一种RB-SiC表面飞秒激光改性预处理方法技术

本发明专利技术涉及一种RB

【技术实现步骤摘要】
一种RB
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SiC表面飞秒激光改性预处理方法


[0001]本专利技术涉及RB
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SiC反射镜，特别是一种RB
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SiC表面飞秒激光改性预处理方法，以解决现有RB
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SiC表面改性技术对RB
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SiC表面质量要求高，造成RB
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SiC反射镜制造周期长、成本高的问题。

技术介绍

[0002]SiC具有高强度和极好的热稳定性，可以较低的成本制造大尺寸的反射镜镜坯，实现大口径的反射镜轻量化。其中，RB
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SiC是目前制备大口径复杂轻量化镜坯的优选材料，可制备出致密、形状复杂的SiC镜坯。但由于RB
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SiC材料中含有约10％～30％的游离Si，属于两相结构，其物理性质差异导致Si在抛光过程中的去除速率较快而SiC则较慢，因而在两相成分交界之处形成微台阶，难以满足反射镜的使用要求。目前，多采用物理气相沉积法和化学气相沉积法对RB
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SiC表面进行改性预处理，在其表面镀上一层与基体材质相近的SiC本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种RB
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SiC表面飞秒激光改性预处理方法，其特征在于，包括：
①
对RB
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SiC工件的切割表面进行超声清洗，以作为改性基体；
②
取浓度大于99.97％酒精与粒度为8μm的Si粉按照重量比1.35～1.6:1混合，并研磨半小时至泥浆状；
③
将研磨好的Si粉均匀预置在RB
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SiC工件表面，保证预置粉末的厚度为0.2～0.8mm，并将铺好粉末的RB
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SiC工件固定于RB
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SiC表面飞秒激光改性预处理装置的二维移动平台；
④
调控物镜位置进行对焦处理；
⑤
设置飞秒激光改性预处理工艺参数；
⑥
移动所述的二维移动平台确定加工起点，开启激光器和二维移动...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏朝阳，陈欢，曹珍，邵建达，蒋志刚，彭小聪，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：