一种银合金靶材加工方法技术

本发明专利技术公开了一种银合金靶材加工方法，涉及银合金靶材技术领域；而本发明专利技术包括银合金靶材，将车削后的银合金靶材胚料逐一的放置在抛光装置上，并固定设置，银合金靶材柱安装于卡筒内，间歇盘转动一次时，使两个银合金靶材柱移动至抛光区域，通过齿条与齿圈啮合连接，使银合金靶材柱能旋转，同时转柱传动两个推杆移动，使两个抛光轴移动至银合金靶材柱外表面，从而实现加工的联动性，抛光效率高；设置两个不同粗糙度的抛光轴能同步对两个银合金靶材柱进行粗加工和细加工，然后随着安装盘的间歇性旋转，从而能快速完成对多个银合金靶材柱外表面进行抛光处理，提高抛光效率。提高抛光效率。提高抛光效率。

【技术实现步骤摘要】
一种银合金靶材加工方法


[0001]本专利技术涉及银合金靶材
，具体为一种银合金靶材加工方法。

技术介绍

[0002]银合金靶材是半导体、光伏等领域内的核心原材，常用于反射电极膜，通常银合金靶材在加工时，需要对银合金靶材表面进行抛光处理，而银合金靶材表面抛光时，通常需要进行粗抛光和细抛光，通常需要更换抛光头后才能完成抛光工作，使银合金靶材的抛光效率大大降低，针对上述问题，专利技术人提出一种银合金靶材加工方法用于解决上述问题。

技术实现思路

[0003]为了解决银合金靶材表面抛光时，通常需要进行粗抛光和细抛光，通常需要更换抛光头后才能完成抛光工作，使银合金靶材的抛光效率大大降低，问题；本专利技术的目的在于提供一种银合金靶材加工方法。
[0004]为解决上述技术问题，本专利技术采用如下技术方案：一种银合金靶材加工方法，包括银合金靶材，如下步骤：
[0005]S1.将车削后的银合金靶材胚料逐一的放置在抛光装置上，并固定设置：
[0006]S2.将多个银合金靶材逐一输送至抛光装置的抛光设备处抛光处理。
[0007]所述抛光装置，包括底板，所述底板上表面固定设有支架，所述支架上端固定连接有凹形板，所述底板上表面固定连接有间歇装置，所述间歇装置传动连接有多个限位组件，所述限位组件内安装银合金靶材柱，所述间歇装置传动连接有水平移动驱动组件和升降组件，所述升降组件传动连接有两个抛光组件，所述水平移动驱动组件传动连接有旋转驱动组件，所述旋转驱动组件与限位组件传动连接，间歇装置传动水平移动驱动组件和升降组件工作，且间歇装置传动多个限位组件间歇性转动，水平移动驱动组件传动旋转驱动组件移动，使限位组件内的银合金靶材柱旋转，而升降组件传动抛光组件对银合金靶材柱进行抛光处理。
[0008]优选地，所述凹形板的两端上表面固定设有固定板，所述固定板上表面均开设有第一滑槽，所述第一滑槽内均滑动连接旋转驱动组件，固定板被凹形板固定安装，使旋转驱动组件能稳定的工作；所述旋转驱动组件包括有齿板，所述齿板底端滑动连接第一滑槽内，所述齿板啮合连接有半面齿轮，所述半面齿轮内固定设有第三转轴，所述第三转轴与固定板转动连接，并与水平移动驱动组件传动连接，所述齿板上均固定设有齿条，所述齿条与限位组件传动连接，第三转轴传动半面齿轮转动，使齿板沿第一滑槽往复滑动，从而使齿条传动限位组件工作；所述水平移动驱动组件包括有第二齿轮和第二皮带机构，所述第二齿轮与间歇装置传动连接，所述第二齿轮内固定设有第二转轴，所述第二转轴底端与底板上表面转动连接，所述第二转轴上端传动连接有第一皮带机构，所述第一皮带机构的一端与第三转轴传动连接，所述第二皮带机构的两端与两个第三转轴底端传动连接，第二齿轮通过第一皮带机构和第二皮带机构传动两个第三转轴转动。
[0009]优选地，所述间歇装置包括有第一电机，所述第一电机固定设于底板上表面，所述第一电机的输出端固定设有转盘、拨杆及第一齿轮，所述拨杆传动连接有间歇盘，所述间歇盘内固定设有第一转轴，所述第一转轴转动设于底板上表面，所述第一转轴的上端与凹形板转动连接，且所述第一转轴的上端高度连接有安装盘，所述安装盘上表面转动安装多个限位组件，第一电机的输出端传动转盘、拨杆及第一齿轮转动，使间歇盘转动，继而通过第一转轴传动安装盘转动；所述转盘上开设有第一弧形槽，所述间歇盘上开设有第二弧形槽和矩形滑槽，所述转盘外表面贴合连接第二弧形槽内弧面，所述第一齿轮与第二齿轮啮合连接，所述第一电机的输出端与升降组件传动连接，拨杆转动脱离矩形滑槽时，转盘外表面贴合连接第二弧形槽内弧面，使间歇盘不会随惯性转动，间歇盘停歇期间，第一齿轮继续传动第二齿轮转动；所述升降组件包括有滑筒，所述滑筒外表面开设有两个矩形槽，所述滑筒内转动设有转柱，所述转柱底端与第一电机的输出端固定连接，所述转柱的上端与凹形板底面转动连接，所述转柱外表面开设有回旋槽，所述回旋槽和矩形槽内滑动设有两个推杆，一个所述推杆上固定设有滑环，所述滑环与第一转轴滑动连接，所述推杆的上端分别与一个抛光组件传动连接，转柱的回旋槽传动两个推杆沿矩形槽上下滑动，使两个抛光组件能上下移动，继而对银合金靶材柱外表面进行抛光处理；所述抛光组件包括有第二电机，所述第二电机底端固定设有底座，所述底座底面与推杆固定连接，所述第二电机的输出端均固定连接有抛光轴，第二电机的输出端传动抛光轴转动，且设置两个抛光轴分别进行粗加工和细加工，从而能快速完成对银合金靶材柱外表面进行抛光处理；所述限位组件包括有四个卡筒，所述卡筒转动设于安装盘上表面，所述卡筒内套接安装银合金靶材柱，所述卡筒外表面固定设有齿圈，所述齿圈与齿条啮合连接，银合金靶材柱安装于卡筒内，间歇盘转动一次时，同时两个卡筒外表面的齿圈与对应的齿条啮合连接，从而银合金靶材柱随着卡筒转动。
[0010]与现有技术相比，本专利技术的有益效果在于：
[0011]1、银合金靶材柱安装于卡筒内，间歇盘转动一次时，使两个银合金靶材柱移动至抛光区域，通过齿条与齿圈啮合连接，使银合金靶材柱能旋转，同时转柱传动两个推杆移动，使两个抛光轴移动至银合金靶材柱外表面，从而实现加工的联动性，抛光效率高；
[0012]2、设置两个不同粗糙度的抛光轴能同步对两个银合金靶材柱进行粗加工和细加工，然后随着安装盘的间歇性旋转，从而能快速完成对多个银合金靶材柱外表面进行抛光处理，提高抛光效率。
附图说明
[0013]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0014]图1为本专利技术整体示意图。
[0015]图2为本专利技术结构间歇装置和限位组件示意图。
[0016]图3为本专利技术结构图2中A处放大示意图。
[0017]图4为本专利技术结构升降组件示意图。
[0018]图5为本专利技术结构抛光组件示意图。
[0019]图6为本专利技术结构图5中B处放大示意图。
[0020]图7为本专利技术结构图5中C处放大示意图。
[0021]图中：1、底板；11、支架；12、凹形板；13、固定板；131、第一滑槽；2、间歇装置；21、第一电机；22、转盘；221、第一弧形槽；23、拨杆；24、间歇盘；241、第二弧形槽；242、矩形滑槽；25、第一转轴；26、安装盘；27、第一齿轮；3、限位组件；31、卡筒；32、齿圈；4、银合金靶材柱；5、水平移动驱动组件；51、第二齿轮；52、第二转轴；53、第一皮带机构；54、第二皮带机构；6、旋转驱动组件；61、齿板；62、半面齿轮；63、第三转轴；64、齿条；7、升降组件；71、滑筒；711、矩形槽；72、转柱；721、回旋槽；73、推杆；731、滑环；8、抛光组件；81、第二电机；82、底座；83、抛光轴。
具体实施方式
[0022]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种银合金靶材加工方法，包括银合金靶材(4)，其特征在于，如下步骤：S1.将车削后的银合金靶材(4)胚料逐一的放置在抛光装置上，并固定设置：S2.将多个银合金靶材(4)逐一输送至抛光装置的抛光设备处抛光处理。2.如权利要求1所述的一种银合金靶材加工方法，其特征在于，步骤S1中，所述抛光装置包括底板(1)，所述底板(1)上表面固定设有支架(11)，所述支架(11)上端固定连接有凹形板(12)，所述底板(1)上表面固定连接有间歇装置(2)，所述间歇装置(2)传动连接有多个限位组件(3)，所述限位组件(3)内安装银合金靶材柱(4)，所述间歇装置(2)传动连接有水平移动驱动组件(5)和升降组件(7)，所述升降组件(7)传动连接有两个抛光组件(8)，所述水平移动驱动组件(5)传动连接有旋转驱动组件(6)，所述旋转驱动组件(6)与限位组件(3)传动连接。3.如权利要求2所述的一种银合金靶材加工方法，其特征在于，所述凹形板(12)的两端上表面固定设有固定板(13)，所述固定板(13)上表面均开设有第一滑槽(131)，所述第一滑槽(131)内均滑动连接旋转驱动组件(6)。4.如权利要求3所述的一种银合金靶材加工方法，其特征在于，所述旋转驱动组件(6)包括有齿板(61)，所述齿板(61)底端滑动连接第一滑槽(131)内，所述齿板(61)啮合连接有半面齿轮(62)，所述半面齿轮(62)内固定设有第三转轴(63)，所述第三转轴(63)与固定板(13)转动连接，并与水平移动驱动组件(5)传动连接，所述齿板(61)上均固定设有齿条(64)，所述齿条(64)与限位组件(3)传动连接。5.如权利要求4所述的一种银合金靶材加工方法，其特征在于，所述水平移动驱动组件(5)包括有第二齿轮(51)和第二皮带机构(54)，所述第二齿轮(51)与间歇装置(2)传动连接，所述第二齿轮(51)内固定设有第二转轴(52)，所述第二转轴(52)底端与底板(1)上表面转动连接，所述第二转轴(52)上端传动连接有第一皮带机构(53)，所述第一皮带机构(53)的一端与第三转轴(63)传动连接，所述第二皮带机构(54)的两端与两个第三转轴(63)底端传动连接。6.如权利要求5所述的一种银合金靶材加工方法，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄振，颜文明，
申请(专利权)人：苏州东宸先瑞新材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：