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本发明涉及半导体制造过程中的温度湿度控制领域，尤其涉及精密恒温恒湿设备制冷温控系统的非过热度控制方法。所述的电子膨胀阀为驱动模式应用，利用蒸发器出风口设置的温度和湿度设定值，实时的给予电子膨胀阀反馈，电子膨胀阀通过驱动反馈，直接控制蒸发器出...
该专利属于李超所有，仅供学习研究参考，未经过李超授权不得商用。

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