弹性波装置以及弹性波装置的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种谋求电极部的耐湿性的提高的弹性波装置。弹性波装置具备：压电层，具有相互朝向相反方向的第1主面以及第2主面；至少1对电极，在与压电层的厚度方向交叉的交叉方向上对置，并且设置在第1主面之上；框状的支承基板，设置在第2主面，在厚度方向上俯视，与至少1对电极的至少一部分重叠，并且具有贯通支承基板的第1空洞部；树脂片材，相对于支承基板设置在压电层的相反侧，将第1空洞部闭塞；金属框，呈具有第2空洞部的框状，设置在第1主面并包围压电层以及一对电极；和无机片材，相对于金属框设置在与压电层相反侧，将第2空洞部闭塞，包含无机材料。包含无机材料。包含无机材料。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】弹性波装置以及弹性波装置的制造方法


[0001]本公开涉及具有包含铌酸锂或者钽酸锂的压电层的弹性波装置以及弹性波装置的制造方法。

技术介绍

[0002]在专利文献1中记载有弹性波装置。
[0003]在先技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2012
‑
257019号公报

技术实现思路

[0006]专利技术要解决的问题
[0007]在弹性波装置中，在电极部(第1电极、第2电极(一对电极)、以及第1汇流条、第2汇流条)的表面不附加保护膜的情况下，耐湿性有可能劣化。
[0008]本公开是鉴于上述问题而完成的，其目的在于，提供一种谋求电极部的耐湿性的提高的弹性波装置以及弹性波装置的制造方法。
[0009]用于解决问题的技术方案
[0010]一个方式涉及的弹性波装置具备：压电层，具有相互朝向相反方向的第1主面以及第2主面；至少1对电极，在与所述压电层的厚度方向交叉的交叉方向上对置，并且设置在所述第1主面之上；框状的支承基板，设置在所述第2主本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种弹性波装置，其特征在于，具备：压电层，具有相互朝向相反方向的第1主面以及第2主面；至少1对电极，在与所述压电层的厚度方向交叉的交叉方向上对置，并且设置在所述第1主面之上；框状的支承基板，设置在所述第2主面，在所述厚度方向上俯视，与所述至少1对电极的至少一部分重叠，并且具有贯通所述支承基板的第1空洞部；树脂片材，相对于所述支承基板设置在所述压电层的相反侧，将所述第1空洞部闭塞；金属框，呈具有第2空洞部的框状，设置在所述第1主面并包围所述压电层以及一对所述电极；和无机片材，相对于所述金属框设置在与所述压电层相反侧，将所述第2空洞部闭塞，包含无机材料。2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于，所述树脂片材是包含感光性粘接剂的树脂片材。3.一种弹性波装置，其特征在于，具备：压电层，具有相互朝向相反方向的第1主面以及第2主面；至少1对电极，在和与相对于所述第1主面的垂线平行的厚度方向交叉的交叉方向上对置，并且设置在所述第1主面之上；支承基板，设置在所述第2主面，在所述厚度方向上俯视，与所述至少1对电极的至少一部分重叠，并且具有贯通所述支承基板的第1空洞部；第1盖部，相对于所述支承基板设置在所述压电层的相反侧，将所述第1空洞部闭塞；布线电极，设置在所述第1主面，并与所述至少1对电极分别电连接；框状的支承框，设置为包围所述至少1对电极，具有第2空洞部；和第2盖部，相对于所述支承框设置在与所述压电层相反侧，将所述第2空洞部闭塞。4.根据权利要求3所述的弹性波装置，其特征在于，所述第1盖部或者所述第2盖部是包含感光性树脂的树脂片材。5.根据权利要求3所述的弹性波装置，其特征在于，所述第1盖部或者所述第2盖部是具有包含非感光性树脂的片材、和设置在所述片材的一面的粘接层的树脂片材。6.根据权利要求3所述的弹性波装置，其特征在于，所述第1盖部或者所述第2盖部是具有包含无机材料的片材、和设置在所述片材的一面的粘接层的无机片材。7.根据权利要求3至6中任一项所述的弹性波装置，其特征在于，具备：下凸块金属，将所述支承框以及所述第2盖部贯通或者将所述支承基板以及所述第1盖部贯通，并与所述布线电极电连接；和凸块，层叠于所述下凸块金属。8.根据权利要求1至7中任一项所述的弹性波装置，其特征在于，所述至少1对电极具有多个第1电极、连接了所述多个第1电极的第1汇流条电极、多个第2电极、和连接了所述多个第2电极的第2汇流条电极。
9.根据权利要求8所述的弹性波装置，其特征在于，在将所述多个第1电极和所述多个第2电极之中相邻的第1电极与第2电极之间的中心间距离设为p的情况下，所述压电层的厚度为2p以下。10.根据权利要求1至9中任一项所述的弹性波装置，其特征在于，所述压电层包含铌酸锂或者钽酸锂。11.根据权利要求10所述的弹性波装置，其特征在于，构成为能够利用厚度剪切模式的体波。12.根据权利要求10所述的弹性波装置，其特征在于，在将所述压电层的厚度设为d，将所述至少1对电极之中相邻的电极的中心间距离设为p的情况下，d/p≤0.5。13.根据权利要求12所述的弹性波装置，其特征在于，所述d/p为0.24以下。14.根据权利要求12或13所述的弹性波装置，其特征在于，在从所述1对电极对置的方向观察时，金属化比MR满足MR≤1.75(d/p)+0.075，其中，所述金属化比MR是激励区域内的所述1对电极的面积相对于所述激励区域的比例，所述激励区域是所述1对电极相重叠的区域。15.根据权利要求1至6中任一项所述的弹性波装置，其特征在于，铌酸锂或者钽酸锂的欧拉角处于以下的式(1)、式(2)或者式(3)的范围，(0
°±
10
°
，0
°
～20
°
，任意的ψ)
…
式(1)(0
°±
10
°
，20
°
～80
°
，0
°
～60
°
(1
‑
(θ
‑
50)2/900)
1/2
)或者(0
°±
10
°
，20
°
～80
°
，[180
°‑
60
°
(1
‑
(θ
‑
50)2/900)
1/2
]～180
°
)
…
式(2)(0
°±
10
°
，[180
°‑
30
°
(1
‑
(ψ
‑
90)2/8100)

【专利技术属性】
技术研发人员：井上和则，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：