一种可提高湿式设备清洗药液洁净度的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉清洗设备技术领域，特别是涉及了一种可提高湿式设备清洗药液洁净度的装置；其可提高湿式设备清洗药液洁净度的装置，可对循环药液进行充分净化处理，降低喷淋嘴堵塞事故发生率，有效保证喷淋压力，有效提高清洗蚀刻效果；包括：设备槽体，设备槽体内安装有喷淋管组；供液过滤机构，供液过滤机构包括抽液泵和过滤芯，过滤芯安装于抽液泵的输出端；药液槽和回流过滤组件，药液槽通过回流过滤组件与设备槽体连通；回流过滤组件上安装有回流滤芯。回流过滤组件包括进液管、回液管和两流向反向布置的回流过滤管路，回流过滤管路包括管体、排液阀和安装于管体两侧的开关阀，回流滤芯位于两排液阀之间。滤芯位于两排液阀之间。滤芯位于两排液阀之间。

【技术实现步骤摘要】
一种可提高湿式设备清洗药液洁净度的装置


[0001]本技术涉清洗设备
，特别是涉及了一种可提高湿式设备清洗药液洁净度的装置。

技术介绍

[0002]在TP/TFT等行业，湿式设备必不可少。基板的涂胶前的清洗、曝光后图案的显影以及光刻胶固化后的蚀刻均离不开湿式设备。清洗后基板表面的洁净度对产品的质量影响很大，会直接影响产品的使用性能以及外观的美观。
[0003]如中国技术专利中公开了一种湿式刻蚀用清洗装置以及湿式刻蚀设备(公开(公告)号CN206716576U)，其中，所述湿式刻蚀用清洗装置包括用于传送玻璃基板的传送单元、位于所述传送单元上方的能够向所述玻璃基板喷清洗液的喷淋单元和位于所述传送单元下方的接液槽，其中，所述接液槽的内部安装有能够将所述接液槽的内部分隔成沿所述传送单元的传送方向排列的相互独立的腔室的隔板。该湿式刻蚀用清洗装置能够针对不同区域所产生的不同浓度的废液进行分别排放。将上述湿式刻蚀用清洗装置应用于所述湿式刻蚀设备中，刻蚀后的玻璃基板进入湿式刻蚀用清洗装置后，喷洗所述玻璃基板产生的不同浓度的废液进入相应的腔室，分别排放不同浓度的废液。。
[0004]然而，本专利技术人具体实施此装置时，发现存在以下缺陷：目前湿式设备在药液槽的抽液泵和设备槽体的喷淋嘴之间安装有过滤芯，其规格相对较大，一般10um/20um/50um不等，导致在经过过滤芯时一部分小于滤芯规格的杂质直接通过喷淋嘴喷淋在基板表面，造成基板表面被污染，且长时间使用导致喷淋嘴堵塞，喷淋压力变小，从而使得清洗蚀刻能力变差，进而影响产品的质量。。

技术实现思路

[0005]基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种可提高湿式设备清洗药液洁净度的装置，可对循环药液进行充分净化处理，降低喷淋嘴堵塞事故发生率，有效保证喷淋压力，有效提高清洗蚀刻效果。
[0006]为了解决上述技术问题，本技术采用了如下所述的技术方案：
[0007]一种可提高湿式设备清洗药液洁净度的装置，其应用于基板的清洗。
[0008]所述可提高湿式设备清洗药液洁净度的装置具体包括：
[0009]设备槽体，所述设备槽体内安装有喷淋管组；
[0010]供液过滤机构，所述供液过滤机构包括抽液泵和过滤芯，所述过滤芯安装于抽液泵的输出端；
[0011]药液槽和回流过滤组件，所述药液槽通过回流过滤组件与设备槽体连通；回流过滤组件上安装有回流滤芯。
[0012]作为本技术提供的所述的可提高湿式设备清洗药液洁净度的装置的一种优选实施方式，所述回流过滤组件包括进液管、回液管和两流向反向布置的回流过滤管路，所
述回流过滤管路包括管体、排液阀和安装于管体两侧的开关阀，所述回流滤芯位于两排液阀之间，所述回流过滤管路与回液管和进液管通过活接头可拆卸连接。
[0013]作为本技术提供的所述的可提高湿式设备清洗药液洁净度的装置的一种优选实施方式，还包括安装壳体，所述设备槽体、供液过滤机构、药液槽和回流过滤组件均安装于安装壳体上。
[0014]作为本技术提供的所述的可提高湿式设备清洗药液洁净度的装置的一种优选实施方式，所述回流过滤管路转动安装于安装壳体内。
[0015]作为本技术提供的所述的可提高湿式设备清洗药液洁净度的装置的一种优选实施方式，设备槽体内壁处安装有卡固组件，所述卡固组件上设置有多个卡槽，所述喷淋管组卡固于其中一组卡槽处。
[0016]作为本技术提供的所述的可提高湿式设备清洗药液洁净度的装置的一种优选实施方式，所述设备槽体内可上下滑动的安装有放置架体。
[0017]作为本技术提供的所述的可提高湿式设备清洗药液洁净度的装置的一种优选实施方式，所述回流滤芯内设置有多层滤网，所述多层滤网的滤径沿进液管和回液管之间药液流动方向递减。
[0018]作为本技术提供的所述的可提高湿式设备清洗药液洁净度的装置的一种优选实施方式，所述安装壳体的后部安装有循环除尘机构。
[0019]作为本技术提供的所述的可提高湿式设备清洗药液洁净度的装置的一种优选实施方式，所述进液管和回液管处均安装有截止阀。
[0020]作为本技术提供的所述的可提高湿式设备清洗药液洁净度的装置的一种优选实施方式，设备槽体和药液槽的顶部开口处均安装有密封盖。
[0021]与现有技术相比，本技术有以下有益效果：
[0022]本技术提供的可提高湿式设备清洗药液洁净度的装置，抽液泵将药液槽内药液加压后，经过滤芯过滤处理，药液经喷淋管组喷出，对设备槽体内放置的基板进行清洗，设备槽体内的药液经回流过滤组件处的回流滤芯进行过滤，将冲洗过程中产生的杂质过滤截留，避免此部分杂质二次进入至喷淋管组处，防止对喷淋管组上的喷淋嘴造成堵塞，可对循环药液进行充分净化处理，降低喷淋嘴堵塞事故发生率，有效保证喷淋压力，有效提高清洗蚀刻效果。
附图说明
[0023]为了更清楚地说明本技术中的方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作一个简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0024]图1为本技术提供的立体结构示意图；
[0025]图2为本技术提供的前视结构示意图；
[0026]图3为图2中的A
‑
A处剖面结构示意图；
[0027]图4为图3中的B
‑
B处剖面结构示意图；
[0028]图5为图4中的A处局部放大结构示意图；
[0029]图中标记说明如下：
[0030]1、设备槽体；2、喷淋管组；3、抽液泵；4、过滤芯；5、药液槽；6、回流滤芯；7、进液管；8、回液管；9、管体；10、排液阀；11、开关阀；12、安装壳体；13、卡固组件；14、卡槽；15、放置架体；16、滤网；17、循环除尘机构；18、截止阀；19、密封盖。
具体实施方式
[0031]为了使本
的人员更好地理解本技术方案，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本技术保护的范围。
[0032]如
技术介绍
所述的湿式清洗装置，清洗洁净度不佳，且长时间使用导致喷淋嘴堵塞，喷淋压力变小，从而使得清洗蚀刻能力变差，进而影响基板清洗效果。
[0033]为了解决此技术问题，本技术提供了一种可提高湿式设备清洗药液洁净度的装置，其应用于基板的清洗。
[0034]设备槽体1，所述设备槽体1内安装有喷淋管组2；
[0035]供液过滤机构，所述供液过滤机构包括抽液泵3和过滤芯4，所述过滤芯4安装于抽液泵3的输出端；
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可提高湿式设备清洗药液洁净度的装置，其特征在于，其包括设备槽体(1)，所述设备槽体(1)内安装有喷淋管组(2)；供液过滤机构，所述供液过滤机构包括抽液泵(3)和过滤芯(4)，所述过滤芯(4)安装于抽液泵(3)的输出端；药液槽(5)和回流过滤组件，所述药液槽(5)通过回流过滤组件与设备槽体(1)连通；回流过滤组件上安装有回流滤芯(6)。2.根据权利要求1所述的可提高湿式设备清洗药液洁净度的装置，其特征在于，所述回流过滤组件包括进液管(7)、回液管(8)和两流向反向布置的回流过滤管路，所述回流过滤管路包括管体(9)、排液阀(10)和安装于管体(9)两侧的开关阀(11)，所述回流滤芯(6)位于两排液阀(10)之间，所述回流过滤管路与回液管(8)和进液管(7)通过活接头可拆卸连接。3.根据权利要求2所述的可提高湿式设备清洗药液洁净度的装置，其特征在于，还包括安装壳体(12)，所述设备槽体(1)、供液过滤机构、药液槽(5)和回流过滤组件均安装于安装壳体(12)上。4.根据权利要求3所述的可提高湿式设备清洗药液洁净度的装置，其特征在于，所述回流过滤管路转...

【专利技术属性】
技术研发人员：张杰，曾一鑫，
申请(专利权)人：信利光电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：