋纹之间的间距逐渐变窄。如此,在进料过程中,内螺纹结构的设置可以有效的减缓硅料的运动速度,有效的避免溅硅,同时,沿进料端朝向出料端的方向,相邻两个螺旋纹之间的间距逐渐变窄也可以进一步减缓硅料的进料速度,进而有效的避免硅料在进入坩埚时发生溅硅问题。避免硅料在进入坩埚时发生溅硅问题。避免硅料在进入坩埚时发生溅硅问题。

【技术实现步骤摘要】
用于单晶炉的加料装置和单晶炉


[0001]本技术涉及单晶硅棒制造
,尤其涉及一种用于单晶炉的加料装置和单晶炉。

技术介绍

[0002]目前,采用CCZ连续直拉法制造单晶硅棒是未来光伏单晶降本和提升品质的主要方向。CCZ单晶具有生产效率高的优势,其采用的是边熔料边拉单晶的方式,较传统的RCZ拉晶方式减少了熔料时间,在生产效率上有显著的提升。然而,由于CCZ单晶采用的是边熔料边拉单晶的方式,在高温下进行加料时容易出现溅硅问题。

技术实现思路

[0003]本技术提供一种用于单晶炉的加料装置和单晶炉,旨在解决现有技术中采用CCZ连续直拉法制造单晶硅棒在高温下进行加料时容易出现溅硅的技术问题。
[0004]本技术是这样实现的,本技术实施例的加料装置包括:
[0005]加料器,用于盛放硅料;和
[0006]连接在所述加料器底部的加料管,所述加料管用于向所述单晶炉的坩埚内投放硅料,所述加料管具有进料端和出料端,所述进料端连通所述加料器,沿加料管的长度方向,所述加料管的内壁上形成有内螺纹结构,沿所述进料端朝向所述出料端的方向,所述内螺纹结构中相邻两个螺旋纹之间的间距逐渐变窄。
[0007]更进一步地,沿所述进料端朝向所述出料端的方向,所述加料管的内径逐渐变小。
[0008]更进一步地,所述加料器包括本体和设置在所述本体内的石英内胆,所述石英内胆用于盛放硅料。
[0009]更进一步地,所述石英内胆的内壁上形成有螺旋纹,所述加料器与所述加料管转动连接,所述加料器能够在外部驱动件的带动下相对所述加料管旋转。
[0010]更进一步地,所述加料器的底部设有阀门,所述阀门能够相对所述加料器动作以连通或者断开所述加料器和所述加料管。
[0011]本技术还提供一种单晶炉,所述单晶炉包括:
[0012]炉体,所述炉体上形成有加料口;
[0013]设置在所述炉体内的坩埚;和
[0014]上述任一项所述的加料装置,所述加料管穿设所述加料口伸入所述炉体内,所述出料端朝向所述坩埚以向所述坩埚内投放硅料。
[0015]在本技术实施例中的用于单晶炉的加料装置和单晶炉中,加料管具有进料端和出料端,进料端连通加料器,沿加料管的长度方向,加料管的内壁上形成有内螺纹结构,沿进料端朝向出料端的方向,螺旋结构中相邻两个螺旋纹之间的间距逐渐变宽。如此,在进料过程中,内螺纹结构的设置可以有效的减缓硅料的运动速度,同时,沿进料端朝向出料端的方向(即进料方向),相邻两个螺旋纹之间的间距逐渐变窄也可以进一步减缓硅料的进料
速度,进而有效的避免硅料在进入坩埚时发生溅硅问题。
[0016]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出,部分将从下面的描述中变得明显,或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0017]图1是本技术实施例提供的单晶炉的结构示意图;
[0018]图2是本技术实施例提供的单晶炉的另一结构示意图;
[0019]图3是本技术实施例提供的单晶炉的又一结构示意图。
[0020]主要元件符号说明:
[0021]单晶炉100、炉体10、坩埚20、加料装置30、加料器31、本体311、石英内胆312、加料管32、进料端321、出料端322、内螺纹结构323、加热器40、磁场装置50、滑行移动轨道60。
具体实施方式
[0022]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本技术进行进一步详细说明。所述实施例的示例在附图中示出,其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的,仅用于解释本技术,而不能理解为对本技术的限制。此外,应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术,并不用于限定本技术。
[0023]在本技术的描述中,需要理解的是,术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“左”、“右”、“水平”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本技术的限制。
[0024]此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本技术的描述中,“多个”的含义是两个或两个以上,除非另有明确具体的限定。
[0025]在本技术的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接或可以相互通讯;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0026]在本技术中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触,也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方,或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0027]下文的公开提供了许多不同的实施例或例子用来实现本技术的不同结构。为
了简化本技术的公开,下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然,它们仅仅为示例,并且目的不在于限制本技术。此外,本技术可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母,这种重复是为了简化和清楚的目的,其本身不指示所讨论各种实施例和/或设置之间的关系。此外,本技术提供了的各种特定的工艺和材料的例子,但是本领域普通技术人员可以意识到其它工艺的应用和/或其它材料的使用场景。
[0028]本技术中,沿加料管的长度方向,加料管的内壁上形成有内螺纹结构,沿进料端朝向出料端的方向,螺旋结构中相邻两个螺旋纹之间的间距逐渐变宽。在进料过程中,内螺纹结构的设置可以有效的减缓硅料的运动速度,同时,沿进料端朝向出料端的方向,相邻两个螺旋纹之间的间距逐渐变窄也可以进一步减缓硅料的进料速度,进而有效的避免硅料在进入坩埚时发生溅硅问题。
[0029]实施例一
[0030]请参阅图1,本技术实施例中的单晶炉100可包括炉体10、坩埚20和本技术实施例中的加料装置30,坩埚20设置在炉体10内。本技术实施例中的加料装置30可包括加料器31和加料管32,加料器31用于盛放硅料本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于单晶炉的加料装置,其特征在于,所述加料装置包括:加料器,用于盛放硅料;和连接在所述加料器底部的加料管,所述加料管用于向所述单晶炉的坩埚内投放硅料,所述加料管具有进料端和出料端,所述进料端连通所述加料器,沿加料管的长度方向,所述加料管的内壁上形成有内螺纹结构,沿所述进料端朝向所述出料端的方向,所述内螺纹结构中相邻两个螺旋纹之间的间距逐渐变窄。2.根据权利要求1所述的用于单晶炉的加料装置,其特征在于,沿所述进料端朝向所述出料端的方向,所述加料管的内径逐渐变小。3.根据权利要求1所述的用于单晶炉的加料装置,其特征在于,所述加料器包括本体和设置在所述本体内的石英内胆,所述石英内胆用于盛放硅料。4.根据权利要求3所述的用于单晶炉的加料装置,其特征在于,所述石英内胆的内壁上形成有螺旋纹,所述加料器与所述加料管转动连接,所述加料器能够在外部驱动件的带动下相对所述加料管旋转。5.根据权利要求1所述的用于单晶炉的加料装置,其特征在于,所述加...

【专利技术属性】
技术研发人员:王永谦陈刚
申请(专利权)人:珠海富山爱旭太阳能科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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