本发明专利技术抑制弹性波的泄漏。弹性波装置具备：支承构件，具备在第1方向上具有厚度的支承基板；压电层，设置在支承构件的第1方向上；和IDT电极，设置在压电层的主面，具有在与第1方向交叉的第2方向上延伸的多个第1电极指、连接了多个第1电极指的第1汇流条电极、在与第2方向正交的第3方向上与多个第1电极指的任意者对置且在第2方向上延伸的多个第2电极指、以及连接了多个第2电极指的第2汇流条电极。在第1方向上俯视时，压电层在至少一个第1电极指与第2汇流条电极之间或者至少一个第2电极指与第1汇流条电极之间的间隙区域中，包含具备第1压电体、以及介电极化的状态与第1压电体不同的第2压电体的压电层叠构造体。的第2压电体的压电层叠构造体。的第2压电体的压电层叠构造体。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】弹性波装置
[0001]本公开涉及弹性波装置。
技术介绍
[0002]在专利文献1中记载了弹性波装置。
[0003]在先技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2012
‑
257019号公报
技术实现思路
[0006]专利技术要解决的问题
[0007]专利文献1所示的弹性波装置有可能在电极指延伸的方向上产生弹性波的泄漏。
[0008]本公开用于解决上述的问题，目的在于抑制弹性波的泄漏。
[0009]用于解决问题的技术方案
[0010]一个方式涉及的弹性波装置具备：支承构件，具备在第1方向上具有厚度的支承基板；压电层，设置在所述支承构件的所述第1方向上；和IDT电极，设置在所述压电层的主面，具有在与所述第1方向交叉的第2方向上延伸的多个第1电极指、连接了所述多个第1电极指的第1汇流条电极、在与所述第2方向正交的第3方向上与所述多个第1电极指的任意者对置且在所述第2方向上延伸的多个第2电极指、以及连接了所述多个第2电极指的第2汇流条电极，在所述第1方向上俯视时，所述压电层在至少一个第1电极指与所述第2汇流条电极之间或者至少一个第2电极指与所述第1汇流条电极之间的间隙区域中，包含具备第1压电体、以及介电极化的状态与所述第1压电体不同的第2压电体的压电层叠构造体。
[0011]专利技术效果
[0012]根据本公开，能够抑制弹性波的泄漏。
附图说明
[0013]图1A是示出第1实施方式的弹性波装置的立体图。
[0014]图1B是示出第1实施方式的电极构造的俯视图。
[0015]图2是图1A的沿着II
‑
II线的部分的剖视图。
[0016]图3A是用于对在比较例的压电层中传播的兰姆波(Lamb waves)进行说明的示意性的剖视图。
[0017]图3B是用于对在第1实施方式的压电层中传播的厚度剪切1阶模的体波进行说明的示意性的剖视图。
[0018]图4是用于对在第1实施方式的压电层中传播的厚度剪切1阶模的体波的振幅方向进行说明的示意性的剖视图。
[0019]图5是示出第1实施方式的弹性波装置的谐振特性的例子的说明图。
[0020]图6是示出在第1实施方式的弹性波装置中将相邻的电极的中心间距离或者中心间距离的平均距离设为p、并将压电层的平均厚度设为d的情况下的、d/2p和作为谐振器的相对带宽的关系的说明图。
[0021]图7是示出在第1实施方式的弹性波装置中设置有1对电极的例子的俯视图。
[0022]图8是示出第1实施方式的弹性波装置的谐振特性的一个例子的参考图。
[0023]图9是示出第1实施方式的弹性波装置的、构成了许多的弹性波谐振器的情况下的相对带宽、和作为杂散的大小的以180度进行了标准化的杂散的阻抗的相位旋转量的关系的说明图。
[0024]图10是示出d/2p、金属化比MR、和相对带宽的关系的说明图。
[0025]图11是示出使d/p无限接近0的情况下的相对带宽相对于LiNbO3的欧拉角(0
°
，θ，ψ)的曲线图的说明图。
[0026]图12是第1实施方式的变形例，是图1A的沿着II
‑
II线的部分的剖视图。
[0027]图13是用于对本公开的实施方式涉及的弹性波装置进行说明的部分切除立体图。
[0028]图14是示出第1实施方式涉及的弹性波装置的一个例子的俯视图。
[0029]图15是图14的XV
‑
XV线的剖视图。
[0030]图16是示出第1实施方式涉及的弹性波装置的第1变形例的剖视图。
[0031]图17是示出第1实施方式涉及的弹性波装置的第2变形例的俯视图。
[0032]图18是示出第1实施方式涉及的弹性波装置的导纳特性的一个例子的说明图。
[0033]图19是示出第1实施方式涉及的弹性波装置的导纳特性的一个例子的说明图。
[0034]图20是示出第2实施方式涉及的弹性波装置的一个例子的俯视图。
[0035]图21是图20的XXI
‑
XXI线的剖视图。
具体实施方式
[0036]以下，基于附图对本公开的实施方式详细地进行说明。另外，并非通过该实施方式来限定本公开。另外，本公开记载的各实施方式为例示性的，能够在不同的实施方式之间进行结构的部分置换或者组合在变形例、第2实施方式以后，省略关于与第1实施方式共同的事项的记述，仅针对不同点进行说明。特别是，关于同样的结构所带来的同样的作用效果，将不在每个实施方式中逐次提及。
[0037](第1实施方式)
[0038]图1A是示出第1实施方式的弹性波装置的立体图。图1B是示出第1实施方式的电极构造的俯视图。
[0039]第1实施方式的弹性波装置1具有包含LiNbO3的压电层2。压电层2也可以是包含LiTaO3的压电层。在第1实施方式中，LiNbO3、LiTaO3的切割角为Z切割。LiNbO3、LiTaO3的切割角也可以为旋转Y切割、X切割。优选的是，Y传播以及X传播
±
30
°
的传播方位为宜。
[0040]压电层2的厚度没有特别限定，但为了有效地激励厚度剪切1阶模，优选50nm以上且1000nm以下。
[0041]压电层2具有在Z方向上相互对置的第1主面2a和第2主面2b。在第1主面2a上，设置有电极指3以及电极指4。
[0042]在此，电极指3为“第1电极指”的一个例子，电极指4为“第2电极指”的一个例子。在
图1A以及图1B中，多个电极指3是与第1汇流条电极5连接的多个“第1电极”。多个电极指4是与第2汇流条电极6连接的多个“第2电极”。多个电极指3以及多个电极指4相互交错对插。由此，构成具备电极指3、电极指4、第1汇流条电极5和第2汇流条电极6的IDT(Interdigital Transuducer，叉指换能器)电极。
[0043]电极指3以及电极指4具有矩形形状，并具有长度方向。在与该长度方向正交的方向上，电极指3、和与电极指3相邻的电极指4对置。电极指3、电极指4的长度方向、以及与电极指3、电极指4的长度方向正交的方向均是与压电层2的厚度方向交叉的方向。因此，也可以说，电极指3、和与电极指3相邻的电极指4在与压电层2的厚度方向交叉的方向上对置。在以下的说明中，有时将压电层2的厚度方向作为Z方向(或者第1方向)，将电极指3、电极指4的长度方向作为Y方向(或者第2方向)，将电极指3、电极指4的正交的方向作为X方向(或者第3方向)来进行说明。
[0044]此外，电极指3、电极指4的长度方向也可以替换为与图1A以及图1B所示的电极指3、电极指4的长度方向正交的方向。即，在图1A以及图1B中，也可以使电极指3、电极指4在第1汇流条电极5以及第2汇流条电极6延伸的方向上延伸。在该情况下本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种弹性波装置，具备：支承构件，具备在第1方向上具有厚度的支承基板；压电层，设置在所述支承构件的所述第1方向上；和IDT电极，设置在所述压电层的主面，具有在与所述第1方向交叉的第2方向上延伸的多个第1电极指、连接了所述多个第1电极指的第1汇流条电极、在与所述第2方向正交的第3方向上与所述多个第1电极指的任意者对置且在所述第2方向上延伸的多个第2电极指以及连接了所述多个第2电极指的第2汇流条电极，在所述第1方向上俯视时，所述压电层在至少一个第1电极指与所述第2汇流条电极之间或者至少一个第2电极指与所述第1汇流条电极之间的间隙区域中，包含具备第1压电体以及介电极化的状态与所述第1压电体不同的第2压电体的压电层叠构造体。2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，在所述第1方向上俯视时，所述压电层叠构造体与所述第1电极指或者所述第2电极指重叠。3.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，在所述第1方向上俯视时，所述压电层叠构造体在所述第3方向上空开间隔地配置。4.根据权利要求1至3中任一项所述的弹性波装置，其中，配置为在所述第1方向上俯视时，在至少一部分与所述IDT电极重叠的位置构成空间部。5.根据权利要求1至3中任一项所述的弹性波装置，其中，所述支承构件在所述压电层侧具有声反射层，该声反射层包含具有比所述压电层低的声阻抗的1个以上的低声阻抗层以及具有比所述压电层高的声阻抗的1个以上的高声阻抗层。6.根据权利要求1至5中任一项所述的弹性波装置，其中，在所述第3方向上观察时所述第1电极指和所述第2电极指重叠的交叉区域的压电层是与所述第1压电体相同的介电极化的状态。7.根据权利要求1至5中任一项所述的弹性波装置，其中，在所述第3方向上观察时所述第1电极指和所述第2电极指重叠的交叉区域的压电层是与所述第2压电体相同的介电极化的状态。8.根据权利要求1至7中任一项所述的弹性波装置，其中，所述第1压电体的介电极化的朝向是与所述第2压电体的介电极化的朝向相反的朝向。9.根据权利要求1或3所述的弹性波装置，其中，所述压电层叠构造体的厚度比所述压电层的厚度的2倍小。10.根据权利要求1至9中任一项所述的弹性波装置，其中，所述压电层为Z切割，所述压电层的第2欧拉角θ为
‑
15
°
以上且15
°
以下。11.根据权利要求1至10中任一项所述的弹性波装置，其中，在将所述多个第1电极指和所述多个第2电极指之中的相邻的第1电极指与第2电极指之间的中心间距离设为p的情况下，所述压电层的厚度为2p以下。12.根据权利要求1至...
【专利技术属性】
技术研发人员：永友翔，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：
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