精密恒温恒湿设备制冷温控系统的非过热度控制方法技术方案

本发明专利技术涉及半导体制造过程中的温度湿度控制领域，尤其涉及精密恒温恒湿设备制冷温控系统的非过热度控制方法。所述的电子膨胀阀为驱动模式应用，利用蒸发器出风口设置的温度和湿度设定值，实时的给予电子膨胀阀反馈，电子膨胀阀通过驱动反馈，直接控制蒸发器出口端设置的温度和湿度。该方法还包含将加热加湿的PID端口和制冷降除湿的PID形成串联关系的步骤。本专利克服了CN2018115226456所指示的技术缺陷，反而直接从蒸发器出风口设置的温度和湿度设定值直接对电子膨胀阀进行驱动控制。直接以结果为导向。此设计更够更加直观地控制制冷系统的温度和湿度。且开创性将双PID联控联合起来进行综合控制。合起来进行综合控制。合起来进行综合控制。

【技术实现步骤摘要】
精密恒温恒湿设备制冷温控系统的非过热度控制方法


[0001]本专利技术涉及半导体制造过程中的温度湿度控制领域，尤其涉及精密恒温恒湿设备制冷温控系统的非过热度控制方法。

技术介绍

[0002]涂胶显影设备通过冷冻机原理将目标温度/湿度的空气直接传送给涂胶显影设备，在恒温恒湿设备出风口端，单独在设备出风设置管路，同设备进风口端连接，可提高进风口端的气体温湿度稳定性，从而在后期对整体气体加热时，缩短控制时间，提高目标气体的温湿度稳定性。
[0003]现有的温控设备控制逻辑为：降温除湿（制冷），加热加湿（PID模块），风机送风，传感器传送实时的温湿度数据，给加热加湿（PID模块）的控制逻辑其中制冷系统中，通过电子膨胀阀过的热度控制模式，控制加热加湿前的空气温度和湿度，目的为加热加湿前，提供稳定的空气温度和湿度问题点1：制冷系统当中最终需要的是通过蒸发器出口的稳定的温度和湿度，过热度控制模式，只是以设定的过热度为基准，控制过热度相对恒定，以此来控制蒸发器出口相对应的空气温度和湿度，并不能以蒸发器出口，直观需要的温度和湿度为直接控制基准进行控制。
[0004]问题点2：制冷系统的过热度（PID）控制同加热加湿系统的控制（PID）并不能形成串联控制逻辑关系，两个系统只是单独PID控制运算，比起串联起来的PID控制稳定性，精确性有所差异。CN2018115226456公开了一种电子膨胀阀过热度控制方法、系统及空调设备；可见现有技术，基本都是启示人们采用过热度进行控制。

技术实现思路

[0005]专利技术的目的：为了提供效果更好的精密恒温恒湿设备制冷温控系统的非过热度控制方法，具体目的见具体实施部分的多个实质技术效果。
[0006]为了达到如上目的，本专利技术采取如下技术方案：精密恒温恒湿设备制冷温控系统的非过热度控制方法，精密恒温恒湿设备制冷温控系统包含压缩机、换热器、电子膨胀阀、蒸发器；其特征在于，所述的电子膨胀阀为驱动模式应用，利用蒸发器出风口设置的温度和湿度设定值，实时的给予电子膨胀阀反馈，电子膨胀阀通过驱动反馈，直接控制蒸发器出口端设置的温度和湿度。
[0007]本专利技术进一步技术方案在于，该方法还包含将加热加湿的PID端口和制冷降除湿的PID形成串联关系的步骤。
[0008]本专利技术进一步技术方案在于，制冷系统同加热加湿系统串联在一个模块当中，蒸发器出口的温度和湿度作为通道1和通道2，同加热通道3和加湿通道4，能够形成串联的PID的逻辑控制.本专利技术进一步技术方案在于，加热加湿的PID端口和制冷降除湿的PID形成串联构
成一个总的PID控制器，该PID控制器能够直接采集出风口的温度和湿度即加热通道3和加湿通道4的参数，并根据该出风口的温度和湿度来控制加热加湿装置；该总的PID控制器能够采集蒸发器出口的温度和湿度即通道1和通道2的参数，来驱动电子膨胀阀的开启程度。
[0009]采用如上技术方案的本专利技术，相对于现有技术有如下有益效果：本专利克服了CN2018115226456公开了一种电子膨胀阀过热度控制方法、系统及空调设备所指示的技术缺陷，反而直接从蒸发器出风口设置的温度和湿度设定值直接对电子膨胀阀进行驱动控制。直接以结果为导向。此设计更够更加直观地控制制冷系统的温度和湿度。且开创性将双PID联控联合起来进行综合控制。
附图说明
[0010]为了进一步说明本专利技术，下面结合附图进一步进行说明：图1为专利技术的控制图；图2为专利技术控制基于的物理连接图（现有技术）；显示的连接结构为蒸发器连接着电子膨胀阀后连接着过滤器，随后连接很热气，进一步接入压缩机；蒸发器也通过管道连接着截止阀后连接着再热器；再热器通过管道连接着热气旁通阀随后连接着蒸发器；压缩机还连通着工厂冷却水。
实施方式
[0011]下面结合附图和具体实施方式，进一步阐明本专利技术，应理解下述具体实施方式仅用于说明本专利技术而不用于限制本专利技术的范围。
[0012]本专利提供多种并列方案，不同表述之处，属于基于基本方案的改进型方案或者是并列型方案。每种方案都有自己的独特特点。此外，下面所描述的本专利技术不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。文中未表述的固定方式，可以是螺纹固定，螺栓固定或者是胶水粘结等任意一种固定方式。
[0013]实施例一：结合图1和图2； 精密恒温恒湿设备制冷温控系统的非过热度控制方法，精密恒温恒湿设备制冷温控系统包含压缩机、换热器、电子膨胀阀、蒸发器；其特征在于，所述的电子膨胀阀为驱动模式应用，利用蒸发器出风口设置的温度和湿度设定值，实时的给予电子膨胀阀反馈，电子膨胀阀通过驱动反馈，直接控制蒸发器出口端设置的温度和湿度。本处的技术方案所起到的实质的技术效果及其实现过程即基本功能为如下：传统制冷温控系统四大件为：压缩机，换热器，电子膨胀阀，蒸发器。其中电子膨胀阀使用过热度模式进行使用，本专利可将电子膨胀阀变更为驱动模式应用，利用蒸发器出风口设置的温度和湿度设定值，实时的给予电子膨胀阀反馈，电子膨胀阀通过4
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20ma的驱动反馈，从而能够直接的控制蒸发器出口端，设置的温度和湿度。针对现有技术，本专利克服了CN2018115226456公开了一种电子膨胀阀过热度控制方法、系统及空调设备所指示的技术缺陷，反而直接从蒸发器出风口设置的温度和湿度设定值直接对电子膨胀阀进行驱动控制。直接以结果为导向。此设计更够更加直观地控制制冷系统的温度和湿度。
[0014]实施例二：作为进一步的可改进方案或者并列方案或可选择的独立方案，该方法还包含将加热加湿的PID端口和制冷降除湿的PID形成串联关系的步骤。本处的技术方案所起到的实质的技术效果及其实现过程即基本功能为如下：制冷系统同加热加湿系统串联在
一个模块当中，蒸发器出口的温度和湿度作为通道1和通道2，同加热通道3和加湿通道4，能够形成串联的PID的逻辑控制.加热加湿的PID端口和制冷降除湿的PID形成串联构成一个总的PID控制器，该PID控制器能够直接采集出风口的温度和湿度即加热通道3和加湿通道4的参数，并根据该出风口的温度和湿度来控制加热加湿装置；该总的PID控制器能够采集蒸发器出口的温度和湿度即通道1和通道2的参数，来驱动电子膨胀阀的开启程度。PID联动控制精密度和稳定性将会大幅度提高；避免部分无用功，让整个系统打到最小功耗实现最优配置，因为调节速度更灵敏，而且是全局调控。
[0015]该文中出现的电器元件均与外界的主控器及220V市电电连接，并且主控机可为计算机等起到控制的常规已知设备。
[0016]以上显示和描述了本专利技术的基本原理、主要特征和本专利技术的优点。本领域的技术人员应该了解本专利技术不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本专利技术的原理，在不脱离本专利技术精神和范围的前提下，本专利技术还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的范围内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.精密恒温恒湿设备制冷温控系统的非过热度控制方法，精密恒温恒湿设备制冷温控系统包含压缩机、换热器、电子膨胀阀、蒸发器；其特征在于，所述的电子膨胀阀为驱动模式应用，利用蒸发器出风口设置的温度和湿度设定值，实时的给予电子膨胀阀反馈，电子膨胀阀通过驱动反馈，直接控制蒸发器出口端设置的温度和湿度。2.如权利要求1所述的精密恒温恒湿设备制冷温控系统的非过热度控制方法，其特征在于，该方法还包含将加热加湿的PID端口和制冷降除湿的PID形成串联关系的步骤。3.如权利要求2所述的精密恒温恒湿设备制冷温控系统的非过热度控制方法，其特征在于，制...

【专利技术属性】
技术研发人员：李超，
申请(专利权)人：李超，
类型：发明
国别省市：