一种空调回风系统技术方案

本实用新型专利技术涉及空调回风技术领域，公开一种空调回风系统，该空调回风系统中，第一洁净室内的发热负荷高于第二洁净室内的发热负荷；第一洁净室位于第一空气循环回路上，第二洁净室位于第二空气循环回路上；第一新风处理机组用于为第一空气循环回路补充新风，第二新风处理机组用于为第二空气循环回路补充新风；回风组件连通第一空气循环回路和第二空气循环回路，并用于将第一空气循环回路的空气传送至第二空气循环回路。第一新风处理机组的新风量会增加，增加的新风量温度低于第一洁净室的室内空气温度，这部分风量进入第一空气循环回路会降低第一洁净室内的发热负荷。减少或消除了冷热抵消现象，达到节能减排的目的。达到节能减排的目的。达到节能减排的目的。

【技术实现步骤摘要】
一种空调回风系统


[0001]本技术涉及空调回风
，特别涉及一种空调回风系统。

技术介绍

[0002]电子工业厂房洁净室的净化空调系统通常采用新风处理机组MAU+风机过滤器机组FFU+干式冷却器DCC相结合的形式，该系统的设计是为了考虑将洁净室的温度和相对湿度分别独立控制，以达到节能目的，其中，新风处理机组MAU为了保证洁净室内的相对湿度和正压值，对室外新鲜空气经过滤、冷却或加热、加湿或除湿等多个功能段组合处理后送入洁净室；风机过滤器机组FFU为了保证洁净室内的洁净度，内部设置有高效或超高效空气过滤器，室内空气经过风机过滤器机组FFU过滤处理后送入洁净室；干式冷却器DCC为了保证洁净室内的温度，根据洁净室的整体发热负荷特点，需要全年供给冷水，室内空气经过干式冷却器DCC冷却处理后送入洁净室。
[0003]夏季室外新风含湿量大，为了保证送入洁净室能满足房间相对湿度要求，新风处理机组MAU需要供给冷水，对室外空气进行冷却除湿处理，冬季室外空气含湿量小，新风处理机组MAU需要供给热水，对室外空气先进行加热处理，然后再进行加湿处理，过渡季根据室外空气的含湿量进行冷却除湿处理，或加热、加湿处理。半导体工厂的生产工艺对洁净室内的空气温度和相对湿度有很高的精度控制要求，通常温度的控制基准为22℃～23℃，温度的控制精度为
±
0.3℃～
±
1℃，相对湿度的控制基准为45％～55％，相对湿度的控制精度为
±
3％～
±
5％，这样应保证通过新风处理机组MAU处理后的空气露点温度全年保持在9℃～10.5℃，考虑到新风处理机组MAU的风机温升，新风处理机组MAU出口处的空气送风温度在9.5℃～11℃，以满足工艺生产对洁净室温度和相对湿度的控制要求。由于半导体工厂洁净室的工艺设备排风量很大，每平方米达90m3/h左右甚至更高，为了保证洁净室正压，需要补充室外空气的新风量必须大于排风量，对于如湿法刻蚀工序等工艺设备发热量较小的低发热负荷洁净区，如此大量的9.5℃～11℃低温新风直接送入洁净室的回风夹道与回风混合后，通过洁净室顶部的风机过滤器机组FFU送入洁净室内，洁净室内的空气温度偏低，无法满足工艺生产对洁净室的温度控制要求，所以工程实际运行需要在新风处理机组MAU中设置再热加热器供给热水，将前段已处理的接近露点温度的空气加热到15℃～20℃，再送入洁净室的回风夹道与回风混合后，通过洁净室顶部的风机过滤器机组FFU送入洁净室内，以保证洁净室内温度的控制要求。对于如干刻、扩散、薄膜沉积工序等工艺设备发热量较大的高发热负荷洁净区，利用9.5℃～11℃低温新风送入洁净室的回风夹道与回风混合后，直接通过洁净室顶部的风机过滤器机组FFU送入洁净室内，洁净室内的空气温度仍偏高，需要通过干式冷却器DCC冷却后，才能保证洁净室内空气温度的控制要求，因此高发热负荷洁净区的干式冷却器DCC需要供冷水，而低发热负荷区域的新风处理机组MAU再加热器热却需要供热水，整体洁净室空气处理过程存在冷热抵消现象显然是不合理的。此外，半导体工厂室外新风通常由集中设置的新风处理机组MAU集中统一处理后，通过风管送入各个洁净区，为了满足低发热负荷洁净区内的空气温度控制要求，新风处理机组MAU需要设置再
加热器以提高送风温度，这样高发热负荷洁净区需要设置更多冷却能力的干式冷却器DCC来进行冷却，从而加重了洁净室空气处理过程的冷热抵消现象，显然是更加不合理的。

技术实现思路

[0004]本技术公开了一种空调回风系统，用于降低或消除洁净室空气处理过程的冷热抵消现象，降低空调系统能耗，达到节能减排的目的。
[0005]为达到上述目的，本技术提供以下技术方案：
[0006]一种空调回风系统，包括：第一洁净室、第二洁净室、第一新风处理机组、第二新风处理机组、第一空气循环回路、第二空气循环回路和回风组件，所述第一洁净室内的发热负荷高于所述第二洁净室内的发热负荷；所述第一洁净室位于所述第一空气循环回路上，所述第二洁净室位于所述第二空气循环回路上；所述第一新风处理机组用于为所述第一空气循环回路补充新风，所述第二新风处理机组用于为所述第二空气循环回路补充新风；所述回风组件连通所述第一空气循环回路和所述第二空气循环回路，并用于将所述第一空气循环回路的空气传送至所述第二空气循环回路。
[0007]在上述空调回风系统中，第一洁净室的发热负荷高于所述第二洁净室内的发热负荷，回风经过第一空气循环回路后被第一洁净室内的高发热负荷加热，利用回风组件将该被加热后的回风送至具有较低发热负荷的第二洁净室所在的第二空气循环回路，避免第二洁净室内的空气温度偏低的现象，第二新风处理机组可以减少再热或者杜绝再热。由于第一空气循环回路的部分风量转移至第二空气循环回路，第一新风处理机组的新风量会增加，增加的新风量温度低于第一洁净室的室内空气温度，这部分风量进入第一空气循环回路会降低第一洁净室内的发热负荷。从而，减少第一新风处理机组和第二新风处理机组的总耗热量，同时也减少了第一洁净室回风处理的耗冷量，对于服务于第一洁净室和第二洁净室的整体空调系统而言，减少或消除了冷热抵消现象，达到节能减排的目的。
[0008]可选地，所述空调回风系统还包括与所述第一洁净室连通的第一补气空间，以及，与所述第二洁净室连通的第二补气空间；所述第一补气空间位于所述第一空气循环回路上，所述第二补气空间位于所述第二空气循环回路上；所述第一新风处理机组用于向所述第一补气空间内补充新风，所述第二新风处理机组用于向所述第二补气空间内补充新风；所述回风组件的入风口位于所述第一补气空间内，所述回风组件的出风口用于向所述第二补气空间送风。
[0009]可选地，所述回风组件的出风口位于所述第二补气空间内。
[0010]可选地，所述第二新风处理机组的出风口连接有送风管道，所述送风管道的出风口位于所述第二补气空间内；所述回风组件的出风口与所述第二新风处理机组内的功能段连通。
[0011]可选地，所述第二新风处理机组的出风口连接有送风管道，所述送风管道的出风口位于所述第二补气空间内；所述回风组件的出风口与所述送风管道连通。
[0012]可选地，所述回风组件包括回风设备、第一回风管和第二回风管；所述第一回风管连接于所述回风设备的上游，所述第二回风管连接于所述回风设备的下游；所述第一回风管设置有第一调节阀，所述第二回风管设置有第二调节阀。
[0013]可选地，所述第一回风管设置有第一空气过滤器，或者，所述第二回风管设置有第
二空气过滤器。
[0014]可选地，所述空调回风系统还包括连通管，所述第一新风处理机组的出风口与所述第二新风处理机组的出风口通过所述连通管连通。
[0015]可选地，所述连通管上设置有风阀。
[0016]可选地，所述的第一新风处理机组的数量为一个或者多个，所述第二新风处理机组的数量为一个或者多个。
附图说明
[0017]图1为本申请实施例提供的一种空调回风系统本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种空调回风系统，其特征在于，包括：第一洁净室、第二洁净室、第一新风处理机组、第二新风处理机组、第一空气循环回路、第二空气循环回路和回风组件，所述第一洁净室内的发热负荷高于所述第二洁净室内的发热负荷；所述第一洁净室位于所述第一空气循环回路上，所述第二洁净室位于所述第二空气循环回路上；所述第一新风处理机组用于为所述第一空气循环回路补充新风，所述第二新风处理机组用于为所述第二空气循环回路补充新风；所述回风组件连通所述第一空气循环回路和所述第二空气循环回路，并用于将所述第一空气循环回路的空气传送至所述第二空气循环回路。2.根据权利要求1所述的空调回风系统，其特征在于，所述空调回风系统还包括与所述第一洁净室连通的第一补气空间，以及，与所述第二洁净室连通的第二补气空间；所述第一补气空间位于所述第一空气循环回路上，所述第二补气空间位于所述第二空气循环回路上；所述第一新风处理机组用于向所述第一补气空间内补充新风，所述第二新风处理机组用于向所述第二补气空间内补充新风；所述回风组件的入风口位于所述第一补气空间内，所述回风组件的出风口用于向所述第二补气空间送风。3.根据权利要求2所述的空调回风系统，其特征在于，所述回风组件的出风口位于所述第二补气空间内。4.根据权利要求2所述的空调回风系统，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：王江标，阎冬，秦学礼，肖红梅，王威，李传琰，李拨，
申请(专利权)人：世源科技工程有限公司，
类型：新型
国别省市：