行驶车系统技术方案

【课题】提供一种能够抑制向行驶车传递的振动的行驶车系统。【解决方案】行驶车系统可以具备轨道和行驶车。轨道可以具备多条第一轨道、多条第二轨道、和在第一及第二延长线交叉的部分设置的部分轨道。行驶车可以具备在轨道的上侧行驶的行驶部、位于轨道的下方的主体部、和将行驶部与主体部连结的连结部。可以在第一轨道与部分轨道之间以及第二轨道与部分轨道之间，形成有当行驶车行驶时供连结部通过的间隙。行驶部可以具备在轨道上行驶的四个车轮、和方向转换机构，该方向转换机构通过使车轮分别绕着与四个车轮的各车轴正交的四个旋转轴旋转而将行驶车的行驶方向切换成第一方向和第二方向。在俯视时以四个旋转轴为顶点而形成的四边形的任何一条边可以都不与第一轨道及第二轨道平行。道及第二轨道平行。道及第二轨道平行。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】行驶车系统


[0001]本专利技术涉及行驶车系统。

技术介绍

[0002]已知一种具备格子状的轨道、和在轨道上行驶的行驶车的行驶车系统(例如参见专利文献1)。在专利文献1所记载的行驶车系统中，行驶车具备在轨道的上侧行驶的行驶部、位于轨道的下方的主体部、和连结行驶部与主体部的连结部。另外，轨道具备沿着第一方向设置的多条第一轨道、沿着与第一方向正交的第二方向设置的多条第二轨道、和在第一轨道的延长线与第二轨道的延长线交叉的部分设置的部分轨道。在第一轨道与部分轨道之间以及第二轨道与部分轨道之间，形成有当行驶车行驶时供连结部通过的间隙。行驶部通过使在轨道上行驶的四个车轮分别绕着上下方向的旋转轴旋转，能够将行驶车的行驶方向切换成第一方向和第二方向。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：国际公布第WO2017/150005号

技术实现思路

[0006]在专利文献1所记载的行驶车系统中，在行驶部中，由于行驶方向上的左右的车轮在行驶方向上没有错开，所以当行驶部从间隙通过时，左右的车轮会同时从间隙通过。当车轮从间隙通过时，在左右同时向行驶车传递振动，向行驶车传递的振动会变大。
[0007]本专利技术的目的在于，提供一种能够抑制向行驶车传递的振动的行驶车系统。
[0008]在本专利技术的方式中提供一种行驶车系统。行驶车系统具备轨道和在轨道上行驶的行驶车，在该行驶车系统中，轨道具备沿着第一方向设置的多条第一轨道、沿着与第一方向正交的第二方向设置的多条第二轨道、和在第一轨道的延长线与第二轨道的延长线交叉的部分设置的部分轨道，行驶车具备在轨道的上侧行驶的行驶部、位于轨道的下方的主体部、和将行驶部与主体部连结的连结部，在第一轨道与部分轨道之间以及第二轨道与部分轨道之间，形成有当行驶车行驶时供连结部通过的间隙，行驶部具备在轨道上行驶的四个车轮、和方向转换机构，该方向转换机构通过使车轮分别绕着与四个车轮的各车轴正交的四个旋转轴旋转而将行驶车的行驶方向切换成第一方向和第二方向，在俯视时以四个旋转轴为顶点而形成的四边形的任何一条边都不与第一轨道及第二轨道平行。
[0009]专利技术效果
[0010]根据上述行驶车系统，行驶方向上的左右的车轮成为在行驶方向上错开的状态。因此，无论在行驶车在第一轨道及第二轨道中的哪一轨道上行驶的情况下，左右的车轮进入间隙的时机均不同。此外，左右的车轮从间隙通过时所需的时间有时会有一部分重复，有时也会完全错开。其结果是，由于能够防止车轮从间隙通过时产生的振动及噪音在左右的车轮同时产生，所以能够抑制向行驶车传递的振动增加而实现顺畅的行驶，同时能够抑制
向周围传递的噪音变大。
[0011]也可以是，四边形在俯视时为菱形。根据该结构，由于构成行驶部的车轮等零件的对称性高，所以容易制造，能够确保行驶车的重量平衡。
[0012]也可以是，四个车轮设于到各自对应的旋转轴的长度相等的位置。也可以是，与菱形的锐角的顶点相当的旋转轴所对应的车轮在俯视时与旋转轴相比设于行驶车的内侧。也可以是，与菱形的钝角的顶点相当的旋转轴所对应的车轮在俯视时与旋转轴相比设于行驶车的外侧。根据该结构，无论在行驶车在第一方向及第二方向中的哪一方向上行驶的情况下，行驶方向上的前后的车轮均大致对齐成一条直线，因此能够缩小行驶轮在轨道上通过的区域。另外，根据该结构，能够使四个车轮绕着旋转轴旋转时的磨损均匀化。
[0013]也可以是，与位于菱形的第一对角的顶点上的两个旋转轴对应的两个车轮与各自对应的旋转轴相距第一距离。也可以是，与位于菱形的不同于第一对角的第二对角的顶点上的两个旋转轴对应的两个车轮与各自对应的旋转轴相距不同于第一距离的第二距离。也可以是，行驶方向上的前后的车轮大致排列在直线上。根据该结构，无论在行驶车在第一方向及第二方向中的哪一方向上行驶的情况下，行驶方向上的前后的车轮均大致对齐成一条直线，因此能够缩小行驶轮在轨道上通过的区域。
[0014]也可以是，轨道由第一轨道和第二轨道形成为格子状。也可以是，主体部在俯视时设为收于格子状的轨道中的一格内。根据该结构，在多台行驶车在格子状的轨道上行驶的情况下，即使行驶车分别位于相邻的格内，也能防止行驶车彼此干扰。
附图说明
[0015]图1表示第一实施方式的行驶车系统的一例。
[0016]图2表示第一实施方式的行驶车系统的一例。
[0017]图3表示利用相对于行驶方向正交的平面剖切行驶车而得到的剖面的一例。
[0018]图4表示行驶车将行驶方向从第一方向变更为第二方向的动作的一例。
[0019]图5表示行驶车将行驶方向从第一方向变更为第二方向的动作的一例。
[0020]图6表示行驶车将行驶方向从第一方向变更为第二方向的动作的一例。
[0021]图7表示行驶车将行驶方向从第一方向变更为第二方向的动作的一例。
[0022]图8表示上部单元的其他例子。
[0023]图9表示在行驶车系统中两台行驶车相邻时的一例。
[0024]图10示意性表示第二实施方式的行驶车系统中的行驶车的一例。
[0025]图11表示行驶车将行驶方向从第一方向变更为第二方向的动作的一例。
[0026]图12表示行驶车将行驶方向从第一方向变更为第二方向的动作的一例。
[0027]图13示意性表示第三实施方式的行驶车系统中的行驶车的一例。
[0028]图14表示行驶车将行驶方向从第一方向变更为第二方向的动作的一例。
[0029]图15表示行驶车将行驶方向从第一方向变更为第二方向的动作的一例。
具体实施方式
[0030]以下，通过本专利技术的实施方式来说明本专利技术，但以下的实施方式并不限定权利要求书的方案。另外，在附图中，有时为了说明实施方式而将一部分以放大或强调的方式记载
等、通过适当变更比例尺来表达，尺寸、外形与实际产品不同。在以下各图中，有时使用XYZ正交坐标系来说明图中的方向。在该XYZ坐标系中，将平行于水平面的平面作为XY平面。在本实施方式中，将X方向作为第一方向D1，将Y方向作为第二方向D2。另外，将垂直于XY平面的上下方向记载为Z方向。X方向、Y方向及Z方向分别以图中箭头所指方向为+方向、以与箭头所指方向相反的方向为－方向来进行说明。
[0031]图1及图2表示第一实施方式的行驶车系统SYS的一例。图3表示利用相对于行驶方向T正交的平面剖切行驶车V而得到的剖面的一例。行驶车系统SYS是设于半导体器件的制造工厂等中、并搬送容纳有标线片等的标线片盒、容纳有用于制造半导体器件的半导体晶圆的FOUP等物品的系统。行驶车系统SYS能够应用于半导体制造领域以外的设备。物品也可以是能够由行驶车系统SYS保管的其他物品。
[0032]行驶车系统SYS具备轨道R和行驶车V。轨道R是具有第一轨道R1、第二轨道R2和部分轨道R3的格子状轨道。第一轨道R1沿着第一方向D1延伸。第二轨道R2沿着第二方向D2延伸。在本本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种行驶车系统，其具备轨道和在所述轨道上行驶的行驶车，该行驶车系统的特征在于，所述轨道具备沿着第一方向设置的多条第一轨道、沿着与所述第一方向正交的第二方向设置的多条第二轨道、和在所述第一轨道的延长线与所述第二轨道的延长线交叉的部分设置的部分轨道，所述行驶车具备在所述轨道的上侧行驶的行驶部、位于所述轨道的下方的主体部、和将所述行驶部与所述主体部连结的连结部，在所述第一轨道与所述部分轨道之间以及所述第二轨道与所述部分轨道之间，形成有当所述行驶车行驶时供所述连结部通过的间隙，所述行驶部具备在所述轨道上行驶的四个车轮、和方向转换机构，该方向转换机构通过使所述车轮分别绕着与所述四个车轮的各车轴正交的四个旋转轴旋转而将所述行驶车的行驶方向切换成所述第一方向和所述第二方向，在俯视时以所述四个旋转轴为顶点而形成的四边形的任何一条边都不与所述第一轨道及所述第二轨道平行。2.根据权利要求1所述的行驶车系统，其特征在于，所述四边形在俯...

【专利技术属性】
技术研发人员：虎泽政佳，
申请(专利权)人：村田机械株式会社，
类型：发明
国别省市：