【技术实现步骤摘要】
本申请涉及洁净厂房洁净空调，尤其涉及一种洁净室循环空气处理系统。
技术介绍
1、电子厂房采用的洁净室循环空气处理系统通常采用干式表冷器加风机过滤器机组的处理形式，风机过滤单元将上技术夹层内的空气经过高效过滤器处理后送入洁净室内，空气通过回风夹道或下技术夹层经干式表冷器降温处理后与经过洁净新风组处理的新风混合再由风机过滤器送入洁净室内，往复循环。
2、现有的洁净室循环空气处理系统中，经过干式表冷器的气流组织不均匀，导致干式表冷器的制冷效率较低。另外，由于在上技术夹层内设置风机过滤单元，风机过滤单元的数量多，且噪音大，导致洁净室内的噪音超过规定数值。
技术实现思路
1、本申请提供了一种洁净室循环空气处理系统，不仅可提高干式表冷器断面气流的均匀性和制冷效率，还可降低洁净室内的噪音。
2、为了达到上述目的，本申请提供一种洁净室循环空气处理系统，包括上技术夹层、洁净室、下技术夹层、用于连通所述上技术夹层和所述下技术夹层的回风夹道以及洁净空气处理机组；
3、所述洁净...
【技术保护点】
1.一种洁净室循环空气处理系统，其特征在于，包括上技术夹层、洁净室、下技术夹层、用于连通所述上技术夹层和所述下技术夹层的回风夹道以及洁净空气处理机组；
2.根据权利要求1所述的洁净室循环空气处理系统，其特征在于，所述洁净空气处理机组还包括过滤器，所述过滤器用于对经过所述洁净空气处理机组的空气进行过滤处理。
3.根据权利要求2所述的洁净室循环空气处理系统，其特征在于，所述洁净空气处理机组包括多个风机、多个干式表冷器和多个过滤器，其中，所述多个风机、所述多个干式表冷器和所述多个过滤器一一对应设置；
4.根据权利要求2所述的洁净室循环空气...
【技术特征摘要】
1.一种洁净室循环空气处理系统，其特征在于，包括上技术夹层、洁净室、下技术夹层、用于连通所述上技术夹层和所述下技术夹层的回风夹道以及洁净空气处理机组；
2.根据权利要求1所述的洁净室循环空气处理系统，其特征在于，所述洁净空气处理机组还包括过滤器，所述过滤器用于对经过所述洁净空气处理机组的空气进行过滤处理。
3.根据权利要求2所述的洁净室循环空气处理系统，其特征在于，所述洁净空气处理机组包括多个风机、多个干式表冷器和多个过滤器，其中，所述多个风机、所述多个干式表冷器和所述多个过滤器一一对应设置；
4.根据权利要求2所述的洁净室循环空气处理系统，其特征在于，所述洁净室的吊顶设有板孔送风口或散流器或百叶风口，所述上技术夹层通过所述板孔送风口或所...
【专利技术属性】
技术研发人员：李拨，王威，刘云龙，王江标，刘灵冰，张会斌，晋怀恋，张颖，张欣赏，
申请(专利权)人：世源科技工程有限公司，
类型：发明
国别省市：
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