用于半导体元件的测试装置制造方法及图纸

本申请涉及半导体测试技术领域，提供了一种用于半导体元件的测试装置。该测试装置包括承载机架、支撑滑道和感应组件：支撑滑道安装于承载机架上，支撑滑道限定出用于测试托盘移动的第一路径；感应组件安装于承载机架，并避让开第一路径设置；感应组件具有多个沿第一路径方向间隔布置的感应件，每个感应件的感应端均朝向第一路径；多个感应件被配置为响应于支撑滑道中测试托盘的位置而发出检测信号。本申请提供的测试装置实现同一测试托盘兼容不同测试板的测试操作，不仅提高了测试板的利用率，且提高测试效率，降低了测试成本。降低了测试成本。降低了测试成本。

【技术实现步骤摘要】
用于半导体元件的测试装置


[0001]本申请涉及半导体测试
，特别是涉及一种用于半导体元件的测试装置。

技术介绍

[0002]目前，在进行半导体元件测试时，利用测试托盘集成多个半导体元件移动至对应的测试板处，进行批量检测。其中，不同的测试板所检测的半导体元件的数量不同，且不同测试托盘所集成的半导体元件的数量也不同。然而，在实际操作中，可能会存在测试托盘移动至与之不匹配的测试板处，此时测试托盘不能兼容测试板的测试操作，就需要更换测试板进行检测，不仅导致测试成本较高，且降低测试效率。

技术实现思路

[0003]基于此，有必要提供一种用于半导体元件的测试装置，能够提高测试板的利用率，从而提高测试效率，降低测试成本。
[0004]一种用于半导体元件的测试装置，包括承载机架、支撑滑道和感应组件：所述支撑滑道安装于所述承载机架上，所述支撑滑道限定出用于测试托盘移动的第一路径；所述感应组件安装于所述承载机架，并避让开所述第一路径设置；所述感应组件具有多个沿所述第一路径方向间隔布置的感应件，每个所述感应件的感应端均朝向所述第一路径；多本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于半导体元件的测试装置，其特征在于，所述测试装置(100)包括：承载机架(10)；支撑滑道(20)，安装于所述承载机架(10)上，所述支撑滑道(20)限定出用于测试托盘(200)移动的第一路径(201)；感应组件(30)，安装于所述承载机架(10)，并避让开所述第一路径(201)设置；所述感应组件(30)具有若干沿所述第一路径(201)方向间隔布置的感应件(31)，每个所述感应件(31)的感应端(311)均朝向所述第一路径(201)；若干所述感应件(31)被配置为响应于所述支撑滑道(20)中所述测试托盘(200)的不同位置而发出不同检测信号。2.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于，所述测试装置(100)还包括测试板(300)，所述测试板(300)沿第一方向相对所述承载机架(10)间隔布置，且所述测试板(300)能够相对所述承载机架(10)沿所述第一方向靠近或远离；所述测试板(300)用于检测所述测试托盘(200)上的半导体元件；不同所述感应件(31)发出不同所述检测信号时，所述测试托盘(200)能够沿所述第一路径移动到不同的位置，所述测试板(300)能够检测所述测试托盘(200)不同位置处的半导体元件
。
3.根据权利要求2所述的测试装置，其特征在于，所述半导体元件沿所述第一路径方向在所述测试托盘(200)上布置有多列；在若干所述检测信号中，以其中一种所述检测信号为基准信号，则其余所述检测信号为调整信号；在所述基准信号时，所述测试托盘(200)上的多列半导体元件能够同时与所述测试板连接；在所述调整信号时，所述测试托盘(200)上的多列所述半导体元件能够择列的与所述测试板(300)连接。4.根据权利要求3所述的测试装置，其特征在于，所述测试板(300)具有多个用于连接所述半导体元件的测试头，多个所述测试头沿所述第一路径方向间隔布置有多列，所述测试头的行数与所述测试托盘(200)的行数相同；在所述基准信号时，所述测试头的列数与所述测试托盘(200)的列数相同；在所述调整信号时，所述测试头的列数小于所述测试托盘(200)的列数。5.根据权利要求4所述的测试装置，其特征在于，在所述调整信号时，所述测试托盘(200)的列数是所述测试头列数的二倍；所述调整信号...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈超，韩世杰，
申请(专利权)人：杭州长川科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：