一种用于PCB板的等离子体蚀刻装置及刻蚀工艺制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种用于PCB板的等离子体蚀刻装置及刻蚀工艺，包括等离子蚀刻机本体和送料架，送料架四周内壁的中心处均焊接有支撑柱，且送料架的轴心处设置有与支撑柱之间呈固定连接的放置盘，放置盘的内部通过轴承活动连接有转盘，且转盘的顶部开设有等距离呈环形结构分布的涡旋槽。本发明专利技术第一电机带动驱动齿轮啮合齿环进行转动，齿环通过连接块带动转盘在放置盘的内部进行转动，转盘转动的过程中柱杆沿涡旋槽可进行集中或远离，使得柱杆可带动滑块沿滑槽进行滑动，而滑块带动夹块对PCB板进行夹持定位，从而提升了PCB板蚀刻过程中的稳定性，解决了现有技术中采用常规夹具对PCB板固定或拆卸操作流程的繁琐性。固定或拆卸操作流程的繁琐性。固定或拆卸操作流程的繁琐性。

【技术实现步骤摘要】
一种用于PCB板的等离子体蚀刻装置及刻蚀工艺


[0001]本专利技术涉及印刷电路板蚀刻
，具体涉及一种用于PCB板的等离子体蚀刻装置及刻蚀工艺。

技术介绍

[0002]印刷电路板是做为电子装置内的各电子元件设置以及互相连接的支撑体，传统的印刷电路板，是利用印刷蚀刻阻剂的方式，于绝缘基板上做出电路的线路及图面；但随着各种电子装置逐渐缩小尺寸以达随身化的目的，印刷电路板的尺寸也必须相对缩小，导致传统利用印刷蚀刻阻剂的制作方法已无法满足小尺寸制作的条件，因此，现今的印刷电路板改以压膜或涂布的方式，搭配微影技术与蚀刻工艺来进行制作。
[0003]如公开号为CN102082064A，公开了一种等离子刻蚀机硅片定压施压夹具，包括夹具体、立柱螺杆、复位弹簧、压板、收紧螺母和数控扭力扳手，两根立柱螺杆的下端固定在夹具体上，在两根立柱螺杆的上段设有螺纹，复位弹簧套装在立柱螺杆的上段，压板套装在两根立柱螺杆上，并由收紧螺母收紧，收紧螺母由数控扭力扳手定扭矩收紧。
[0004]上述以及在现有技术中，PCB板进行蚀刻前需要用夹具进行固定，目前，P本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于PCB板的等离子体蚀刻装置，包括等离子蚀刻机本体(1)和送料架(5)，其特征在于，所述送料架(5)四周内壁的中心处均焊接有支撑柱(7)，且送料架(5)的轴心处设置有与支撑柱(7)之间呈固定连接的放置盘(8)，所述放置盘(8)的内部通过轴承活动连接有转盘(9)，且转盘(9)的顶部开设有等距离呈环形结构分布的涡旋槽(21)，所述涡旋槽(21)的内部滑动连接有柱杆(22)，且转盘(9)的外侧壁上焊接有等距离呈环形结构分布的连接块(19)，所述连接块(19)远离转盘(9)的一端焊接有齿环(20)，且放置盘(8)的顶部开设有等距离呈环形结构分布的滑槽(10)，所述滑槽(10)的内部滑动连接有与柱杆(22)之间呈固定连接的滑块(11)，且滑块(11)的顶部焊接有夹块(12)，所述放置盘(8)靠近支撑柱(7)的一侧开设有连通槽(15)，且支撑柱(7)靠近连通槽(15)的一端开设有矩形槽(17)，所述支撑柱(7)的顶部固定安装有第一电机(16)，且第一电机(16)的输出端平键连接有驱动齿轮(18)，所述驱动齿轮(18)的一侧延伸至连通槽(15)的内部与齿环(20)之间相啮合。2.根据权利要求1所述的一种用于PCB板的等离子体蚀刻装置，其特征在于，所述滑槽(10)两侧内壁的中心处均开设有限位槽(13)，且滑块(11)的两侧均焊接有滑动连接在限位槽(13)内部的限位块(14)。3.根据权利要求1所述的一种用于PCB板的等离子体蚀刻装置，其特征在于，所述等离子蚀刻机本体(1)底部外壁的四周均通过螺栓安装有底座(2)，且底座(2)的底部外壁上粘接有防滑垫。4.根据权利要求1所述的一种用于PCB板的等离子体蚀刻装置，其特征在于，所述等离子蚀刻机本体(1)一侧的中心处设置有蚀刻腔(3)，且送料架(5)活动连接在蚀刻腔(3)的内部。5.根据权利要求4所述的一种用于PCB板的等离子体蚀刻装置，其特征在于，所述蚀刻腔(3)内侧壁的一端开设有契合槽(4)，且送料架(5)的一端固定有契合在契合槽(4)内部的契合板(6)。6.根据权利要求4所述的一种用于PCB板的等离子体蚀刻装置，其特征在于，所述蚀刻腔(3)底部内壁的中心处开设有主槽(30)，且主槽(30)的底部内部上焊接有齿板(31)，所述支撑柱(7)靠近主槽(30)的底部开设...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈文德，李浩民，
申请(专利权)人：安徽百强科技有限公司，
类型：发明
国别省市：