检测装置及其检测方法制造方法及图纸

本申请半导体检测技术领域，提供了一种检测装置及其检测方法。该检测装置包括检测平台和检测模组；检测平台构造有用于放置半导体元件的检测窗口，检测窗口处设置有检测载板；检测模组安装于检测平台，且检测载板沿自身厚度方向的两侧均设置有检测模组；检测模组具有光源、反射镜和检测相机，检测相机被配置为响应于反射镜基于光源对物料的反射以获得半导体元件的检测图像。这样的设置，不仅缩减了检测相机相对半导体元件的检测角度，而且缩减了获取半导体元件图像的距离，从而缩减了占用空间，降低与其他结构的干涉。降低与其他结构的干涉。降低与其他结构的干涉。

【技术实现步骤摘要】
检测装置及其检测方法


[0001]本申请涉及半导体检测
，特别是涉及一种检测装置及其检测方法。

技术介绍

[0002]目前，在进行半导体元件加工检测时，大多采用目视检测，但是这种方式不仅需要耗费较大的人力，而且检测精度较低。相关技术中，部分厂商采用相机拍摄半导体元件的图像，以进行缺陷检测。然而，采用相机拍摄的方式需要调整相机相对半导体元件的拍摄位置，如果布置不当则会占用较大的空间，不仅容易与半导体加工设备中其他结构产生干涉。

技术实现思路

[0003]基于此，有必要提供一种检测装置，满足对半导体元件的缺陷检测，且缩减占用空间，提高拍摄清晰度。
[0004]一种检测装置，包括检测平台和检测模组；所述检测平台构造有用于放置半导体元件的检测窗口，所述检测窗口处设置有检测载板；所述检测模组安装于所述检测平台，且所述检测载板沿自身厚度方向的两侧均设置有所述检测模组；所述检测模组具有光源、反射镜和检测相机，所述检测相机被配置为响应于所述反射镜基于所述光源对物料的反射以获得所述半导体元件的检测图像。
[0005]上述的检测装置，通过在检测载板沿自身厚度方向的两侧均设置检测模组，当半导体元件放置在检测窗口时，半导体元件沿检测载板厚度方向的两侧分别对应有检测模组，以满足对半导体元件上表面和下表面的检测。同时，由于检测模组中反射镜的设置，能够对光源发出的光线进行反射，以改变光路传递方向，检测相机只需要设置在改变方向后的光路上。这样的设置，不仅缩减了检测相机相对半导体元件的检测角度，而且缩减了获取半导体元件图像的距离，从而缩减了占用空间，降低与其他结构的干涉。
[0006]在其中一个实施例中，所述光源和所述反射镜均相对所述第一方向呈角度设置，并以所述光源与所述第一方向的夹角为第一角度α；以所述光源的光线相对所述检测载板的入射点与所述反射镜上的反射点之间的距离为第一间距，以所述检测相机的光轴至所述检测载板的距离为第二间距；所述第二间距与所述第一间距的比值为cosα。
[0007]在其中一个实施例中，所述反射镜自所述光源至所述检测相机的长度大于80mm；和/或沿第三方向，所述反射镜的延伸长度大于80mm；其中，所述第三方向与所述第一方向成角度设置，并与所述检测相机的光轴成角度设置；和/或所述第一角度α的角度值在20度
‑
60度之间；和/或所述反射镜的反射率大于80％。
[0008]在其中一个实施例中，所述检测模组还包括第一基座、转动轴、调节件和驱动杆；所述第一基座安装于所述检测平台，所述转动轴转动连接于所述第一基座并与所述反射镜可拆卸连接；所述调节件的一端连接于所述转动轴，另一端穿设于所述第一基座并活动连接于所述驱动杆；所述驱动杆转动连接于所述第一基座，所述驱动杆能够绕自身轴线转动，以驱动所述调节件带动所述转动轴绕所述转动轴的轴线转动。
[0009]在其中一个实施例中，所述第一基座构造有长度沿所述驱动杆轴向延伸的第一长孔；所述调节件包括连接臂、移动块和衔接柱，所述连接臂的一端固设于所述转动轴，所述连接臂的另一端构造有长度沿所述检测载板厚度方向延伸的第二长孔；所述衔接柱连接于所述连接臂，并穿过所述第二长孔和所述第一长孔连接于所述移动块，所述移动块螺纹连接于所述驱动杆；所述移动块被配置为响应于所述驱动杆的螺纹传动而沿所述驱动杆的轴向移动，以通过所述衔接柱带动所述连接臂绕所述转动轴的轴线转动。
[0010]在其中一个实施例中，所述检测模组还包括第二基座和锁紧件；所述第二基座构造有多个安装孔，且多个所述安装孔沿所述光源的出射方向间隔布置；每个所述安装孔对应装配有一所述锁紧件，所述锁紧件穿过所述安装孔与所述光源连接，且所述锁紧件能够在所述安装孔内移动。
[0011]在其中一个实施例中，所述第二基座包括：安装座体，构造有长度沿所述检测载板厚度方向延伸的第三长孔；支撑悬臂，具有至少两个沿第三方向相对间隔布置的臂体，每个所述臂体上均构造有所述安装孔以用于连接所述光源；所述支撑悬臂背离所述光源的一侧与所述安装座体贴靠；调节柱，一端穿设于所述安装座体并连接于所述支撑悬臂；以及锁止件，一端穿过所述第三长孔连接于所述支撑悬臂；其中，所述调节柱能够绕自身轴线转动，以带动所述支撑悬臂相对所述安装座体沿所述调节柱的轴向移动，所述锁止件能够在所述第三长孔内移动，所述锁止件用于将所述支撑悬臂相对所述安装座体锁定。
[0012]在其中一个实施例中，所述检测模组还包括相机移动机构，所述相机移动机构的动力输出端与对应的所述检测相机连接，以带动所述检测相机沿所述检测相机的光轴方向移动。
[0013]在其中一个实施例中，所述检测模组的数量为两个，分别为第一检测模组和第二检测模组；所述第一检测模组和所述第二检测模组共同限定出用于半导体元件移动的检测路径，且所述第一检测模组和所述第二检测模组在所述检测路径上错开布置；所述第一检测模组中的所述光源、所述反射镜和所述检测相机的排列顺序，与所述第二检测模组中的所述光源、所述反射镜和所述检测相机的排列顺序相反。
[0014]在其中一个实施例中，所述检测装置包括下压机构，所述下压机构用于将所述半导体元件的边缘压紧于所述检测载板；和/或，所述检测平台还包括压盖机构，所述压盖机构具有压盖载板，所述压盖载板用于压平所述半导体元件。
[0015]在其中一个实施例中，所述检测装置还包括除尘机构，所述除尘机构设置于所述检测平台的上游；所述除尘机构包括第一除尘组件和第二除尘组件，所述第一除尘组件和所述第二除尘组件沿所述第一方向错开布置，所述第一除尘组件用于所述半导体元件的下表面清洁，所述第二除尘组件用于所述半导体元件的上表面清洁。
[0016]本申请还提供了一种用于检测半导体元件的检测方法，基于上述的检测装置进行操作，所述检测装置具有沿第二方向间隔布置的第一检测模组和第二检测模组；所述检测方法包括以下步骤：
[0017]调整反射镜相对竖直方向的角度，和/或，调整检测相机沿自身光轴方向的位置，其中，所述光轴方向为所述第二方向；
[0018]将待检测物料置于检测载板，并驱动所述检测载板沿第二方向移动，依次经过所述第二检测模组和所述第一检测模组，各个所述检测相机获取所述检测载板在移动过程中
待检测物料的第一图像信息；
[0019]驱动所述检测载板沿第二方向反向移动，并依次经过所述第一检测模组和所述第二检测模组，各个所述检测相机获取所述检测载板在移动过程中待检测物料的第二图像信息；
[0020]分析处理第一图像信息和第二图像信息，以获取待检测物料的缺陷信息。
[0021]在其中一个实施例中，所述第一检测模组和所述第二检测模组共同限定出检测路径，所述检测路径具有起始端和终止端；
[0022]所述将待检测物料置于检测载板，并驱动所述检测载板沿第二方向移动，依次经过所述第二检测模组和所述第一检测模组包括：
[0023]所述检测载板位于所述检测路径的起始端，
[0024]压盖机构移动至所述检测路径的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种检测装置，其特征在于，包括检测平台(200)和检测模组(100)；所述检测平台(200)构造有用于放置半导体元件的检测窗口(2001)，所述检测窗口(2001)处设置有检测载板(210)；所述检测模组(100)安装于所述检测平台(200)，且所述检测载板(210)沿自身厚度方向的两侧均设置有所述检测模组(100)；所述检测模组(100)具有光源(11)、反射镜(12)和检测相机(13)，所述检测相机(13)被配置为响应于所述反射镜(12)基于所述光源(11)对物料的反射以获得所述半导体元件的检测图像。2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述光源(11)和所述反射镜(12)均相对第一方向呈角度设置，并以所述光源(11)与所述第一方向的夹角为第一角度α；以所述光源(11)的光线相对所述检测载板(210)的入射点与所述反射镜(12)上的反射点之间的距离为第一间距，以所述检测相机(13)的光轴至所述检测载板(210)的距离为第二间距；所述第二间距与所述第一间距的比值为cosα。3.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述反射镜(12)自所述光源(11)至所述检测相机(13)的长度大于80mm；和/或沿第三方向，所述反射镜(12)的延伸长度大于80mm；其中，所述第三方向与所述第一方向成角度设置，并与所述检测相机(13)的光轴成角度设置；和/或所述第一角度α的角度值在20度
‑
60度之间；和/或，所述反射镜(12)的反射率大于80％。4.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述检测模组(100)还包括第一基座(21)、转动轴(22)、调节件(23)和驱动杆(24)；所述第一基座(21)安装于所述检测平台(200)，所述转动轴(22)转动连接于所述第一基座(21)并与所述反射镜(12)可拆卸连接；所述调节件(23)的一端连接于所述转动轴(22)，另一端穿设于所述第一基座(21)并活动连接于所述驱动杆(24)；所述驱动杆(24)转动连接于所述第一基座(21)，所述驱动杆(24)能够绕自身轴线转动，以驱动所述调节件(23)带动所述转动轴(22)绕所述转动轴(22)的轴线转动。5.根据权利要求4所述的检测装置，其特征在于，所述第一基座(21)构造有长度沿所述驱动杆(24)轴向延伸的第一长孔(2101)；所述调节件(23)包括连接臂(231)、移动块(232)和衔接柱，所述连接臂(231)的一端固设于所述转动轴(22)，所述连接臂(231)的另一端构造有长度沿所述检测载板(210)厚度方向延伸的第二长孔(2311)；所述衔接柱连接于所述连接臂(231)，并穿过所述第二长孔(2311)和所述第一长孔(2101)连接于所述移动块(232)，所述移动块(232)螺纹连接于所述驱动杆(24)；所述移动块(232)被配置为响应于所述驱动杆(24)的螺纹传动而沿所述驱动杆(24)的轴向移动，以通过所述衔接柱带动所述连接臂(231)绕所述转动轴(22)的轴线转动。6.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述检测模组(100)还包括第二基座(25)和锁紧件；所述第二基座(25)构造有多个安装孔(2501)，且多个所述安装孔(2501)沿所述光源(11)的出射方向间隔布置；每个所述安装孔(2501)对应装配有一所述锁紧件，所述锁紧件
穿过所述安装孔(2501)与所述光源(11)连接，且所述锁紧件能够在所述安装孔(2501)内移动。7.根据权利要求6所述的检测装置，其特征在于，所述第二基座(25)包括：安装座体(251)，构造有长度沿所述检测载板(210)厚度方向延伸的第三长孔(2511)；支撑悬臂(252)，具有至少两个沿第三方向相对间隔布置的臂体(2521)，每个所述臂体(2521)上均构造有所述安装孔(2501)以用于连接所述光源(11)；所述支撑悬臂(252)背离所述光源(11)的一侧与所述安装座体(251)贴靠；调节柱(253)，一端穿设于所述安装座体(251)并连接于所述支撑悬臂(252)；以及锁止件，一端穿过所述第三长孔(2511)连接于所述支撑悬臂(252)；其中，所述调节柱(253)能够绕自身轴线转动，以带动所述支撑悬臂(252)相对所述安装座体(251)沿所述调节柱(253)的轴向移动，所述锁止件能够在所述第三长...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨乐，郑洪宝，翁水才，谢周阳，周世超，
申请(专利权)人：杭州长川科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：