中频线性等离子放射装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于等离子放射装置技术领域，特别涉及一种中频线性等离子放射装置，包括由主体、盖板和出气底板组成的容置空间，容置空间内设置有陶瓷板和电极，陶瓷板上设置有可供电极嵌入的凹槽，盖板上设置有进气口和可供高压结构通过的通孔，高压结构与电极电连接，出气底板上设置有出气孔，主体的内壁与陶瓷板之间设置有放电间隙，容置空间内还设置有等离子监控结构。总之，本实用新型专利技术通过放电模式设计，陶瓷介质加工工艺，散热模式等，达到了清洗效果好，时效性好，清洗温度低，废气洁净化，放电均匀且稳定安全生产等需求。长度可定制，适用不同尺寸的产品，还可以适用多做中频电源。完善的保护功能，杜绝生产异常发生。杜绝生产异常发生。杜绝生产异常发生。

【技术实现步骤摘要】
中频线性等离子放射装置


[0001]本技术属于等离子放射装置
，特别涉及一种中频线性等离子放射装置。

技术介绍

[0002]大气DBD线性等离子是指大气介质阻挡放电线性等离子，其是一种被绝缘介质阻挡层隔开的两个电极之间的高压放电，该绝缘介质阻挡层覆盖在电极上，当在两电极处施加高电压时，该结构起作用，使放电腔流过的工艺气体产生电流，同时工艺气体被电离。由于存在绝缘的电介质屏障，因此DBD的结构与电容器相似，所以要想实现放电必须在电极两侧施加高压电场，同时，电场强度必须足够高，才能引起工艺气体击穿。
[0003]具体而言，大气DBD线性等离子主要由两大部分组成：高压电源发生器及DBD放电头，其工作原理为：两个电极之间采用绝缘介质进行隔离，并预留一定间隙保证工艺气体通过，外加高压到高压电极和接地负极板之间产生高压电场，电离通过两电极之间的工艺气体产生等离子体，通过接地负极板的孔将等离子体排出到待处理的产品表面。
[0004]电离后的工艺气体，含有大量的电子、离子、自由基和亚稳态的分子和原子，上述物质会对产品表面产生氧化、还原、裂解、交联和聚合等物理和化学反应改变样品表面性质，从而优化材料表面性能，增加材料表面的疏水性、可染性、粘接性、抗静电性以及生物相容性，实现清洁、改性、刻蚀等目的。
[0005]中频线性等离子放射装置接通电源工作时我们称为“放电”。目前市场上有的中频线性等离子，存在清洗效果差，时效性差，达不到产品组装的效果；清洗温度过高达不到要求低温烧坏产品；陶瓷介质管的精度低，放电均匀难保证，会有陶瓷介质击穿的风险。也没法保证每批次的来料一致性，如果有损换的更换之后清洗效果又不一样。适用功率范围小，需配置定制的中频电源。
[0006]而且目前的中频线性等离子放射装置没有监控功能，不能很好的监控等离子的发射情况，也无法监控其内部的温度情况。
[0007]有鉴于此，本技术旨在提供一种中频线性等离子放射装置，其通过巧妙的结构设计，达到了清洗效果好、时效性好、清洗温度低、放电均匀等需求。长度可定制，适用不同尺寸的产品，还可以适用多种中频电源。而且能够实现对等离子发射情况的监控，也能够实现对内部温度的监控。

技术实现思路

[0008]本技术的目的在于：针对现有技术的上述缺陷，其通过巧妙的结构设计，达到了清洗效果好、时效性好、清洗温度低、放电均匀等需求。长度可定制，适用不同尺寸的产品，还可以适用多种中频电源。而且能够实现对等离子发射情况的监控，也能够实现对内部温度的监控。
[0009]为解决现有技术的上述缺陷，本技术提供的技术方案是：
[0010]一种中频线性等离子放射装置，包括由主体、盖板和出气底板组成的容置空间，所述容置空间内设置有陶瓷板和电极，所述陶瓷板上设置有可供电极嵌入的凹槽，所述盖板上设置有进气口和可供高压结构通过的通孔，所述高压结构与所述电极电连接，所述出气底板上设置有出气孔，所述主体的内壁与所述陶瓷板之间设置有放电间隙，所述容置空间内还设置有等离子监控结构。
[0011]作为本技术中频线性等离子放射装置的一种改进，所述等离子监控结构包括光纤传感器、遮光柱和导光玻璃，所述导光玻璃嵌入所述主体内，所述光纤传感器设置于所述盖板内且所述光纤传感器位于所述导光玻璃的末端，所述遮光柱套设于所述导光玻璃外。
[0012]作为本技术中频线性等离子放射装置的一种改进，所述容置空间内还设置有温度传感器，所述温度传感器安装于所述主体上。
[0013]作为本技术中频线性等离子放射装置的一种改进，所述盖板的上方设置有进气板，所述进气板与所述盖板之间形成进气腔，所述盖板上设置有匀气孔形成第一匀气腔。
[0014]作为本技术中频线性等离子放射装置的一种改进，所述盖板的下方设置有挡气板，所述挡气板与所述盖板之间形成第二匀气腔。
[0015]作为本技术中频线性等离子放射装置的一种改进，所述主体上设置有与所述第一匀气腔连通的散热流道。
[0016]作为本技术中频线性等离子放射装置的一种改进，所述高压结构包括高压线、香蕉插头、第一固定块、第二固定块、锁紧接头和高压转接柱，所述香蕉插头与所述高压线电连接，所述锁紧接头将所述高压线锁紧在所述第一固定块内，所述香蕉插头通过所述第二固定块锁紧在所述第一固定块内，所述香蕉插头与所述高压转接柱电连接，所述电极通过电极连接柱实现与所述高压转接柱的电连接，所述电极连接柱与所述电极固定在一起导通并组成高压正极，所述主体、所述出气底板和所述盖板组合导通为接地负极。
[0017]作为本技术中频线性等离子放射装置的一种改进，所述装置还包括设置于所述主体和所述盖板外的外罩，所述外罩包括外罩主体和设置于所述外罩主体左侧的左罩板和设置于所述外罩主体右侧的右罩板，所述外罩主体上设置有法兰，所述左罩板与所述主体之间形成腔体，所述右罩板与所述主体之间也形成腔体。
[0018]作为本技术中频线性等离子放射装置的一种改进，所述放电间隙的宽度为0.5mm
‑
3mm，所述陶瓷板的厚度为1mm
‑
3mm。
[0019]作为本技术中频线性等离子放射装置的一种改进，所述出气孔的形状为长条形或整列密布的圆孔，且所述出气孔的宽度或直径为0.3mm
‑
1mm。
[0020]使用时，当在电极和出气底板之间施加高电压时，在高压电极和接地负极板之间产生高压电场，电离通过两电极之间的工艺气体产生等离子体，通过接地负极板的孔将等离子体排出到待处理的产品表面。相对于现有技术，本技术兼容等离子监控，能很好地反馈枪头异常，防止产品漏清洗。
[0021]本技术至少具有如下有益效果：
[0022]一是放电模式设计，本技术采用三面放电，改变放电的面积，提高单位体积的气体电离效率；
[0023]二是陶瓷板的结构和加工工艺，本技术的陶瓷板采用CNC加工工艺，精度能达
到+/
‑
0.02，确保陶瓷板厚度的均匀性，大大提高了放电的均匀性，确保每批次来料的一致性，降低故障率；
[0024]三是散热系统，独特的气体流道，多阶段的匀气，将部分热量带走，合适的放电间隙和出气孔，充分利用气体接触面积带走放电产生的热量，使清洗温度低于60℃且持续均匀。
[0025]四是适用功率范围大，适用多种中频电源。
[0026]五是枪头保护系统，兼容等离子监控和温度传感器，能很好地反馈枪头异常，防止产品漏清洗。
[0027]六是废气洁净系统，臭氧废气可以消除，防止污染车间环境，且特殊的负压流道可以使负压气流经过，可带走枪身部分热量，达到散热效果。
[0028]总之，本技术通过放电模式设计，陶瓷介质加工工艺，散热模式等，达到了清洗效果好，时效性好，清洗温度低，废气洁净化，放电均匀且稳定安全生产等需求。长度可定制，适用不同尺寸的产品，还可以适用多做中频电源。完善的保护功能，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种中频线性等离子放射装置，其特征在于：包括由主体、盖板和出气底板组成的容置空间，所述容置空间内设置有陶瓷板和电极，所述陶瓷板上设置有可供电极嵌入的凹槽，所述盖板上设置有进气口和可供高压结构通过的通孔，所述高压结构与所述电极电连接，所述出气底板上设置有出气孔，所述主体的内壁与所述陶瓷板之间设置有放电间隙，所述容置空间内还设置有等离子监控结构。2.根据权利要求1所述的中频线性等离子放射装置，其特征在于：所述等离子监控结构包括光纤传感器、遮光柱和导光玻璃，所述导光玻璃嵌入所述主体内，所述光纤传感器设置于所述盖板内且所述光纤传感器位于所述导光玻璃的末端，所述遮光柱套设于所述导光玻璃外。3.根据权利要求1所述的中频线性等离子放射装置，其特征在于：所述容置空间内还设置有温度传感器，所述温度传感器安装于所述主体上。4.根据权利要求1所述的中频线性等离子放射装置，其特征在于：所述盖板的上方设置有进气板，所述进气板与所述盖板之间形成进气腔，所述盖板上设置有匀气孔形成第一匀气腔。5.根据权利要求1所述的中频线性等离子放射装置，其特征在于：所述盖板的下方设置有挡气板，所述挡气板与所述盖板之间形成第二匀气腔。6.根据权利要求4所述的中频线性等离子放射装置，其特征在于：所述主体上设置有与所述第一匀气腔连通的散热流道。7.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：苏宜鹏，冼健威，李南杰，
申请(专利权)人：东莞市晟鼎精密仪器有限公司，
类型：新型
国别省市：