本实用新型专利技术是一种洁净室内防交叉污染控制装置，其结构包括由隔墙隔出且内底部设有高架地板的洁净室，洁净室内吊顶设有FFU、OHT天车和污染物控制装置，OHT天车安装在AMHS系统轨道上，AMHS系统轨道穿过多个相邻洁净室，每个洁净室的AMHS系统轨道旁设置有一个污染物控制装置，污染物控制装置包括抽风管和安装在抽风管端部且相邻AMHS系统轨道设置的抽风口，抽风口为孔板、与抽风管通过卡扣连接，孔板边缘为堵实区域，而不是孔板满铺式，孔板为方形板，开孔率为25％。可在OHT天车运动时高效去除OHT运动携带的污染物，防止对相邻洁净室的污染。染。染。
【技术实现步骤摘要】
一种洁净室内防交叉污染控制装置
[0001]本技术涉及的是一种洁净室内防交叉污染控制装置，属于洁净室内污染物控制
技术介绍
[0002]现有技术常规的洁净厂房中，洁净室内的气态污染物通过吊顶上的化学过滤器清除，但不能做到洁净室内交叉污染的防治。
[0003]现有技术中，为防止气态污染物的交叉污染，通过设定压力梯度，也就是高洁净等级的室内压力大于相邻低洁净等级的室内压力，这样可在室内维持一定的压差，有效避免洁净室被邻室污染或污染邻室。然而由于洁净室内墙体开洞和OHT天车运动，很难通过压差达到污染物控制的目的。
[0004]CN112097349A公开了一种洁净室过滤装置，需要在相邻洁净室之间设置压力高的缓冲区域，并相应设置空气输送设备和空气过滤设备，结构较为复杂，投入成本过高。
技术实现思路
[0005]本技术提出的是一种洁净室内防交叉污染控制装置，其目的旨在克服现有技术存在的上述不足，在不影响洁净室内环境控制的前提下，可以高效去除OHT运动携带的污染物，防止对相邻洁净室的污染。
[0006]本技术的技术解决方案：一种洁净室内防交叉污染控制装置，其结构包括由隔墙隔出且内底部设有高架地板的洁净室，洁净室内吊顶设有FFU、OHT天车和污染物控制装置，OHT天车安装在AMHS系统轨道上，AMHS系统轨道穿过多个相邻洁净室，每个洁净室的AMHS系统轨道旁设置有一个污染物控制装置，污染物控制装置包括抽风管和安装在抽风管端部且相邻AMHS系统轨道设置的抽风口，抽风口为孔板、与抽风管通过卡扣连接，孔板边缘为堵实区域，而不是孔板满铺式，孔板为方形板，开孔率为25％。可在OHT天车运动时高效去除OHT运动携带的污染物，防止对相邻洁净室的污染。
[0007]抽风口内孔板上带阀、设置电动或手动风口开孔宽度调节机构，可调节抽风口的吸入速度，满足不同OHT运动速度下的污染物抽离。
[0008]污染物控制装置设计为共三种，一种是OHT天车为一台时，抽风口设置在OHT天车经过路径的一侧和下方、分别连接单独的抽风管，采用侧、下两面抽风，下方的抽风管尺寸小于侧面的抽风管尺寸。
[0009]第二种是OHT天车为上下设置的两台，两个抽风口上下相邻设置在两台OHT天车经过路径的一侧，采用上下抽风。
[0010]第三种是OHT天车为三台、包括水平方向相邻设置的两台和设置在两台之间上方的一台，抽风管设置在三台OHT天车两侧，单侧抽风管呈上凸下凹式，四个抽风口对称设置在三台OHT天车经过路径的两侧抽风管端部，采用双侧上下抽风。上方的抽风口窄于下方的抽风口。
[0011]针对不同OHT天车设计不同污染物控制装置及相应不同风口形式，可进一步防止对相邻洁净室的污染。
[0012]本技术的优点：可有效解决OHT天车穿越不同洁净区的引起的交叉污染，针对不同OHT天车设计不同的污染物控制装置，并配有不同的风口形式，且风口孔板优选带阀，能够调节风口的吸入速度，在不影响洁净室内的环境控制的前提下，满足不同OHT运动速度下污染物的高效抽离，解决相邻洁净室之间的交叉污染问题。
附图说明
[0013]图1是本技术洁净室内防交叉污染控制装置第一种实施例结构示意图。
[0014]图2是图1的正视图。
[0015]图3是图2中抽风口的侧视结构示意图。
[0016]图4是本技术洁净室内防交叉污染控制装置第一种实施例结构示意图。
[0017]图5是图4的正视图。
[0018]图6是图5中抽风口的侧视结构示意图。
[0019]图7是本技术洁净室内防交叉污染控制装置第一种实施例结构示意图。
[0020]图8是图7的正视图。
[0021]图9是图8中抽风口的侧视结构示意图。
[0022]图中的1是洁净室、2是FFU(送风过滤单元)、3是OHT天车、4是抽风管、5是抽风口、6是高架地板、7是隔墙。
具体实施方式
[0023]下面结合实施例和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明。
[0024]实施例1
[0025]如图1
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3所示，一种洁净室内防交叉污染控制装置，其结构包括由隔墙7隔出且内底部设有高架地板6的洁净室1，洁净室1内吊顶设有FFU2、OHT天车3和污染物控制装置，OHT天车3安装在AMHS系统轨道上，AMHS系统轨道穿过多个相邻洁净室1，每个洁净室1的AMHS系统轨道旁设置有一个污染物控制装置，污染物控制装置包括抽风管4和安装在抽风管4端部且相邻AMHS系统轨道设置的抽风口5，抽风口5为孔板、与抽风管4通过卡扣连接，孔板边缘为堵实区域，而不是孔板满铺式，孔板为方形板，开孔率为25％。
[0026]OHT天车3为一台，抽风口5设置在OHT天车3经过路径的一侧和下方、分别连接单独的抽风管4，采用侧、下两面抽风，下方的抽风管4尺寸小于侧面的抽风管4尺寸。
[0027]抽风管4为镀锌风管，是接至一般排风的独立排气管。
[0028]抽风口5内孔板上带阀、设置电动或手动风口开孔宽度调节机构，从而调节抽风口5的吸入速度，满足不同OHT运动速度下的污染物抽离。
[0029]工作时，洁净室1内FFU2提供过滤后的循环气流，使洁净室1维持在一定的温度、湿度、压力范围，并保持洁净等级为百级；洁净室1内OHT天车3在AMHS系统轨道下以一定速度通过污染物控制装置，污染物会随OHT天车3运动扩散至抽风口5，抽风管4经抽风口5将OHT天车3携带的污染物排出，避免OHT天车3对相邻洁净室1的交叉污染。
[0030]实施例2
[0031]如图4
‑
6所示，一种洁净室内防交叉污染控制装置，与实施例1区别在于OHT天车3为上下设置的两台，两个抽风口5上下相邻设置在两台OHT天车3经过路径的一侧，采用上下抽风。
[0032]实施例3
[0033]如图7
‑
9所示，一种洁净室内防交叉污染控制装置，与实施例1、2区别在于OHT天车3为三台、包括水平方向相邻设置的两台和设置在两台之间上方的一台，抽风管4设置在三台OHT天车3两侧，单侧抽风管4呈上凸下凹式，四个抽风口5对称设置在三台OHT天车3经过路径的两侧抽风管4端部，采用双侧上下抽风。
[0034]上方的抽风口5窄于下方的抽风口5。
[0035]以上所述各部件均为现有技术，本领域技术人员可使用任意可实现其对应功能的型号和现有设计。
[0036]以上所述的仅是本技术的优选实施方式，应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本技术创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本技术的保护范围。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种洁净室内防交叉污染控制装置，其结构包括由隔墙(7)隔出且内底部设有高架地板(6)的洁净室(1)，洁净室(1)内吊顶设有FFU(2)和OHT天车(3)，OHT天车(3)安装在AMHS系统轨道上，AMHS系统轨道穿过多个相邻洁净室(1)，其特征在于，每个所述的洁净室(1)的AMHS系统轨道旁设置有一个污染物控制装置，污染物控制装置包括抽风管(4)和安装在抽风管(4)端部且相邻AMHS系统轨道设置的抽风口(5)，抽风管(4)接至一般排风。2.如权利要求1所述的一种洁净室内防交叉污染控制装置，其特征在于，所述的OHT天车(3)为一台，抽风口(5)设置在OHT天车(3)经过路径的一侧和下方、分别连接单独的抽风管(4)，下方的抽风管(4)尺寸小于侧面的抽风管(4)尺寸。3.如权利要求1所述的一种洁净室内防交叉污染控制装置，其特征在于，所述的OHT天车(3)为上下设置的两台，...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐瑾睿，张柯，周玉，鲍允州，何滔，吴建华，钱振，
申请(专利权)人：中国电子系统工程第二建设有限公司，
类型：新型
国别省市：
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