精密恒温恒湿设备制冷温控系统的非过热度控制方法技术方案

本发明专利技术涉及半导体制造过程中的温度湿度控制领域，尤其涉及精密恒温恒湿设备制冷温控系统的非过热度控制方法。所述的电子膨胀阀为驱动模式应用，利用蒸发器出风口设置的温度和湿度设定值，实时的给予电子膨胀阀反馈，电子膨胀阀通过驱动反馈，直接控制蒸发器出口端设置的温度和湿度。该方法还包含将加热加湿的PID端口和制冷降除湿的PID形成串联关系的步骤。本专利克服了CN2018115226456所指示的技术缺陷，反而直接从蒸发器出风口设置的温度和湿度设定值直接对电子膨胀阀进行驱动控制。直接以结果为导向。此设计更够更加直观地控制制冷系统的温度和湿度。且开创性将双PID联控联合起来进行综合控制。合起来进行综合控制。合起来进行综合控制。

【技术实现步骤摘要】
精密恒温恒湿设备制冷温控系统的非过热度控制方法


[0001]本专利技术涉及半导体制造过程中的温度湿度控制领域，尤其涉及精密恒温恒湿设备制冷温控系统的非过热度控制方法。

技术介绍

[0002]涂胶显影设备通过冷冻机原理将目标温度/湿度的空气直接传送给涂胶显影设备，在恒温恒湿设备出风口端，单独在设备出风设置管路，同设备进风口端连接，可提高进风口端的气体温湿度稳定性，从而在后期对整体气体加热时，缩短控制时间，提高目标气体的温湿度稳定性。
[0003]现有的温控设备控制逻辑为：降温除湿（制冷），加热加湿（PID模块），风机送风，传感器传送实时的温湿度数据，给加热加湿（PID模块）的控制逻辑其中制冷系统中，通过电子膨胀阀过的热度控制模式，控制加热加湿前的空气温度和湿度，目的为加热加湿前，提供稳定的空气温度和湿度问题点1：制冷系统当中最终需要的是通过蒸发器出口的稳定的温度和湿度，过热度控制模式，只是以设定的过热度为基准，控制过热度相对恒定，以此来控制蒸发器出口相对应的空气温度和湿度，并不能以蒸发器出口，直观需要的温度和湿度为直接控制基准进行控制。<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.精密恒温恒湿设备制冷温控系统的非过热度控制方法，精密恒温恒湿设备制冷温控系统包含压缩机、换热器、电子膨胀阀、蒸发器；其特征在于，所述的电子膨胀阀为驱动模式应用，利用蒸发器出风口设置的温度和湿度设定值，实时的给予电子膨胀阀反馈，电子膨胀阀通过驱动反馈，直接控制蒸发器出口端设置的温度和湿度。2.如权利要求1所述的精密恒温恒湿设备制冷温控系统的非过热度控制方法，其特征在于，该方法还包含将加热加湿的PID端口和制冷降除湿的PID形成串联关系的步骤。3.如权利要求2所述的精密恒温恒湿设备制冷温控系统的非过热度控制方法，其特征在于，制...

【专利技术属性】
技术研发人员：李超，
申请(专利权)人：李超，
类型：发明
国别省市：