【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】弹性波装置
[0001]本公开涉及弹性波装置。
技术介绍
[0002]在专利文献1中记载了一种弹性波装置。
[0003]在先技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2012
‑
257019号公报
技术实现思路
[0006]专利技术要解决的问题
[0007]在专利文献1中，在支承基板和压电层之间设置有空洞部的情况下，由于杂散的产生，有可能在压电层产生裂纹。因此，希望抑制压电层的裂纹产生。
[0008]本公开用于解决上述的课题，目的在于提供一种弹性波装置，抑制压电层的裂纹产生。
[0009]用于解决问题的手段
[0010]一个方式涉及的弹性波装置具备：支承基板，其在第1方向上具有厚度；压电层，其设置在所述支承基板的所述第1方向；以及IDT电极，其设置在所述压电层，具有多个第1电极指和多个第2电极指，所述多个第1电极指在与所述第1方向交叉的第2方向上延伸，所述多个第2电极指在与所述第2方向正交的第3方向上与所述多个第1...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种弹性波装置，具备：支承基板，其在第1方向上具有厚度；压电层，其设置在所述支承基板的所述第1方向；以及IDT电极，其设置在所述压电层，具有多个第1电极指和多个第2电极指，所述多个第1电极指在与所述第1方向交叉的第2方向上延伸，所述多个第2电极指在与所述第2方向正交的第3方向上与所述多个第1电极指的任一个对置，并且在所述第2方向上延伸，在所述支承基板和所述压电层之间，在至少一部分在所述第1方向上与所述IDT电极重叠的位置，设置有空洞部，在相对于所述IDT电极在所述第3方向上不与所述IDT电极重叠的位置，具有贯穿所述压电层的至少一个贯通孔，所述贯通孔与所述空洞部连通，在所述第1方向上不与所述多个第1电极指以及所述多个第2电极指重叠且与所述空洞部重叠的区域中，在所述空洞部内具有在所述第1方向上延伸的加强支柱。2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，在所述第1方向上俯视下，所述加强支柱的外形具有曲面。3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，所述弹性波装置还具备设置在所述支承基板的电介质膜，在所述电介质膜的一部分设置有所述空洞部，所述加强支柱的材料是与所述电介质膜相同的材料。4.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，所述加强支柱的材料包括金属。5.根据权利要求1至4中任一项所述的弹性波装置，其中，在所述第1方向上，所述加强支柱设置在所述多个第1电极指以及所述多个第2电极指中的位于所述第3方向上的端部的第1电极指或者第2电极指和所述贯通孔之间。6.根据权利要求1至5中任一项所述的弹性波装置，其中，在所述空洞部中，具备面积比所述空洞部中的在所述第1方向上与所述IDT电极重叠的区域小的引出通路，所述加强支柱配置在所述引出通路的附近。7.根据权利要求1至4中任一项所述的弹性波装置，其中，在所述第1方向上，所述加强支柱设置在所述多个第1电极指以及所述多个第2电极指中的相邻的第1电极指或者第2电极指之间。8.一种弹性波装置，具备：支承基板，其在第1方向上具有厚度；压电层，其设置在所述支承基板的所述第1方向；以及IDT电极，其设置在所述压电层，具有多个第1电极指和多个第2电极指，所述多个第1电极指在与所述第1方向交叉的第2方向上延伸，所述多个第2电极指在与所述第2方向正交的第3方向上与所述多个第1电极指的任一个对置，并且在所述第2方向上延伸，在所述支承基板和所述压电层之间，在至少一部分在所述第1方向上与所述IDT电极重叠的位置，设置有空洞部，在相对于所述IDT电极在所述第3方向上不与所述IDT电极重叠的位置，具有贯穿所述
压电层的至少一个贯通孔，所述贯通孔与所述空洞部连通，所述弹性波装置具有加强肋，所述加强肋在所述第1方向上不与所述多个第1电极指以及所述多个第2电极指重叠，并且从所述空洞部的侧壁向所述空洞部内突出。9.根据权利要求8所述的弹性波装置，其中，在所述第1方向上俯视下，所述加强肋的外形具有曲面。10.根据权利要求8或9所述的弹性波装置，其中，所述弹性波装置还具备设置在所述支承基板的电介质膜，在所述电介质膜的一部分设置有所述空洞部，所述加强肋的材料是与所述电介质膜相同的材料。11.根据权利要求8或9所述的弹性...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。