一种石墨烯导热膜在艾奇逊炉中石墨化用坩埚制造技术

本实用新型专利技术公开了一种石墨烯导热膜在艾奇逊炉中石墨化用坩埚，属于坩埚技术领域，该装置包括导气管，以及带有盖板的筒状的坩埚；坩埚靠近底部开口处设有石墨垫板；石墨垫板远离盖板的一侧设有过滤垫；导气管贯穿盖板和石墨垫板；导气管的一端与过滤垫靠近石墨垫板的一面相抵触，另一端位于盖板的外侧；在石墨化的升降温阶段，内外环境中的气流能够通过贯穿盖板和石墨垫板且进出气口不直接与坩埚内部连通的导气管进行流通，进而保证坩埚中气压的稳定性；有效解决了现有的坩埚，在外部气流进入坩埚内部以维持内外气压平衡时，因气体中携带杂质则会影响石墨烯导热膜的石墨化质量的问题。问题。问题。

【技术实现步骤摘要】
一种石墨烯导热膜在艾奇逊炉中石墨化用坩埚


[0001]本技术属于坩埚
，特别涉及一种石墨烯导热膜在艾奇逊炉中石墨化用坩埚。

技术介绍

[0002]石墨烯导热膜在生产过程中必须经历石墨化，现有的石墨化方式大致有以下两种：一种是通过中高频感应炉石墨化，该石墨化过程存在石墨化温度低影响石墨烯导热膜性能、产能低，以及设备维护保养成本高的缺点；另一种是通过艾奇逊炉进行石墨化，虽然通过艾奇逊炉进行石墨化具有温度高，产能大的特点，但艾奇逊炉在加热时需要先在坩埚的周围填埋电阻料，再通过对电阻料导电使其发热的方式来给坩埚加热升温，正是这种加热方式容易在降温阶段，因坩埚内存在负压而将填埋的电阻料及其他粉尘倒吸入坩埚内从而污染坩埚内的石墨烯导热膜。因此，需要设计一种能够在艾奇逊炉中进行石墨烯导热膜石墨化，且保证石墨化质量的坩埚。

技术实现思路

[0003]为了克服上述现有技术的缺陷，本技术所要解决的技术问题是：如何提供一种能够在艾奇逊炉中进行石墨烯导热膜石墨化，且保证石墨化质量的坩埚。
[0004]为了解决上述技术问题，本技术采用的技术方案本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石墨烯导热膜在艾奇逊炉中石墨化用坩埚，其特征在于，包括导气管，以及带有盖板的筒状的坩埚；所述坩埚靠近底部开口处设有石墨垫板；所述石墨垫板远离盖板的一侧设有过滤垫；所述导气管贯穿盖板和石墨垫板；所述导气管的一端与过滤垫靠近石墨垫板的一面相抵触，另一端位于盖板的外侧。2.根据权利要求1所述的石墨烯导热膜在艾奇逊炉中石墨化用坩埚，其特征在于，所述导气管中设有填充物；所述填充物和过滤垫均为透气碳毡。3.根据权利要求1所述的石墨烯导热膜在艾奇逊炉中石墨化用坩埚，其特征在于，所述盖板上设有第一圆孔；所述石墨垫板上设有第二圆孔；所述导气管同时贯穿第一圆孔和第二圆孔；所述第一圆孔和第二圆孔的孔径大于导气管的外径。4.根据权利要求3所述的石墨烯导热膜在艾奇逊炉中石...

【专利技术属性】
技术研发人员：张宏业，胡友志，李恒毅，王素青，
申请(专利权)人：福建烯望新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：