一种化学吸附式尾气处理设备制造技术

本发明专利技术公开了一种化学吸附式尾气处理设备，涉及废气处理设备技术领域，旨在解决净化效率的技术问题。其技术方案要点是：包括吸附主桶、进气模块与排气模块，还包括有吸附副桶，所述进气模块包括进气主管，所述进气主管的一端安装有三通接头，所述三通接头的一端连接于吸附主桶，其另一端连接于吸附副桶，所述三通接头上安装有气动阀以控制废气流向，所述吸附主桶与吸附副桶均连接于排气模块。本发明专利技术的目的在于提供一种化学吸附式尾气处理设备。的在于提供一种化学吸附式尾气处理设备。的在于提供一种化学吸附式尾气处理设备。

【技术实现步骤摘要】
一种化学吸附式尾气处理设备


[0001]本专利技术涉及废气处理设备
，更具体地说，它涉及一种化学吸附式尾气处理设备。

技术介绍

[0002]在半导体生产加工过程中需要使用多种特殊气体、大量的酸、碱等化学品以及有机溶剂和挥发性液体，这些气体和化学品在半导体制造的不同工艺中使用会产生废气。
[0003]为满足尾气排放标准，化学吸附是处理半导体生产废气的主要手段之一，传统的处理尾气设备是一种能够净化半导体生产过程产出的有毒气体。该设备主要用利用化学反应方式将制程可燃性、毒性气体以氧化裂解，或是腐蚀性、酸碱性气体以酸碱中和方式，将其制程尾气处理成符合排放标准的尾气，并且将反应后之生成物保存于反应桶内，最终将通过工厂厂务端排放。
[0004]现有的吸附式尾气处理设备当化学吸附药剂饱和后，需要对吸附桶内的药剂进行更换，更换时需要设备需停止工作，在药剂更换完成后，才能继续进行工作，从而降低了对废气的处理效率。
[0005]因此亟需一种新的技术方案来解决上述技术问题。

技术实现思路

[0006]针对现有技术存在的不足，本专利技术的目的在于提供一种化学吸附式尾气处理设备。
[0007]本专利技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种化学吸附式尾气处理设备，包括吸附主桶、进气模块与排气模块，还包括有吸附副桶，所述进气模块包括进气主管，所述进气主管的一端安装有三通接头，所述三通接头的一端连接于吸附主桶，其另一端连接于吸附副桶，所述三通接头上安装有气动阀以控制废气流向，所述吸附主桶与吸附副桶均连接于排气模块。
[0008]通过采用上述技术方案，正常工作时，气动阀控制废气通过三通接头进入到吸附主桶内，对废气进行充分吸附净化后，将废气排入到排气模块进行排出，当废气主桶内的吸附原料饱和或其内部发生故障后，气动阀通过控制三通接头，关闭废气进入到吸附主桶的通道，打开其进入到吸附副桶的通道，使得废气进入到吸附副桶内进行净化工作，并排入到排气模块内，当对吸附主桶内的吸附原料更换完毕后检修排除故障后，气动阀再次打开废气进入到吸附主桶的通道，关闭其进入到吸附副桶的通道，从而无需对关停废气，使其能够连接的进气并进行吸附净化工作，有效提升了净化效率。
[0009]本专利技术进一步设置为：所述排气模块包括排气管，所述吸附主桶底部设置有排气接头并通过第一连接管连接于排气管的底端，所述吸附副桶的底端通过第二连接管连接于排气管的一侧，所述排气管位于第一连接管与第二连接管之间设置有第一电磁阀。
[0010]本专利技术进一步设置为：还包括有控制器，所述气动阀与第一电磁阀均电信号连接
于控制器。
[0011]本专利技术进一步设置为：所述吸附主桶的顶部设置有进气接头，所述三通接头的一端通过第三连接管连接于进气接头，所述第三连接管内设置有第一压力传感器，其电信号连接于控制器。
[0012]本专利技术进一步设置为：所述排气管的顶部设置第二压力传感器与第一温度传感器，还包括有蜂窝报警器，所述蜂窝报警器、第二压力传感器与第一温度传感器均电信号连接于控制器。
[0013]本专利技术进一步设置为：所述吸附主桶的侧壁开设有通孔，所述通孔内插接固定有色显组件，所述色显组件包括罩设于通孔的法兰接头、可拆卸于法兰接头的色显试剂管，以及设置于法兰接头的透明板件。
[0014]本专利技术进一步设置为：所述吸附主桶内还设置有颜色传感器，所述颜色传感器电信号连接于控制器。
[0015]本专利技术进一步设置为：所述吸附主桶内还设置有第二温度传感器并电信号连接于控制器。
[0016]本专利技术进一步设置为：所述吸附副桶内设置有第三压力传感器与第三温度传感器并电信号连接于控制器。
[0017]本专利技术具有以下有益效果：正常工作时，气动阀控制废气通过三通接头进入到吸附主桶内，对废气进行充分吸附净化后，将废气排入到排气模块进行排出，当废气主桶内的吸附原料饱和或其内部发生故障后，气动阀通过控制三通接头，关闭废气进入到吸附主桶的通道，打开其进入到吸附副桶的通道，使得废气进入到吸附副桶内进行净化工作，并排入到排气模块内，当对吸附主桶内的吸附原料更换完毕后检修排除故障后，气动阀再次打开废气进入到吸附主桶的通道，关闭其进入到吸附副桶的通道，从而无需对关停废气，使其能够连接的进气并进行吸附净化工作，有效提升了净化效率。
附图说明
[0018]图1为本实施例的立体结构示意图；
[0019]图2为本实施例的局部剖面示意图；
[0020]图3为本实施例色显组件的结构示意图；
[0021]图4为本实施例控制示意框图。
[0022]附图说明：1、吸附主桶；2、进气模块；3、排气模块；4、吸附副桶；5、进气主管；6、三通接头；7、气动阀；8、排气管；9、排气接头；10、第二连接管；11、第一电磁阀；12、控制器；13、进气接头；14、第三连接管；15、第一压力传感器；16、第二温度传感器；17、第二压力传感器；18、第一温度传感器；19、蜂窝报警器；20、通孔；21、法兰接头；22、色显试剂管；23、透明板件；24、颜色传感器；25、第三压力传感器；26、第三温度传感器；27、第二电磁阀。
具体实施方式
[0023]以下结合附图对本专利技术作进一步详细说明。
[0024]其中相同的零部件用相同的附图标记表示。需要说明的是，下面描述中使用的词语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是附图中的方向，词语“底面”和“顶面”、“内”和
“
外”分别指的是朝向或远离特定部件几何中心的方向。
[0025]如图所示，一种化学吸附式尾气处理设备，包括吸附主桶1、进气模块2与排气模块3，还包括有吸附副桶4，进气模块2包括进气主管5，进气主管5的一端安装有三通接头6，三通接头6的一端连接于吸附主桶1，其另一端连接于吸附副桶4，三通接头6上安装有气动阀7以控制废气流向，吸附主桶1与吸附副桶4均连接于排气模块3。
[0026]正常工作时，气动阀7控制废气通过三通接头6进入到吸附主桶1内，对废气进行充分吸附净化后，将废气排入到排气模块3进行排出，当废气主桶内的吸附原料饱和或其内部发生故障后，气动阀7通过控制三通接头6，关闭废气进入到吸附主桶1的通道，打开其进入到吸附副桶4的通道，使得废气进入到吸附副桶4内进行净化工作，并排入到排气模块3内，当对吸附主桶1内的吸附原料更换完毕后检修排除故障后，气动阀7再次打开废气进入到吸附主桶1的通道，关闭其进入到吸附副桶4的通道，从而无需对关停废气，使其能够连接的进气并进行吸附净化工作，有效提升了净化效率。
[0027]排气模块3包括排气管8，吸附主桶1底部设置有排气接头9，并通过第一连接管(图中未示出)连接于排气管8的底端，吸附副桶4的底端通过第二连接管10连接于排气管8的一侧，排气管8位于第一连接管与第二连接管10之间设置有第一电磁阀11。还包括有控制器12，气动阀7与第一电磁阀11均电信号连接于控制器12。当吸附主桶1进行净化工作时，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种化学吸附式尾气处理设备，包括吸附主桶、进气模块与排气模块，其特征在于：还包括有吸附副桶，所述进气模块包括进气主管，所述进气主管的一端安装有三通接头，所述三通接头的一端连接于吸附主桶，其另一端连接于吸附副桶，所述三通接头上安装有气动阀以控制废气流向，所述吸附主桶与吸附副桶均连接于排气模块。2.根据权利要求1所述的一种化学吸附式尾气处理设备，其特征在于：所述排气模块包括排气管，所述吸附主桶底部设置有排气接头并通过第一连接管连接于排气管的底端，所述吸附副桶的底端通过第二连接管连接于排气管的一侧，所述排气管位于第一连接管与第二连接管之间设置有第一电磁阀。3.根据权利要求2所述的一种化学吸附式尾气处理设备，其特征在于：还包括有控制器，所述气动阀与第一电磁阀均电信号连接于控制器。4.根据权利要求3所述的一种化学吸附式尾气处理设备，其特征在于：所述吸附主桶的顶部设置有进气接头，所述三通接头的一端通过第三连接管连接于进气接头，所述第三连接管内设置有第一压力...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁献伟，吴宇翔，彭孟龙，
申请(专利权)人：嘉芯迦能半导体设备科技浙江有限公司，
类型：发明
国别省市：