单晶炉升降液压系统及单晶炉技术方案

本实用新型专利技术涉及单晶炉控制领域，提供一种单晶炉升降液压系统及单晶炉，其中，单晶炉升降液压系统，包括：第一升降缸，第一升降缸用于升降副室；第一换向阀，第一换向阀的换向用于控制第一升降缸的升降；第一调速阀组，第一调速阀组设置在第一升降缸与第一换向阀之间，第一调速阀组的换向用于对第一升降缸回油调速。用以解决现有技术中无法对副炉室升降调速的缺陷，本实用新型专利技术提供的单晶炉升降液压系统，通过第一换向阀的换向控制第一升降缸的升降状态，第一调速阀的换向控制第一升降缸的升降速度，从而实现单晶炉的副炉室与炉盖的分离和扣合的速度的控制，提高单晶炉的生产效率和生产质量。产质量。产质量。

【技术实现步骤摘要】
单晶炉升降液压系统及单晶炉


[0001]本技术涉及单晶炉控制
，尤其涉及一种单晶炉升降液压系统及单晶炉。

技术介绍

[0002]单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。市面上常见的单晶炉包括主炉室和副炉室，主炉室的内部设有坩埚，坩埚与籽晶相配合，主炉室的顶部设有炉盖，炉盖设有通孔；副炉室设于主炉室的上方。其中，主炉室内的坩埚需要进行升降，同时副炉室与炉盖之间需要升降，且副炉室与炉盖的升降速度需要严格控制。
[0003]现有的单晶炉中只有对主炉室的坩埚设置有液压升降装置，没有对副炉室与炉盖的分离和扣合进行调速的液压升降装置。

技术实现思路

[0004]本技术提供一种单晶炉升降液压系统及单晶炉，用以解决现有技术中无法对副炉室升降调速的缺陷，实现第一调速阀组的换向控制第一升降缸的升降速度，从而实现对副炉室的升降调速，提高单晶炉的生产效率和质量。
[0005]本技术提供一种单晶炉升降液压系统，包括：
[0006]第一升降缸，所述第一升降缸用于升降副室；
[0007]第一换向阀，所述第一换向阀的换向用于控制所述第一升降缸的升降；
[0008]第一调速阀组，所述第一调速阀组设置在所述第一升降缸与所述第一换向阀之间，所述第一调速阀组的换向用于对所述第一升降缸回油调速。
[0009]根据本技术提供的单晶炉升降液压系统，所述第一调速阀组包括：
[0010]第一调速阀，所述第一调速阀设置在所述第一升降缸的有杆腔与所述第一换向阀之间；
[0011]第二调速阀，所述第二调速阀设置在所述第一升降缸的无杆腔与所述第一换向阀之间。
[0012]根据本技术提供的单晶炉升降液压系统，所述第一调速阀和所述第二调速阀结构相同，所述第一调速阀包括第一节流阀和调速换向阀，所述第一节流阀与所述调速换向阀并联；
[0013]其中，所述调速换向阀包括单向工作位和导通工作位，所述单向工作位的进油口与所述第一换向阀连接，所述单向工作位的出油口与所述第一升降缸连接。
[0014]根据本技术提供的单晶炉升降液压系统，还包括第二调速阀组，所述第二调速阀组设置在所述第一换向阀和所述第一升降缸之间，所述第二调速阀组用于对所述第一升降缸回油调速。
[0015]根据本技术提供的单晶炉升降液压系统，所述第二调速阀组包括第三调速阀
和第四调速阀，所述第三调速阀与所述第四调速阀结构相同；
[0016]其中，所述第三调速阀包括第一单向阀和第二节流阀，所述第一单向阀与所述第二节流阀并联，所述第一单向阀的进油口与所述第一换向阀连接，所述第一单向阀的出油口与所述第一升降缸连接。
[0017]根据本技术提供的单晶炉升降液压系统，还包括第一液压锁，所述第一液压锁连接在所述第一换向阀与所述第一调速阀组之间。
[0018]根据本技术提供的单晶炉升降液压系统，还包括：
[0019]第二升降缸，所述第二升降缸用于升降单晶炉的主炉室的坩埚的高度；
[0020]第二换向阀，所述第一换向阀的换向用于控制所述第一升降缸的升降；所述第一换向阀的进油口与所述第二换向阀的进油口连接。
[0021]根据本技术提供的单晶炉升降液压系统，还包括第三调速阀组，所述第三调速阀组设置在所述第二换向阀和所述第二升降缸之间，所述第三调速阀组用于对所述第一升降缸回油调速。
[0022]根据本技术提供的单晶炉升降液压系统，还包括第二液压锁，所述第二液压锁连接在所述第二换向阀与所述第三调速阀组之间。
[0023]根据本技术提供的单晶炉升降液压系统，还包括防爆阀，所述防爆阀分别设置在所述第一升降缸的无杆腔的油路上和所述第二升降的无杆腔的油路上。
[0024]本技术还提供了一种单晶炉，包括上述的单晶炉升降液压系统。
[0025]本技术提供的单晶炉升降液压系统，通过第一换向阀的换向控制第一升降缸的升降状态，第一调速阀的换向控制第一升降缸的升降速度，从而实现单晶炉的副炉室与炉盖的分离和扣合的速度的控制，提高单晶炉的生产效率和生产质量。
[0026]进一步，在本技术提供的单晶炉中，由于具备如上所述的单晶炉升降液压系统，因此同样具备如上所述的各种优势。
附图说明
[0027]为了更清楚地说明本技术或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0028]图1是本技术提供的单晶炉升降液压系统的原理图。
[0029]附图标记：
[0030]100：第一升降缸；110：第一换向阀；120：第一调速阀组；130：第二调速阀组；140：第一液压锁；150：第一防爆阀；101：第一节流阀；102：调速换向阀；103：第一单向阀；104：第二节流阀；200：第二升降缸；210：第二换向阀；220：第三调速阀组；230：第二液压锁；240：溢流阀；250：第二防爆阀；500：液压泵；501：油箱；502：过滤器；503：继电器。
具体实施方式
[0031]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术中的附图，对本技术中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用
新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0032]在本技术实施例的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术实施例的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0033]在本技术实施例的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术实施例中的具体含义。
[0034]在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本技术实施例的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉升降液压系统，其特征在于，包括：第一升降缸，所述第一升降缸用于升降副室；第一换向阀，所述第一换向阀的换向用于控制所述第一升降缸的升降；第一调速阀组，所述第一调速阀组设置在所述第一升降缸与所述第一换向阀之间，所述第一调速阀组的换向用于对所述第一升降缸回油调速。2.根据权利要求1所述的单晶炉升降液压系统，其特征在于，所述第一调速阀组包括：第一调速阀，所述第一调速阀设置在所述第一升降缸的有杆腔与所述第一换向阀之间；第二调速阀，所述第二调速阀设置在所述第一升降缸的无杆腔与所述第一换向阀之间。3.根据权利要求2所述的单晶炉升降液压系统，其特征在于，所述第一调速阀和所述第二调速阀结构相同，所述第一调速阀包括第一节流阀和调速换向阀，所述第一节流阀与所述调速换向阀并联；其中，所述调速换向阀包括单向工作位和导通工作位，所述单向工作位的进油口与所述第一换向阀连接，所述单向工作位的出油口与所述第一升降缸连接。4.根据权利要求2所述的单晶炉升降液压系统，其特征在于，还包括第二调速阀组，所述第二调速阀组设置在所述第一换向阀和所述第一升降缸之间，所述第二调速阀组用于对所述第一升降缸回油调速。5.根据权利要求4所述的单晶炉升降液压系统，其特征在于，所述第二调速阀组包括第三调速阀和第四调速阀，所述第三调速阀与所述第四调速阀结构...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈俊，
申请(专利权)人：三一硅能株洲有限公司，
类型：新型
国别省市：