压力传感探头与压力传感系统技术方案

本实用新型专利技术涉及一种压力传感探头与压力传感系统。压力传感探头包括主体及膜体组件。其中，所述主体设置气腔。所述膜体组件包括支撑环与石墨烯膜片，所述支撑环设置通孔；所述石墨烯膜片设置于所述支撑环的连接面，所述石墨烯膜片罩覆于所述通孔，所述膜体组件密封设置于所述气腔开口处；所述石墨烯膜片的直径

【技术实现步骤摘要】
压力传感探头与压力传感系统


[0001]本技术涉及压力传感的
，特别是涉及压力传感探头与压力传感系统。

技术介绍

[0002]在进行气压或声压检测时，检测人员通常会采用非接触式压力传感系统进行检测。其中，压力传感系统的核心部件为压力传感探头。压力传感探头通过其内的感应膜片的变化进行压力探测。
[0003]然而，目前的压力传感系统的灵敏度较低、动态范围窄。

技术实现思路

[0004]基于此，有必要针对压力传感系统的灵敏度较低、动态范围窄的问题，提供一种压力传感探头与压力传感系统。
[0005]一种压力传感探头，包括：
[0006]主体；设置气腔；及
[0007]膜体组件，所述膜体组件包括支撑环与石墨烯膜片，所述支撑环设置通孔；所述石墨烯膜片设置于所述支撑环的连接面，所述石墨烯膜片罩覆于所述通孔，所述膜体组件密封设置于所述气腔开口处；所述石墨烯膜片的直径
‑
厚度比的范围为1.0
×
106‑
9.9
×
106，所述石墨烯膜片与所述支撑环相抵接的部分的宽度大于3mm；
[0008]盖体，所述盖体设置探测口，所述盖体与所述主体连接，所述盖体位于所述膜体组件远离所述气腔的一侧，所述探测口与所述通孔对应设置。
[0009]在其中一个实施例中，所述石墨烯膜片包括悬设部与连接部，所述悬设部罩设于所述通孔处，所述连接部与所述支撑环的至少部分连接。
[0010]在其中一个实施例中，所述石墨烯膜片为还原氧化石墨烯膜片或CVD石墨烯膜片；
[0011]和/或，所述石墨烯膜片罩覆于所述通孔处的直径为7mm
‑
50mm；
[0012]和/或，所述支撑环的材质为铜、硅、玻璃、铁、陶瓷或塑料；
[0013]和/或，所述连接面设置等离子体处理层。
[0014]在其中一个实施例中，所述盖体包括本体部与把手部，所述把手部设置于所述本体部，所述本体部开设所述探测口。
[0015]在其中一个实施例中，还包括压紧件，所述压紧件可拆卸地设置于所述主体，所述压紧件设置于所述膜体组件与所述盖体之间。
[0016]在其中一个实施例中，所述压紧件包括压紧部与限位部；所述主体设置限位槽，所述限位部可相对所述限位槽移动，所述压紧部用于与所述膜体组件相抵。
[0017]在其中一个实施例中，还包括补压组件，所述补压组件具有气道；所述补压组件与主体连接，且所述气道与所述气腔连通。
[0018]在其中一个实施例中，还包括密封件，所述密封件设置于所述膜体组件与所述主
体之间。
[0019]一种压力传感系统，包括上述的压力传感探头。
[0020]在其中一个实施例中，还包括激光位移计或石墨烯光纤FP腔
‑
解调系统，所述激光位移计、所述石墨烯光纤FP腔
‑
解调系统均用于检测所述石墨烯膜片的位移距离。
[0021]上述压力传感探头中，石墨烯膜片的直径
‑
厚度比范围是1.0
×
106‑
9.9
×
106，达到了106数量级，当其进行压力探测时，其灵敏度可以达到200μm/Pa的高灵敏度，可探测的压力覆盖范围由1.25mPa
‑
100Pa，压力覆盖范围较宽。而且由于石墨烯膜片与支撑环相抵接的部分的宽度大于3mm，因此在上述压力传感探头进行检测时，石墨烯膜片不易与支撑环分离，确保压力传感探头的可靠性。
[0022]采用上述压力传感探头所制得的压力传感系统可以根据实际情况检测气压与声压，检测灵敏度较高，且检测范围较大。
附图说明
[0023]图1为本技术的一实施例提供的一种压力传感探头的结构示意图。
[0024]图2为图1的爆炸图。
[0025]图3为本技术的另一实施例提供的一种压力传感探头的爆炸图。
[0026]图4为本技术的一实施例提供的一种压力传感系统的结构示意图。
[0027]图5为本技术的另一实施例提供的一种压力传感系统的结构示意图。
[0028]附图标记：001、压力传感探头；
[0029]100、主体；101、气腔；101a、第一段；101b、第二段；102、开口；103、气口；104、限位槽；110、抵接部；120、第一连接结构；
[0030]200、盖体；201、探测口；210、本体部；220、把手部；230、第二连接结构；
[0031]300、膜体组件；310、支撑环；311、通孔；320、石墨烯膜片；321、悬设部；322、连接部；
[0032]400、密封件；
[0033]500、压紧件；510、压紧部；520、限位部；
[0034]600、补压组件；601、气道；
[0035]700、膜片式石墨烯光纤FP腔
‑
解调系统；710、光学系统；711、光源件；712、环形器；713、光纤；714、解调器件；715、衰减器；716、法兰；720、气体系统；721、供气件；722、稳流件；723、减压阀；724、流量计；725、三通阀；730、声源件；740、控制器。
具体实施方式
[0036]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术。但是本技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似改进，因此本技术不受下面公开的具体实施例的限制。
[0037]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、
“
顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0038]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
[0039]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种压力传感探头，其特征在于，包括：主体；设置气腔；及膜体组件，所述膜体组件包括支撑环与石墨烯膜片，所述支撑环设置通孔；所述石墨烯膜片设置于所述支撑环的连接面，所述石墨烯膜片罩覆于所述通孔，所述膜体组件密封设置于所述气腔开口处；所述石墨烯膜片的直径
‑
厚度比的范围为1.0
×
106‑
9.9
×
106，所述石墨烯膜片与所述支撑环相抵接的部分的宽度大于3mm；盖体，所述盖体设置探测口，所述盖体与所述主体连接，所述盖体位于所述膜体组件远离所述气腔的一侧，所述探测口与所述通孔对应设置。2.根据权利要求1所述的压力传感探头，其特征在于，所述石墨烯膜片包括悬设部与连接部，所述悬设部罩设于所述通孔处，所述连接部与所述支撑环的至少部分连接。3.根据权利要求1所述的压力传感探头，其特征在于，所述石墨烯膜片为还原氧化石墨烯膜片或CVD石墨烯膜片；和/或，所述支撑环的材质为铜、硅、玻璃、铁、陶瓷或塑料；和/或，所述连接面设置等离子体处理层。4.根据权利要求1所述的压力传感探头，其特征在于，所述盖体...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘科海，赵灌中，姚佳，尚俊峰，杨方友，郑跃滨，陈镔，刘开辉，王恩哥，
申请(专利权)人：松山湖材料实验室，
类型：新型
国别省市：