一种去除石英产品表面杂质的装置及方法制造方法及图纸

技术编号:38200620 阅读:8 留言:0更新日期:2023-07-21 16:42
本发明专利技术公开了一种去除石英产品表面杂质的装置及方法,包括装置主体、热水槽和冲洗槽,所述移动机构的下方设置有升降机构,所述热水槽位于装置主体的内部左端,所述洗净粉添加装置固定在装置主体上,所述热水槽的内部设置有加热装置。该去除石英产品表面杂质的装置及方法,从传统的开放式裸露煮沸平台,到半封闭式的一体装置,提高去除石英产品表面杂质的效率,流程标准化、作业标准化,解决了传统人工操作的效率低问题,通过升降机构、限定机构和放置结构移动石英产品,降低了人为操作的安全隐患,降低人工和辅料成本,自动化取代人工,省时省力,效率提高,降低操作人员双手从沸水中拿取产品而可能出现的烫伤风险。取产品而可能出现的烫伤风险。取产品而可能出现的烫伤风险。

【技术实现步骤摘要】
一种去除石英产品表面杂质的装置及方法


[0001]本专利技术涉及半导体石英材料加工
,具体为一种去除石英产品表面杂质的装置及方法。

技术介绍

[0002]本专利技术涉及半导体石英材料加工工艺领域,石英材料具有高硬度、高纯度、热膨胀系数低,电绝缘和化学稳定性等一系列特性,属于半导体设备中的重要组成部件,需求量较大,目前的石英加工材料都是脆性材料,硬度较高,易碎,表面容易产生划痕、磕碰,并且行业内对该产品的洁净度要求非常高,加工工艺要求十分严格。
[0003]目前的加工工艺是石英产品在机加工完成后,进行煮沸、脱蜡、清洗,目的是将石英产品表面附着的杂质、油蜡去除,操作人员先将防护用品穿戴齐全,将水注入加热水槽内,根据产品的大小厚度选择需要加入水的体积,打开加热器电源开关,然后用量杯舀出标准用量的洗净粉倒入热水槽内,并人工进行搅拌,将治具放入煮沸槽内,将产品一一放入治具内,等待水加热到沸腾状态后,约15分钟后,操作人员佩戴防护手套,双手伸入沸水中,将产品取出,放入另一个冷水冲洗槽内,人工用冷水将产品冲洗干净;目前去除石英产品表面杂质的装置及方法存在安全隐患较大和工作效率较低的问题目前使用的热水槽,其平台为裸露状态,平台高度较低,且四周无任何防护装置,槽口也无防护网,作业时,沸水温度达到100℃时,周围的操作人员有被烫伤的风险,煮沸完成后,操作人员采取用双手从沸水中拿取产品的方式,若防护手套破裂或穿戴不规范,容易造成工伤事故;传统的清洗方式基本是靠人工,人工加水,控制水量,人工用量杯舀取固定量的洗净粉剂,再倒入水中,人工进行搅拌,且进过沸水煮洗后的产品需人工取出,并进行下一步的冷水清洗工作,冷水清洗同样需要人工进行操作,工作时效、产品流转效率低,作业流程非标准化,时间控制非标准化,由操作人员自我调节,费时费力,从产品放置到煮沸到清洗,整个流程没有将时效量化,效率低,因此,我们提出一种去除石英产品表面杂质的装置及方法,以便于解决上述中提出的问题。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种去除石英产品表面杂质的装置及方法,以解决上述
技术介绍
中提出的现有的去除石英产品表面杂质的装置及方法存在安全隐患大和工作效率低的问题。
[0005]为实现上述目的,本专利技术提供如下技术方案:一种去除石英产品表面杂质的装置,包括装置主体、热水槽和冲洗槽:所述装置主体的内部顶端设置有移动机构,所述移动机构包括轨道框、移动电机、丝杆和移动块,所述轨道框的内部左侧固定有移动电机,所述移动电机的输出端固定有丝
杆,所述丝杆的外端螺纹连接有移动块,所述移动机构的下方设置有升降机构,且升降机构的底端固定有限定机构,所述限定机构包括连接架、防水电动伸缩杆和圆辊,所述连接架的底端外侧固定有防水电动伸缩杆,所述防水电动伸缩杆的输出端固定有圆辊,所述限定机构的外侧设置有放置结构,所述放置结构包括放置板和竖杆,所述放置板的上表面固定有竖杆;所述热水槽位于装置主体的内部左端,所述热水槽的上方设置有洗净粉添加装置,所述洗净粉添加装置固定在装置主体上,所述热水槽的内部设置有加热装置;所述冲洗槽位于装置主体的内部右端,所述冲洗槽和热水槽的内部底端均设置有底座固定装置,所述底座固定装置的内部固定有旋转电机,且旋转电机的输出端固定有旋转轴,所述热水槽的内部设置有第一旋转槽,所述冲洗槽的内部设置有第二旋转槽,且第二旋转槽上等间距安装有喷头,所述喷头的外端固定有软管,所述冲洗槽的上方设置有辅助冲洗枪,所述装置主体的前后端均设置有可视窗口,所述可视窗口的内侧设置有冷热出水装置,所述热水槽和冲洗槽的上方均设置有红外感应器。
[0006]优选的,所述移动块的后端滑动安装在轨道框内。
[0007]优选的,所述圆辊关于连接架的中心线对称设置,且圆辊与竖杆的连接方式为卡合连接。
[0008]优选的,所述第一旋转槽和第二旋转槽的下表面均固定有旋转轴,所述第一旋转槽和第二旋转槽的外端均呈多孔状结构。
[0009]优选的,所述热水槽和冲洗槽的前端均设置有排水口。
[0010]一种去除石英产品表面杂质的方法,所述去除石英产品表面杂质的方法包含以下步骤:步骤一、根据不同规格的产品,将配套放置结构固定装在升降机构下方固定的限定机构上;步骤二:通过升降机构,将放有石英产品的放置结构降落至热水槽的第一旋转槽中;步骤三:热水槽内红外感应器感应到放置结构和石英产品进入时,通过冷热出水装置自动加入热水,待水加到设定的水位或体积时,通过加热装置自动进行加热煮沸,同时洗净粉添加装置自动往沸水中倒入设定量的洗净粉;步骤四:热水槽中的水温达到沸腾状态时,旋转电机通过旋转轴带动第一旋转槽自动旋转,将洗净粉充分搅拌、溶解,旋转方式可进行调节,设置正反方向交替旋转以及旋转的快慢,旋转产生的水流对石英产品起到一定的冲洗作用;步骤五:在设定时间内装置完成煮沸清洗工序后,热水槽上的总控制装置自动恒温,等待下一批石英产品,升降机构带动限定机构向下移动,限定机构内的防水电动伸缩杆带动圆辊向外移动,使得圆辊与竖杆卡合连接,在移动机构和升降机构的作用下将煮沸后的石英产品移至冲洗槽内;步骤六:冲洗槽内的红外感应器感应到放置结构和石英产品入内时,通过喷头和软管自动进行四周的喷洗作业,旋转电机通过旋转轴带动第二旋转槽旋转,以保证冲洗槽内由喷头和软管构成的喷淋装置能够全方位对石英产品进行冲洗;步骤七:在设定时间内完成石英产品的清洗后,升降机构自动将放置结构吊出,操
作人员通过可视窗口检查产品冲洗情况,对于可能存在的小范围的遗漏处,可使用辅助冲洗枪清洗。
[0011]与现有技术相比,本专利技术的有益效果是:该去除石英产品表面杂质的装置及方法,从传统的开放式裸露煮沸平台,到半封闭式的一体装置,提高去除石英产品表面杂质的效率,流程标准化、作业标准化,解决了传统人工操作的效率低问题,通过升降机构、限定机构和放置结构移动石英产品,降低了人为操作的安全隐患,降低人工和辅料成本,自动化取代人工,省时省力,效率提高,降低操作人员双手从沸水中拿取产品而可能出现的烫伤风险;1.热水槽与冲洗槽两槽相邻连接,提高效率,方便作业,且该装置为半封闭式,降低安全隐患,作业时,操作人员可通过可视窗口查看内部作业情况;2.操作人员将机加工后的石英产品放入相应的放置结构内,装置内的升降机构可自动将治具落至热水槽内的第一旋转槽内,不需要工作人员手动放入石英产品,完成煮沸清洗之后,在升降机构、限定机构和放置结构的作用下方便将石英产品从热水槽的内部取出;3.加热槽内上方内壁处配有洗净粉添加装置,洗净粉添加装置可由人工设定用量,以智能按键方式发出指令后,洗净粉自动加入热水槽中;4.热水槽内的第一旋转槽,在旋转电机和旋转轴的作用下可进行自动旋转搅拌,协助洗净粉快速溶解;5.冷水冲洗槽内同样配有红外感应器,当红外感应器感应到有石英产品进入时,冲洗槽内四周的喷头自动开启,对石英产品进行清洗;6.冲洗槽中同时配有第二旋转槽,在喷淋系统作业时,在旋转电机和旋转轴的作用下自动进行旋转,在喷淋对石英产品进行全方位的清洗的同时,内槽里的水可形成漩涡冲本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种去除石英产品表面杂质的装置,包括装置主体(1)、热水槽(6)和冲洗槽(9),其特征在于:所述装置主体(1)的内部顶端设置有移动机构(2),所述移动机构(2)包括轨道框(201)、移动电机(202)、丝杆(203)和移动块(204),所述轨道框(201)的内部左侧固定有移动电机(202),所述移动电机(202)的输出端固定有丝杆(203),所述丝杆(203)的外端螺纹连接有移动块(204),所述移动机构(2)的下方设置有升降机构(3),且升降机构(3)的底端固定有限定机构(4),所述限定机构(4)包括连接架(401)、防水电动伸缩杆(402)和圆辊(403),所述连接架(401)的底端外侧固定有防水电动伸缩杆(402),所述防水电动伸缩杆(402)的输出端固定有圆辊(403),所述限定机构(4)的外侧设置有放置结构(5),所述放置结构(5)包括放置板(501)和竖杆(502),所述放置板(501)的上表面固定有竖杆(502);所述热水槽(6)位于装置主体(1)的内部左端,所述热水槽(6)的上方设置有洗净粉添加装置(7),所述洗净粉添加装置(7)固定在装置主体(1)上,所述热水槽(6)的内部设置有加热装置(8);所述冲洗槽(9)位于装置主体(1)的内部右端,所述冲洗槽(9)和热水槽(6)的内部底端均设置有底座固定装置(10),所述底座固定装置(10)的内部固定有旋转电机(11),且旋转电机(11)的输出端固定有旋转轴(12),所述热水槽(6)的内部设置有第一旋转槽(13),所述冲洗槽(9)的内部设置有第二旋转槽(14),且第二旋转槽(14)上等间距安装有喷头(15),所述喷头(15)的外端固定有软管(16),所述冲洗槽(9)的上方设置有辅助冲洗枪(17),所述装置主体(1)的前后端均设置有可视窗口(19),所述可视窗口(19)的内侧设置有冷热出水装置(18),所述热水槽(6)和冲洗槽(9)的上方均设置有红外感应器(20)。2.根据权利要求1所述的一种去除石英产品表面杂质的装置,其特征在于:所述移动块(204)的后端滑动安装在轨道框(201)内。3.根据权利要求1所述的一种去除石英产品表面杂质的装置,其特征在于:所述圆辊(403)关于连接架(401)的中心线对称设置,且圆辊(403)与竖杆(502)的连接方式为卡...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈伟杨军张月清蔡文军
申请(专利权)人:江苏富乐德石英科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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