本发明专利技术涉及一种用于工件(1)的清洗附件(5)，所述工件具有待要通过激光辐射加工的表面(8)，其中，所述工件(1)具有在所述工件(1)的至少一个侧面上敞开的腔室(10)，并且其中所述待要加工的表面(8)是被布置在所述腔室(10)内的表面。所述清洗附件包括：穿过所述清洗附件(5)的中央开口(6)；至少一个清洗气体馈送通道(11)，所述至少一个清洗气体馈送通道(11)延伸穿过所述清洗附件(5)并且在第一端处具有用于清洗气体馈送管线的连接器(13)并且在第二端处具有出口开口(14)；至少一个清洗气体抽吸通道(12)，所述至少一个清洗气体抽吸通道(12)延伸穿过所述清洗附件(5)并且在第一端处具有用于清洗气体排放管线的连接器(16)并且在第二端处具有入口开口(17)，并且其中所述至少一个清洗气体馈送通道(11)的所述出口开口(14)和所述至少一个清洗气体抽吸通道(12)的所述入口开口被布置在所述中央开口(6)的相互相对的两侧上；以及至少一个定中心部分，所述至少一个定中心部分被设计用以与被布置在所述工件(1)的所述侧面上的定中心区域相互作用，使得所述中央开口(6)、所述出口开口(14)以及所述入口开口(17)与所述腔室(10)连通。本发明专利技术还涉及一种通过激光对工件的表面进行加工、特别是使之结构化的方法，并且涉及一种制造用于确定容器中的介质的至少一个过程变量的传感器的方法。方法。方法。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】清洗附件以及用于通过激光对工件的表面进行加工、特别是使之结构化的方法
[0001]本专利技术涉及一种清洗附件并且涉及一种用于通过激光对工件的表面进行加工、特别是使之结构化的方法。
技术介绍
[0002]材料去除方法可以用于对由金属或金属合金(例如，钢)制成的工件的表面进行结构化。对表面进行结构化的特殊情况是使表面粗糙化。例如，为了允许涂层的更好粘附，或者为了制备工件的表面以便于将另一个部件粘附到该表面，使表面粗糙化。现有技术中已知的用于使工件表面结构化、特别是粗糙化的方法是喷击方法，在喷击方法中，将颗粒状或粉末状的喷击剂喷击到待要加工的表面上。这样的方法的一个示例是喷砂。
[0003]代替粒子束，激光辐射也可以用于使表面结构化或粗糙化。为了这个目的，使用聚焦在工件表面上的脉冲激光束，该脉冲激光束在局部上强烈地加热工件的材料并将材料转化为熔融相。这导致了被照射的表面的粗糙化。
[0004]技术挑战在于使布置在凹陷中或布置为工件内部的在一个侧面上敞开的腔室的内表面的工件表面粗糙化。在图1中以纵向截面示意性地示出了这样的工件1的示例。这是振动传感器的部件，用于检测介质的测量到的变量，例如填充液位或极限液位、粘度或密度，该振动传感器具有振荡叉。工件1包括振荡叉，该振荡叉具有对称地安置在由金属制成的膜3上的两个振荡元件2，例如两个金属杆或尖头。圆盘形膜3被保持在管状壳体(也被称为管状延伸部)4中，使得膜3在一个侧面上封闭壳体4。
[0005]为了测量，使振荡元件2振荡，并且基于谐振频率和/或振荡幅度的变化而以已知的方式检测所测量的变量。使用机电换能器单元来激励振荡。所述机电换能器单元在制造期间结合到膜3的背侧面。为了改进粘附性，首先对膜3的背侧面(即面向壳体4的内部的背侧面5)进行清洁并且使之粗糙化。为了这个目的，通常使用前面提到的喷击方法之一。
[0006]事实上，在粗糙化期间，通过喷击方法、特别是喷砂获得令人满意的结果。然而，在这种情况下，不利的是，在喷砂过程后，必须对图1所示的工件1进行彻底清洁，以去除(例如，通过借助压缩空气进行吹出)残留在壳体4中和膜的背侧面上的任何颗粒，之后才能将机电换能器单元结合到膜的背侧面。这需要手动加工步骤，并且使得使制造工艺自动化变得困难或变得不可能。
[0007]可以想到的是，在使膜背侧面粗糙化的制造步骤中，通过使用激光结构化方法代替喷砂方法来实现。然而，即使在工件的激光加工期间，也会形成附着到工件或残留在由壳体包围的腔室中的烟灰、烟雾和不期望的颗粒。为了避免并且/或者去除这样的颗粒，在现有技术中使用了用于清洗的抽吸装置或惰性气体喷嘴。例如，已知在激光焊接工艺中使用的可变位置气体喷嘴。
[0008]DE 10 2006 040 784 A1公开了一种用于对工件进行激光加工的激光束加工机器，该激光束加工机器具有用于收集和排放由于将激光束施加到工件上而形成的灰尘的灰
尘排放装置。灰尘排放装置包括空气引入室和灰尘收集室还有用于向空气引入室供应空气的空气供应装置。此外，灰尘排放装置包括涡流产生装置，该涡流产生装置用于在灰尘收集室中产生涡流或流动。安装在用于将激光束施加到工件的冷凝器的下端处的盖构件围绕空气引入室和灰尘收集室。
[0009]从现有技术中已知的这样的装置可以用于去除并且/或者抽吸出在平坦表面的激光加工期间产生的颗粒，但是这样的装置不太适合用于使布置在工件的腔室内的表面(诸如例如图1所示的工件1的膜3的背侧面)激光结构化，因为不能使布置在激光光学器件的区域中的常规气体喷嘴或抽吸装置足够靠近待要结构化的表面并且/或者体积大的气体喷嘴遮蔽了用于对膜的背侧面进行加工的激光辐射。因此，在对这样的工件进行加工中，在激光加工期间，并不是所有的污染物和干扰颗粒都能够使用传统手段而被可靠地防止或去除。
技术实现思路
[0010]本专利技术的目的是提供一种设备和方法，该设备和方法允许在对如下工件进行激光加工期间的改进的气体清洗，该工件具有待要加工的表面，该待要加工的表面被布置在工件的在至少一个侧面上敞开的腔室内。
[0011]该目的通过根据权利要求1所述的清洗附件和根据权利要求8所述的方法来实现。在从属权利要求中列出了有利的实施例。
[0012]根据本专利技术的用于工件的清洗附件具有：在所述工件的至少一个侧面上敞开的腔室；和布置在所述腔室内并且待要通过激光辐射进行加工的表面，
[0013]所述清洗附件包括：
[0014]穿过冲洗末端的中央开口；
[0015]至少一个清洗气体供应通道，所述至少一个清洗气体供应通道延伸穿过所述清洗附件并且具有在第一端处的用于清洗气体供应管线的连接器和在第二端处的出口开口；
[0016]至少一个清洗气体抽吸通道，所述至少一个清洗气体抽吸通道延伸穿过所述清洗附件并且具有在第一端处的用于清洗气体排放管线的连接器和在第二端处的入口开口，并且其中所述至少一个清洗气体供应通道的所述出口开口和所述至少一个清洗气体抽吸通道的所述入口开口被布置在所述中央开口的相对的两侧上；以及
[0017]至少一个定中心部分，所述至少一个定中心部分被构造用以与被布置在所述工件的所述侧面上的定中心区域相互作用，使得所述中央开口、所述出口开口以及所述入口开口与所述腔室连通。
[0018]通过在可以被放置在工件上的清洗附件中布置具有清洗气体出口开口的至少一个或多个清洗气体供应通道和具有清洗气体入口开口的至少一个或多个清洗气体抽吸通道，其中当将清洗附件放置在工件时，所述清洗气体入口开口与所述工件内的所述腔室连通，可以将清洗气体引入到所述腔室中并且/或者从所述腔室抽吸出清洗气体，而清洗气流不会被工件的壁阻碍。所述入口开口和所述出口开口也可以被布置成使得即使在所述腔室的内壁之间形成边缘的区域中也会阻止不期望的颗粒和污染物的积聚。同时，所述结构紧凑，并且允许用于对表面进行加工的激光辐射穿过所述中央开口，而清洗喷嘴或抽吸喷嘴不会遮蔽激光束。
[0019]在有利的实施例中，所述至少一个清洗气体供应通道的所述出口开口和所述至少
一个清洗气体抽吸通道的所述入口开口可以被构造为伸长孔。
[0020]所述至少一个清洗气体供应通道可以包括在清洗附件内形成的并且与用于清洗气体供应管线的连接器连通且与所述出口开口连通的腔室。同样地是，所述至少一个清洗气体抽吸通道可以包括在清洗附件内形成的并且与用于清洗气体排放管线的连接器连通且与所述出口开口连通的腔室。
[0021]在另一个特别有利的实施例中，清洗附件具有延伸穿过所述清洗附件的两个清洗气体供应通道和延伸穿过所述清洗附件的两个清洗气体抽吸通道，其中，所述清洗气体供应通道每个均具有在第一端处的用于清洗气体供应管线的连接器和在第二端处的出口开口，其中所述清洗气体抽吸通道每个均具有在第一端处的用于清洗气体排放管线的连接器和在第二端处的入口开口，并且其中在每种情况下，清洗气体抽吸通道和清洗气体供应通道布置在所述中央开口的相对的两侧上，即，所述入口开口和所述出口开口彼此相对本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于工件(1)的清洗附件(5)，所述工件(1)具有待要通过激光辐射加工的表面(8)，其中，所述工件(1)具有在所述工件(1)的至少一个侧面上敞开的腔室(10)，并且其中所述待要加工的表面(8)是被布置在所述腔室(10)内的表面，所述清洗附件包括：穿过所述清洗附件(5)的中央开口(6)；至少一个清洗气体供应通道(11)，所述至少一个清洗气体供应通道(11)延伸穿过所述清洗附件(5)并且具有在第一端处的用于清洗气体供应管线的连接器(13)和在第二端处的出口开口(14)；至少一个清洗气体抽吸通道(12)，所述至少一个清洗气体抽吸通道(12)延伸穿过所述清洗附件(5)并且具有在第一端处的用于清洗气体排放管线的连接器(16)和在第二端处的入口开口(17)，并且其中所述至少一个清洗气体供应通道(11)的所述出口开口(14)和所述至少一个清洗气体抽吸通道(12)的所述入口开口被布置在所述中央开口(6)的相对的两侧上；以及至少一个定中心部分，所述至少一个定中心部分被构造用以与所述工件(1)的被布置在所述工件(1)的所述侧面上的定中心区域相互作用，使得所述中央开口(6)、所述出口开口(14)以及所述入口开口(17)与所述腔室(10)连通。2.根据权利要求1所述的清洗附件(5)，其中，所述至少一个清洗气体供应通道(11)的所述出口开口(14)和所述至少一个清洗气体抽吸通道(12)的所述入口开口(17)被构造为伸长孔。3.根据权利要求1或2所述的清洗附件(5)，其中，所述至少一个清洗气体供应通道(11)包括腔室，所述腔室形成在所述清洗附件内并且与用于所述清洗气体供应管线的所述连接器(13)连通且与所述入口开口(14)连通，并且其中所述至少一个清洗气体抽吸通道(12)包括腔室(18)，所述腔室(18)形成在所述清洗附件(5)内并且与用于所述清洗气体排放管线的所述连接器(16)连通且与所述出口开口(17)连通。4.根据权利要求1至3中的一项所述的清洗附件(5)，其中，所述清洗附件(5)具有延伸穿过所述清洗附件(5)的两个清洗气体供应通道(11)和延伸穿过所述清洗附件(5)的两个清洗气体抽吸通道(12)，其中，所述清洗气体供应通道(11)每个均具有在第一端处的用于清洗气体供应管线的连接器(13)和在第二端处的出口开口(14)，其中所述清洗气体抽吸通道(12)每个均具有在第一端处的用于清洗气体排放管线的连接器(16)和在第二端处的入口开口(17)，并且其中在每种情况下，清洗气体抽吸通道(11)和清洗气体供应通道(12)布置在所述中央开口(6)的相对的两侧上。5.根据前述权利要求中的一项所述的清洗附件(5)，其中，所述定中心部分具有圆柱形表面，所述圆柱形表面围绕所述中央开口(6)的纵向轴线(Z)延伸，并且旨在抵靠在所述工件(1)的接触表面上，以便使所述工件(1)相对于所述清洗附件(5)的所述中央开口(6)定中心。6.根据权利要求1至5中的一项所述的清洗附件(5)，其中，所述清洗附件(5)的所述中央开口(6)...
【专利技术属性】
技术研发人员：西蒙，
申请(专利权)人：恩德莱斯和豪瑟尔欧洲两合公司，
类型：发明
国别省市：
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