一种便于清洁的扩散炉制造技术

本实用新型专利技术涉及扩散炉领域，特别涉及一种便于清洁的扩散炉，包括炉管、炉门组件、吸尘嘴和清洁机构，所述炉门组件包括炉门和设于炉门一侧的支撑架，所述炉管设有炉腔和与炉腔连通的炉口，所述支撑架通过炉口插设于炉腔内，所述支撑架通过炉门带动能于炉腔内移动；所述吸尘嘴安装于支撑架上，以使吸尘嘴能于炉腔内移动；所述炉门设有清洁口，所述吸尘嘴设有吸尘腔和吸气口，所述炉腔、吸气口、吸尘腔、清洁口和清洁机构依次连通。采用本实用新型专利技术，减少炉内灰尘，除尘效果好，除尘效率高。除尘效率高。除尘效率高。

【技术实现步骤摘要】
一种便于清洁的扩散炉


[0001]本技术涉及扩散炉领域，特别涉及一种便于清洁的扩散炉。

技术介绍

[0002]扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。扩散炉包括了炉管和炉门，炉门上设有支撑架，硅片安装在支撑架上，炉门在滑动平台的带动下可沿炉管的轴向移动，从而带动硅片进入或拉出炉管。炉管设有气管，通过气管向炉内通入气体，硅片则在炉管内与各种气体在加热的状态下发生反应，反应的过程中会产生灰尘。现有的扩散炉不清洁，造成了炉管内的灰尘越积越多，灰尘会污染硅片。
[0003]申请号为201820818651.5的专利公开了“中频炉除尘设备”，包括集尘罩和吸尘管，所述集尘罩顶部中心处嵌有吸尘管，且吸尘管的底端焊接有第一集尘口，所述吸尘管底端一侧表壁上焊接有第二集尘口，所述吸尘管顶端连接有排尘总管，所述集尘罩内表壁上嵌有密封圈，所述集尘罩前表面开口处通过铰链转动连接有密封门，所述吸尘管与排尘总管的连接处固定有吸气管，且吸气管内部通过固定架螺栓固定有吸气扇，所述排尘总管的外表壁上套接有固定环，所述吸尘管内部卡接有初级滤网，所述集尘罩底端焊接有环形管，且环形管通过连接杆焊接有固定座。
[0004]该专利采用的是集尘罩和吸尘管，吸尘管固定在集尘罩上，吸尘管上设有两个集尘口。吸尘管固定在集尘罩内固定的位置，通过气压差将吸附在集尘罩壁内的灰尘吸向集尘口内。这样就会将集尘罩内的灰尘扬起，有可能使灰尘跑到集尘罩外，造成其他罩外污染，也增加了除尘的时间。而且，由于集尘罩壁到集尘口之间存在一定的距离，因而需要增大吸力才能保证灰尘吸入吸尘管内，造成的能耗增大。

技术实现思路

[0005]本技术所要解决的技术问题在于，提供一种便于清洁的扩散炉，减少炉内灰尘，除尘效果好，除尘效率高。
[0006]为了解决上述技术问题，本技术提供了一种便于清洁的扩散炉，包括炉管、炉门组件、吸尘嘴和清洁机构，所述炉门组件包括炉门和设于炉门一侧的支撑架，所述炉管设有炉腔和与炉腔连通的炉口，所述支撑架通过炉口插设于炉腔内，所述支撑架通过炉门带动能于炉腔内移动；
[0007]所述吸尘嘴安装于支撑架上，以使吸尘嘴能于炉腔内移动；
[0008]所述炉门设有清洁口，所述吸尘嘴设有吸尘腔和吸气口，所述炉腔、吸气口、吸尘腔、清洁口和清洁机构依次连通。
[0009]作为上述方案的改进，所述吸气口沿吸尘嘴的周向设置。
[0010]作为上述方案的改进，所述炉管和吸尘嘴的横截面在同一平面上。
[0011]作为上述方案的改进，还包括吸尘管，所述吸尘管的两端分别与炉门和吸尘嘴连
接；
[0012]所述吸尘嘴设有与吸尘腔连通的吸尘口，所述吸尘口通过吸尘管与清洁口连通。
[0013]作为上述方案的改进，所述吸尘嘴设有缺口，所述吸尘嘴通过缺口卡设于支撑架上。
[0014]作为上述方案的改进，所述炉门另一侧设有清洁管，所述清洁管的一端与清洁口连通。
[0015]作为上述方案的改进，所述清洁管的另一端与清洁机构连通，所述清洁机构和清洁管可拆卸连接。
[0016]作为上述方案的改进，所述清洁管的另一端设有用于封闭清洁管的封盖，所述清洁管和封盖可拆卸连接。
[0017]作为上述方案的改进，所述吸尘嘴和支撑架可拆卸连接。
[0018]作为上述方案的改进，所述清洁机构为吸尘器。
[0019]实施本技术，具有如下有益效果：
[0020]本技术在原有的支撑架上安装有吸尘嘴，吸尘嘴利用支撑架可随炉门移动来带动其在炉管内移动，同时，吸尘嘴通过炉门与清洁机构连接，向炉管内吸气，炉管内壁和底部的灰尘则随吸气口进入吸尘腔内收集，最后由清洁机构吸走。由于吸尘嘴可在炉管内移动，吸尘嘴所经过的位置的灰尘均能从吸气口吸入到吸尘嘴内，减少灰尘要经过的行程，既降低了清洁机构的能耗，又避免灰尘在炉管内扬尘而可能造成二次污染和炉管外污染，同时还缩短除尘时间，除尘效果也更好。
附图说明
[0021]图1是本技术便于清洁扩散炉处于工作状态时的结构示意图；
[0022]图2是本技术便于清洁扩散炉处于清洁状态时的结构示意图；
[0023]图3是图1的剖视图；
[0024]图4是图1炉门组件和吸尘嘴的连接结构示意图；
[0025]图5是图4吸尘嘴的结构示意图。
具体实施方式
[0026]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本技术作进一步地详细描述。仅此声明，本技术在文中出现或即将出现的上、下、左、右、前、后、内、外等方位用词，仅以本技术的附图为基准，其并不是对本技术的具体限定。
[0027]参见图1
‑
5所示，本技术公开了一种便于清洁的扩散炉，包括炉管1、炉门组件、吸尘嘴4和清洁机构(图中未示)，所述炉门组件包括炉门2和设于炉门2一侧的支撑架3，所述炉管1设有炉腔11和与炉腔11连通的炉口12，所述支撑架3通过炉口12插设于炉腔11内，所述支撑架3通过炉门2带动能于炉腔11内移动。
[0028]所述吸尘嘴4安装于支撑架3上，以使吸尘嘴4能于炉腔11内移动。
[0029]所述炉门2设有清洁口(图中未示)，所述吸尘嘴4设有吸尘腔41和吸气口42，所述炉腔11、吸气口42、吸尘腔41、清洁口和清洁机构依次连通。
[0030]本技术在原有的支撑架上安装有吸尘嘴，吸尘嘴利用支撑架可随炉门移动来
带动其在炉管内移动，同时，吸尘嘴通过炉门与清洁机构连接，向炉管内吸气，炉管内壁和底部的灰尘则随吸气口进入吸尘腔内收集，最后由清洁机构吸走。由于吸尘嘴可在炉管内移动，吸尘嘴所经过的位置的灰尘均能从吸气口吸入到吸尘嘴内，减少灰尘要经过的行程，既降低了清洁机构的能耗，又避免灰尘在炉管内扬尘而可能造成二次污染和炉管外污染，同时还缩短除尘时间，除尘效果也更好。
[0031]其中，所述炉腔11和吸尘嘴4的横截面形状和大小相适配。
[0032]优选地，所述清洁机构为吸尘器，但不以此为限。
[0033]优选地，所述吸气口42沿吸尘嘴4的周向设置，即吸气口42朝向炉管1内壁，使得吸气口和炉管内壁距离更短，减少灰尘经过的行程，减少灰尘扬尘的空间范围，避免灰尘可能造成二次污染和炉管外污染，同时还缩短除尘时间，除尘效果也更好。
[0034]优选地，所述炉管1和吸尘嘴4的横截面在同一平面上，保证吸附力的平衡性。
[0035]进一步，如图2
‑
4所示，本技术还包括吸尘管5，所述吸尘管5的两端分别与炉门2和吸尘嘴4连接。所述吸尘嘴4设有与吸尘腔41连通的吸尘口43，所述吸尘口43通过吸尘管5与清洁口连通。因此，所述炉腔11、吸气口42、吸尘腔41、吸尘口43、吸尘管5、清洁口和清洁机构依次连通。灰尘从炉腔中依次经过本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种便于清洁的扩散炉，其特征在于，包括炉管、炉门组件、吸尘嘴和清洁机构，所述炉门组件包括炉门和设于炉门一侧的支撑架，所述炉管设有炉腔和与炉腔连通的炉口，所述支撑架通过炉口插设于炉腔内，所述支撑架通过炉门带动能于炉腔内移动；所述吸尘嘴安装于支撑架上，以使吸尘嘴能于炉腔内移动；所述炉门设有清洁口，所述吸尘嘴设有吸尘腔和吸气口，所述炉腔、吸气口、吸尘腔、清洁口和清洁机构依次连通。2.如权利要求1所述的便于清洁的扩散炉，其特征在于，所述吸气口沿吸尘嘴的周向设置。3.如权利要求2所述的便于清洁的扩散炉，其特征在于，所述炉管和吸尘嘴的横截面在同一平面上。4.如权利要求1所述的便于清洁的扩散炉，其特征在于，还包括吸尘管，所述吸尘管的两端分别与炉门和吸尘嘴连接；所述吸尘嘴设有与吸尘腔连通的吸尘口，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：熊兼海，王刚，王永谦，陈刚，
申请(专利权)人：珠海富山爱旭太阳能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：