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本申请半导体检测技术领域，提供了一种检测装置及其检测方法。该检测装置包括检测平台和检测模组；检测平台构造有用于放置半导体元件的检测窗口，检测窗口处设置有检测载板；检测模组安装于检测平台，且检测载板沿自身厚度方向的两侧均设置有检测模组；检测模...
该专利属于杭州长川科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州长川科技股份有限公司授权不得商用。

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