一种存放晶舟料盒的储物盒制造技术

本实用新型专利技术涉及一种存放晶舟料盒的储物盒，属于储物设备技术领域。为解决现有技术中采用自由移动机器人进行晶舟料盒移送时，晶圆料盒存在掉落和因落尘造成晶圆污染，且完成移送后，采用人工进行料盒拿取，导致生产效率低，人工成本高的问题。本申请包括储物盒本体和载物台；储物盒本体上转动安装有盒盖，内部为储物空腔；载物台安装于储物空腔内；载物台设有晶舟料盒识别组件和固定组件；晶舟料盒识别组件包括识别标签和标签识别器；固定组件用于固定晶舟料盒。本申请的储物盒在移送晶圆料盒时，料盒稳定性高，能有效防尘，同时在放料时，能配合机器人手臂自动进行晶圆料盒的放料，降低人工成本，生产效率快，自动化程度高。自动化程度高。自动化程度高。

【技术实现步骤摘要】
一种存放晶舟料盒的储物盒


[0001]本申请涉及一种存放晶舟料盒的储物盒，属于储物设备


技术介绍

[0002]随着国内半导体行业的发展及集成电路代工厂自动化程度的提高，晶舟自动装载设备在集成电路装备上的使用范围越来越广。对晶舟自动装载设备的自动化性能、速度、可靠性、稳定性、安全性要求越来越高，对成本降低的要求也相应提高。晶舟料盒在半导体制程中被使用来保护、运送、并储存晶圆的一种容器，其内部可以容纳晶圆，是一种专属于晶圆厂内的自动化传送系统重要的传载容器。
[0003]在生产过程中，现有技术中一般采用自由移动机器人进行晶舟料盒移送。存在不足之处：晶圆料盒放置于自由移动机器人，在移送过程中存在晃动，甚至发生晶圆料盒掉落或倾倒，导致晶圆损坏的情况。同时由于晶圆料盒多为无盖结构，料盒的上开口为敞开的，在移送时，外部灰尘会进入料盒内，造成晶圆污染。
[0004]另外，自由移动机器人将晶圆料盒移送至目标工位后需要进行放料工序，在实际生产中，为了避免晶圆料盒放料错误，一般采用机器人手臂将晶圆料盒放置于存放区，再通过人工进行晶圆料盒的拿取、分类并放置于相应的工位，导致此类方式存在人员工作量大，生产效率低的问题，易造成因人为原因导致拿取错误的情况，因此亟需一种晶圆料盒储物设备以解决上述问题。

技术实现思路

[0005]对现有技术中存在的问题与不足，本申请提供一种存放晶舟料盒的储物盒，旨在解决目前存在的技术问题。
[0006]为实现上述目的，本申请提供如下技术方案：一种存放晶舟料盒的储物盒，包括储物盒本体和载物台；储物盒本体上转动安装有盒盖，内部为储物空腔；载物台安装于储物空腔内；载物台设有晶舟料盒识别组件和固定组件；晶舟料盒识别组件包括识别标签和标签识别器；固定组件用于固定晶舟料盒。
[0007]具体的，盒盖设有驱动电机，盒盖一端通过销轴或连接销钉与储物盒本体铰接；驱动电机固定安装于储物盒本体，且其动力端与盒盖固定连接。
[0008]具体的，储物盒本体内部设有若干个隔板，将储物盒本体内部空腔分隔成若干个储物空腔；盒盖的数量与储物空腔的数量相同，且盒盖与储物空腔一一对应的安装于储物盒本体。
[0009]具体的，晶舟料盒通过固定组件与载物台卡扣连接。
[0010]具体的，固定组件包括卡条和卡块；载物台上设有安装通孔，若干个卡条间隔安装于安装通孔内，之间形成与晶舟料盒放置面凸起相适配的卡槽；卡块安装于载物台的底部，卡块的截面为两侧低、中间高的台阶状结构，晶舟料盒放置于载物台时，卡块的中间部分嵌入晶舟料盒底部支腿之间，晶舟料盒的支腿放置于卡块的两侧。
[0011]具体的，载物台设有感应组件；感应组件包括在料盒在位传感器、在席传感器和晶圆在位传感器；料盒在位传感器安装于安装通孔内；在席传感器为对射式传感器，且其分别安装于载物台的两侧；晶圆在位传感器安装于载物台的上侧，且其感应端穿过晶圆料盒的上开口。
[0012]具体的，识别标签安装于晶圆料盒；标签识别器为RFID感应器。
[0013]具体的，载物台相对储物盒本体倾斜安装于储物空腔内。这样设置可实现晶圆料盒放置于载物台时，其上开口呈倾斜向上的姿态放置，提高晶圆的稳定放置，避免在移送过程中，晶圆突出或掉落造成损坏。
[0014]具体的，隔板的数量为一个，将储物盒本体内部空腔分隔成两个储物空腔。
[0015]与现有技术相比，本申请的有益效果在于：
[0016]本申请的存放晶舟料盒的储物盒，通过设置储物盒本体和载物台，储物盒本体上转动安装有盒盖，载物台用于安装晶圆料盒，实现晶圆料盒放置于储物盒内，在移送过程中，储物盒本体的盒盖关闭，可避免晶圆料盒发生晃动和掉落的情况，且设置盒盖亦可起到防尘的作用。
[0017]在前述的基础上，在载物台上通过设置卡条和卡块，可实现晶圆料盒放置于载物台时，卡条与安装通孔间形成卡槽，料盒放置面的凸起与卡槽形成卡扣连接，而料盒底部设有支腿，卡块通过嵌入支腿间，起到对晶圆料盒的固定作用。设置卡条和卡块以卡扣连接的方式进行晶圆料盒的固定，部件结构简单，空间占用空间小，降低生产成本。同时设置卡槽和卡块可实现晶圆料盒每次放置时的位置保持一致，实现料盒快速定位放置，提高生产效率。
[0018]在前述的基础上，在载物台上设置传感器，以提高储物盒的自动化程度，在安装通孔内设置料盒在位传感器和载物台底部设置在席传感器，以检测晶圆料盒在载物台上的放置位置是否到位。通过设置晶圆在位传感器，以检测晶圆料盒在移送过程中晶圆的放置情况，保证晶圆放置整齐无突出，避免在移送过程中，晶圆从料盒中掉落。
[0019]在前述的基础上，在载物台上设置RFID感应器，通过RFID感应器自动识别放置的晶圆料盒信息，实现通过机器人手臂自动进行晶圆料盒的拿取和移送，无需人工进行拿取，降低人工成本，提高生产效率。
附图说明
[0020]图1为本实施例的存放晶舟料盒的储物盒的结构示意图；
[0021]图2为本实施例的存放晶舟料盒的储物盒的结构俯视图；
[0022]图3为本实施例的存放晶舟料盒的储物盒的结构侧视图；
[0023]图4为本实施例的存放晶舟料盒的储物盒的载物台的底部结构示意图；
[0024]图5为本实施例的存放晶舟料盒的储物盒的载物台的结构示意图。
[0025]图中：1、储物盒本体；2、载物台；3、盒盖；4、晶舟料盒；5、隔板；6、卡条；7、卡块；8、料盒在位传感器；9、在席传感器； 10、晶圆在位传感器；11、RFID感应器。
实施方式
[0026]下面将结合本申请实施例中的附图，进一步阐述本申请。
[0027]请参阅图1
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5本实施例公开了一种存放晶舟料盒的储物盒，包括储物盒本体1和载物台2；储物盒本体1上转动安装有盒盖3，内部为储物空腔；载物台2安装于储物空腔内；载物台2设有晶舟料盒识别组件和固定组件；晶舟料盒识别组件包括识别标签和标签识别器；固定组件用于固定晶舟料盒4。
[0028]进一步的，盒盖3设有驱动电机，盒盖3一端通过销轴或连接销钉与储物盒本体1铰接；驱动电机固定安装于储物盒本体1，且其动力端与盒盖3固定连接。
[0029]进一步的，储物盒本体1内部设有若干个隔板5，将储物盒本体内部空腔分隔成若干个储物空腔；盒盖3的数量与储物空腔的数量相同，且盒盖与储物空腔一一对应的安装于储物盒本体。
[0030]进一步的，晶舟料盒4通过固定组件与载物台2卡扣连接。
[0031]进一步的，固定组件包括卡条6和卡块7；载物台2上设有安装通孔，若干个卡条6间隔安装于安装通孔内，之间形成与晶舟料盒放置面凸起相适配的卡槽；卡块7安装于载物台2的底部，卡块7的截面为两侧低、中间高的台阶状结构，晶舟料盒4放置于载物台2时，卡块7的中间部分嵌入晶舟料盒底部支腿之间，晶舟料盒的支腿放置于卡块的两侧。
[0032]进一步的，载物台2设有感应组件；感应组件包括在料盒在位传感器本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种存放晶舟料盒的储物盒，包括储物盒本体和载物台；其特征在于：所述储物盒本体上转动安装有盒盖，内部为储物空腔；所述载物台安装于储物空腔内；所述载物台设有晶舟料盒识别组件和固定组件；所述晶舟料盒识别组件包括识别标签和标签识别器；所述固定组件用于固定晶舟料盒。2.根据权利要求1所述的一种存放晶舟料盒的储物盒，其特征在于：所述盒盖设有驱动电机，盒盖一端通过销轴或连接销钉与储物盒本体铰接；所述驱动电机固定安装于储物盒本体，且其动力端与所述盒盖固定连接。3.根据权利要求2所述的一种存放晶舟料盒的储物盒，其特征在于：所述储物盒本体内部设有若干个隔板，将储物盒本体内部空腔分隔成若干个所述储物空腔；所述盒盖的数量与储物空腔的数量相同，且盒盖与储物空腔一一对应的安装于储物盒本体。4.根据权利要求1所述的一种存放晶舟料盒的储物盒，其特征在于：所述晶舟料盒通过固定组件与载物台卡扣连接。5.根据权利要求4所述的一种存放晶舟料盒的储物盒，其特征在于：所述固定组件包括卡条和卡块；所述载物台上设有安装通孔，若干个卡条间隔...

【专利技术属性】
技术研发人员：洪成都，
申请(专利权)人：捷螺智能设备苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：